基本情報
| ブース | M0134 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.canon-se.com.tw/hitech/tc/index.html |
会社概要
Canonは台湾で半導体およびFPD製造分野の顧客に対応し、これらは台湾のハイテク製造産業の一部を構成します。同社は顧客の生産性向上を主要な使命とし、台湾の顧客がハイテク製品を生産するために必要な手段を提供することを自社の役割として示しています。台湾での説明では、高度な専門知識と付加価値に基づくサービスを台湾の先端企業へ今後も継続的に提供することを重視しています。Canonは台湾で長期にわたり活動し、台湾の電機、電子、半導体、FPD製造産業の発展を直接支援してきた役割を示しています。同社は台湾の半導体・FPD製造産業が世界的に知られているとし、長年の現地活動を通じてこれら産業の発展に関わってきたことを誇りとしています。今後も台湾の顧客と良好な関係を維持し、ともに成長しながら、台湾のメーカーと先端産業のさらなる発展へ継続して貢献する方針を示しています。
展示製品
Canonの事業範囲には、輸入半導体製造装置の販売と輸入LCDディスプレイ製造装置の販売が含まれ、半導体とフラットパネルディスプレイの生産装置を扱います。販売した装置について、Canonは据付・保守サービスを提供し、製品を購入した顧客向けに操作および保守のトレーニングも実施します。Canon Semiconductor Equipment Taiwanが示す製品・サービス分野にはSemiconductor Equipment、FPD Equipment、Vacuum Equipment、Refurbishment Service、Canon Machinery Productsがあります。Canonのマイクロリソグラフィ装置であるステッパーとスキャナーは、主に集積回路の製造に用いられ、フォトマスクの回路層パターンをシリコンウェハー表面へ投影します。画像形成後のシリコンウェハーは現像、エッチング、洗浄、ドーピング、メタライズ、研磨を受け、この工程を追加の層で繰り返してICを完成させます。各層の特徴数と複雑さが異なるため、Canonは各ICデバイスとプロセスに、費用対効果の高い量産を実現する統合されたイメージングツール群が必要だと説明しています。Canonは粗い層から重要層まで各技術ノード向けのステッパーとスキャナーを用意し、最大直径300mmのウェハーを扱います。LCDディスプレイ製造向けには、大型反射光学系と高速非接触リニアモーターを組み合わせ、高速・高精度で超大型ガラス基板を露光するMirror Projection Aligner、MPAを挙げています。MPAの仕様では、全面露光により2,200mm x 2,500mmの超大型ガラス基板を露光します。この全面露光方式では、1枚の基板から57インチワイドTVパネル3枚、45インチワイドTVパネル8枚、または32インチワイドTVパネル18枚を製造できると説明されています。これらの提供範囲では、半導体・FPD製造装置に据付、保守、顧客向け操作トレーニング、保守トレーニングを組み合わせ、総合サービスとして提供しています。上記の半導体マイクロリソグラフィおよびLCDディスプレイ製造装置情報には2008/10/1の日付が記載されています。
対応領域・製品
- 半導体リソグラフィStepper
- 半導体リソグラフィScanner
- 300mmウェハ対応リソグラフィ装置
- FPD／LCD反射型アライメント投影露光装置
- 2,200mm × 2,500mm FPD全面露光
- 1枚基板で57インチ×3／45インチ×8／32インチ×18パネル露光
- 半導体製造装置の設置・保守
- 装置操作・保守トレーニング
- 真空装置
- 半導体・FPD装置リファービッシュサービス