基本情報
| ブース | Q5139 |
| 国 | KR |
| ウェブサイト | www.chunma.co.kr |
会社概要
天馬HI-TECHは1993年に設立され、半導体製造向けの超高純度QUARTZWAREを専門に生産しています。半導体プロセスの中核材料である石英ガラスを加工、溶接、表面処理してquartzwareを製造します。半導体の微細加工技術が進歩する中、チャンバー部品の汚染と不純物を低減し、パーティクルフリー、超高純度、長寿命の製品開発に取り組んでいます。石英は低い熱膨張係数、高い紫外線透過率、化学耐久性を持つ一方、高強度かつ脆性があり精密加工が難しい材料です。天馬HI-TECHは30年以上の石英加工経験と継続的な技術開発・革新を積み重ね、超微細加工と高品質生産に対応しています。quartzware製造では高精度加工、溶接、Fire Polishingなどの工程を標準化し、各工程の設備を保有して顧客要求品を社内製作できる体制を構築しています。石英専用設備を開発し、ロボットを利用した生産自動化によって、多品種少量生産の生産性低下や工程間移動に伴う人的要因による欠陥を抑える体制を整えています。自動化は大量生産対応にも拡張されています。協働ロボットの生産ラインでは積み降ろし、位置決め、加工、搬送を自動化し、精密で均一な品質の量産を支えます。天馬HI-TECHはWonik QnC、Youngshin Quartz、Kumkang Quartz、Worldexなどのglobal quartzware供給企業へOEM供給しています。TELとLAM RESEARCHに関連する生産・品質認証システムも保有しています。加工能力はCNC、MCT、lapping、sanding、chemical etching、quartz welding、Fire Polishing、DI・ultrasonic cleaning、etching、CMM・polariscope inspection、laser markingを含みます。沿革では1993年から半導体用石英・セラミック加工、RING、BOAT、CYLINDER切断、FLANGE加工を実施しています。2002年にはLCD第5・6・7世代セラミック加工を追加し、CLEAN事業場、venture-company、parts-and-materials specialistの認証を取得しました。2013年には石英製作工程と工場能力を拡張して第1・第2工場を運営し、石英溶接工程を新設してウェハ洗浄用BATHの生産を開始しました。2014年には工場・設備を増強し、TUBE fire lathe、TUBE熱処理用電気炉、12-inch加工用TUBE grinder設備を導入しました。2020年には自動Fire Polishing装置を開発し、TEL装置メーカー部品加工認証、TOP-B・TOP-GND品質認証と量産、ロボット自動加工システムの導入を進めました。2022年にはGumi工場を新設し、協働ロボットによる大量生産自動加工システムを構築してISO9001 /14001 :2015認証を取得しました。生産管理では継続的なR&D投資とERP、MES SYSTEMを組み合わせ、品質・コスト・納期のリアルタイムQCD管理を行います。
展示製品
Quartz、すなわちsilica SiO2はSiO2のみで構成されるガラスで、0.5 × 10−6/°Cという極めて低い熱膨張係数、優れた紫外線透過率、高い化学耐久性を持ちます。これらの材料特性により、半導体プロセスのほか、太陽電池、ディスプレイ、LED、航空宇宙にも利用されます。天馬HI-TECHは顧客要求に応じて最適工程を選定し、石英材料を多様な形状に加工し、半導体の重要工程向け高純度QUARTZ WAREを主力とします。高温と腐食性化学反応への耐性が必要な半導体プロセスは石英ガラスの重要用途です。半導体用石英はプロセスチャンバー内の消耗品や、エッチング時にウェハを固定するfocus ringとして使用され、これらの半導体用石英部品を総称してQUARTZ WAREと呼びます。QUARTZ WAREの品質と加工精度は半導体製品の生産歩留まりに直接影響するため、天馬HI-TECHは高精度quartzwareを製造します。半導体の5つの中核工程としてDiffusion、Thin Film、Photo、Etching、CMP & Cleaningを挙げ、これらを何度も繰り返してウェハ上に微細回路を形成します。Diffusion工程では不純物ガスを導入するか基板上に不純物材料を堆積し、拡散によってウェハ表面へ浸透させ、半導体の電気的性質を変化させます。QUARTZ BOATは拡散チャンバー内でウェハを保持し、大型管状のQUARTZ TUBEはBOATを装着した状態でプロセスを行うために使用されます。TUBE製品にはProcess TUBE、Inner Tube、Outer Tubeなどがあります。Quartz tubeはチャンバーへガスを注入し、外部粒子の混入防止を助け、内部にBOATを装着して工程を実行します。大型になりやすいTUBE製品は複雑で多様な形状を作るため、精密加工、高度な溶接、Fire Polishingを必要とします。BOAT製品はRing Boat、Vertical Boat、Horizontal Boatで、拡散管内でウェハを一枚ずつ保持する溝を備えます。BOATはウェハ配置に応じて構成が分かれ、高精度加工と高度な溶接技術で製造されます。Assembly部品にはCAP、PEDESTAL、PLATE、BASEがあります。Pedestal、cap、baseはBOATを支持し、熱損失を抑え、ウェハ表面への均一な成膜を助けます。Injector部品にはINJECTOR、NOZZLEがあり、拡散チャンバー内へのガス供給・排出に使用され、用途に応じた形状で製造されます。石英製品にはRING、SHIELD、TOP、single-ring、CAP COVER、WINDOW、BATH、QUARTZ BOAT SLOT、NOZZLE、FLANGEなども挙げられています。
対応領域・製品
- 半導体用高純度石英部品のカスタム製造・量産
- 石英のCNC・MCT精密加工
- 石英のラッピング・サンディング表面処理
- 石英の化学エッチング
- 石英溶接
- 石英の火炎研磨
- 石英の純水・超音波洗浄
- 石英のレーザーマーキング
- 半導体拡散工程用石英管
- リング型・縦型・横型石英ボート
- 石英ボート支持部品
- 拡散炉用石英インジェクタ・ノズル
- 石英リング
- 石英窓
- 石英洗浄槽
- 石英フランジ
- 石英部品のOEM供給
- 石英部品のCMM・偏光検査