기본 정보
| 부스 | M0134 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.canon-se.com.tw/hitech/tc/index.html |
회사 소개
Canon은 Canon 그룹이 제조한 반도체 및 평판 디스플레이(FPD) 생산 장비를 대만 고객에게 공급합니다. 회사는 대만 기업이 첨단기술 제품을 제조하는 데 필요한 장비와 서비스를 도입·제공하며, 고객 생산성 향상을 주요 사명으로 삼고 있습니다. 전문 지식과 부가가치를 갖춘 서비스를 통해 고객의 생산능력 향상과 기술 혁신을 지원합니다. 회사는 대만에서 설립된 지 25년이 넘었으며 대만의 전기, 전자 및 반도체 산업 발전에 지속적으로 참여해 왔습니다. 회사는 대만 고객과 협력 관계를 유지하며 현지 제조업체의 발전을 지속적으로 지원합니다.
전시 제품
Canon은 반도체 제조 장비와 액정 디스플레이 제조 장비를 수출입 및 판매하며, 반도체 장비와 평판 디스플레이(FPD) 장비를 공급합니다. 그 밖의 공급 분야에는 진공 장비, 장비 재정비 서비스(Refurbishment Service), Canon 기계 제품이 포함됩니다. 회사는 판매 장비의 설치 및 유지보수 서비스를 제공하고 제품 구매 고객을 대상으로 운용 및 유지보수 교육을 실시합니다. 반도체 노광 장비에는 스테퍼(Stepper)와 스텝 앤드 스캔 방식의 스캐너(Scanner)가 포함되며, 주로 집적회로(IC) 제조에 사용됩니다. 스테퍼와 스캐너는 포토마스크의 회로층 패턴을 실리콘 웨이퍼 표면에 차례로 투영합니다. 이후 웨이퍼는 현상, 식각, 세정, 도핑, 금속화 및 연마 공정을 거치며, 추가 회로층에서 이 과정을 반복해 IC를 형성합니다. IC 소자와 제조 공정에 따라 각 회로층의 패턴 특징 수와 복잡도가 다르므로, 비용 효율적인 대량생산을 위해 여러 노광 도구의 통합 구성이 필요합니다. Canon은 다양한 공정 해상도 요구에 대응하는 스테퍼와 스캐너를 공급하며, 해당 장비는 최대 직경 300 mm의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 스테퍼와 스캐너가 지원하는 공정 해상도 범위에는 350 nm 해상도가 필요한 회로층도 포함됩니다. 액정 디스플레이 제조 장비에는 반사식 투영 정렬 노광기(Mirror Projection Aligner, MPA)가 포함됩니다. MPA는 대형 반사 광학계와 고속 비접촉식 리니어 모터를 사용해 초대형 유리 기판을 고속·고정밀로 노광합니다. 이 장비는 2,200 mm × 2,500 mm 크기의 초대형 기판을 전면 노광할 수 있습니다. 전면 노광을 통해 기판 한 장에서 57인치 와이드스크린 TV 패널 3장, 45인치 패널 8장 또는 32인치 패널 18장을 생산할 수 있습니다.
역량 및 제품
- 반도체 리소그래피 Stepper
- 반도체 리소그래피 Scanner
- 300mm 웨이퍼 리소그래피 장비
- FPD/LCD 반사식 얼라인먼트 투영 노광기
- 2,200mm × 2,500mm FPD 전면 노광
- 단일 기판 57인치×3/45인치×8/32인치×18 패널 노광
- 반도체 제조 장비 설치 및 유지보수
- 장비 운전 및 유지보수 교육
- 진공 장비
- 반도체 및 FPD 장비 리퍼비시 서비스