基本資料
| 攤位 | M0134 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.canon-se.com.tw/hitech/tc/index.html |
公司簡介
佳能半導體設備股份有限公司在臺灣服務半導體與 FPD 製造領域客戶，這些領域屬於臺灣高科技製造產業的一部分。公司表示提升客戶生產力是其主要使命，並透過自身業務使臺灣客戶具備生產高科技產品的能力。其臺灣介紹著重以高度專業知識與附加價值為臺灣先進企業提供服務。佳能半導體設備股份有限公司長期在臺營運，並將自身角色描述為直接協助臺灣電機、電子、半導體及 FPD 製造產業的發展。公司形容臺灣的半導體與 FPD 製造產業享譽全球並受到世界關注，也對多年在地活動中參與這些產業的發展感到自豪。公司表示將持續與臺灣客戶維持良好夥伴關係、共同穩定成長，並進一步對臺灣製造商及先進產業的發展作出貢獻。
展出產品
佳能半導體設備股份有限公司的營業範圍包括進口半導體製造設備的銷售，以及進口液晶顯示器製造設備的銷售，涵蓋半導體與平面顯示器生產所需設備。針對所銷售的設備，佳能半導體設備股份有限公司提供安裝與維修服務，並為購買公司產品的客戶辦理操作與維護訓練。佳能半導體設備股份有限公司列出的產品與服務類別包括半導體設備、FPD 設備、真空設備、Refurbishment Service 及 Canon Machinery Products。Canon 的微影工具稱為步進機與步進掃描機，主要用於製造積體電路，將光罩上的電路層圖案投影到矽晶圓表面。成像後，矽晶圓會經過顯影、蝕刻、清洗、摻雜、金屬化與研磨，並在後續電路層重複此流程，直到積體電路完整形成。由於各層的特徵數量與複雜度不同，Canon 說明每種 IC 元件與製程都需要整合式成像工具組合，以實現具成本效益的量產。Canon 提供適用於不同技術節點的步進機與步進掃描機，涵蓋較粗糙層到關鍵層，設備可處理最大直徑 300mm 的晶圓。液晶顯示器製造方面，Canon 列有反射式對準成像曝光機 MPA，結合大型反射光學系統與高速非接觸式線性馬達，用於高速、高精度的超大型玻璃基板曝光。MPA 規格列出以全面曝光方式處理 2,200mm x 2,500mm 的超大型玻璃基板。依此全面曝光格式，一片基板可製作三片 57 吋寬螢幕 TV 面板、八片 45 吋寬螢幕 TV 面板，或十八片 32 吋寬螢幕 TV 面板。整體而言，Canon 將半導體與 FPD 製造設備，搭配安裝、維修、客戶操作訓練及維護訓練，納入其整體服務範圍。上述半導體微影與液晶顯示器製造設備資訊標示日期為 2008/10/1。
能力與產品項目
- 半導體微影 Stepper
- 半導體微影 Scanner
- 300mm 晶圓微影設備
- FPD／LCD 反射式對準成像曝光機
- 2,200mm × 2,500mm FPD 全面曝光
- 單片基板 57吋×3／45吋×8／32吋×18 面板曝光
- 半導體製造設備安裝與維護
- 設備操作與維護訓練
- 真空設備
- 半導體與 FPD 設備翻修服務