기본 정보
| 부스 | N1282 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.Bruker.com/Nano |
회사 소개
Bruker Taiwan Co., Ltd는 Bruker Nano Surfaces를 통해 연구 및 생산용 표면 분석 장비를 제공하며 AFM, 3D Optical Profilers, Nano-Mechanical Testers, Tribometers를 포함합니다. 이 응용 중심 장비는 전공정 및 후공정 반도체 생산, MEMS 제조, IC 패키징의 R&D, 공정 개발, 제조를 반복성과 정확도로 지원합니다. Bruker 전체 조직은 11,000명 이상의 직원, R&D 전담 2,000명, 전 세계 15개 주요 제조 거점, 5,000건 이상의 출원 중 또는 등록 특허를 보유합니다. Bruker는 화학, 생물학, 산업 시료의 구조 특성을 미시적, 분자, 세포 수준에서 검출, 측정, 시각화하는 과학 장비와 분석 솔루션을 제공합니다. 고객 시장은 생명 및 재료과학, 바이오파마, 응용연구, 미생물학, 진단, 나노기술, 제약, 임상연구, 생명공학, 세포생물학, 체외진단에 걸칩니다. 광범위한 플랫폼에는 자기공명, 질량분석, 기체 및 액체 크로마토그래피, X-ray, 현미경, 계측, 분자분광, 자동화, 소프트웨어가 포함됩니다. Bruker는 미국 Massachusetts주 Billerica에 본사를 두고 유럽과 북미의 기술 및 제조 센터와 전 세계 판매 및 지원 네트워크를 통해 고객을 지원합니다.4개 운영 부문은 Bruker BioSpin Group, Bruker CALID Group, Bruker Scientific Instruments(BSI) NANO Segment, Bruker Energy & Supercon Technologies(BEST)이며 보고 부문은 BSI Life Science, BSI NANO, BEST입니다. Bruker BioSpin은 NMR 및 EPR 분광기와 MRI, PET, SPECT, CT, Optical, MPI 영상 시스템 등 자기공명 및 전임상 영상 장비를 설계, 제조, 유통하고 소프트웨어와 자동화 도구도 제공합니다. 학술, 정부, 산업, 제약 분야의 BioSpin 고객은 구조생물학, 신약개발, 질병연구, 대사체학, 첨단 재료분석에 이 기술을 사용합니다. Bruker CALID는 Bruker Daltonics와 Bruker Optics로 구성되며 Daltonics는 MALDI-TOF, 이온트랩 MS, 자기공명 MS, LC-MS를, Optics는 FT-IR과 NIR을 포함한 적외선 및 Raman 분광 시스템을 제공합니다. Bruker Energy & Supercon Technologies는 초전도 와이어를 생산해 50년 이상 의료, 학술, 산업 조직을 지원했으며 MRI, 첨단 재료과학, 지속가능 에너지에 활용됩니다. 고성능 초전도 와이어는 기존 구리선의 최대 100배 전류를 운반할 수 있어 높은 안정성과 낮은 에너지 소비가 필요한 NMR 같은 기술을 지원합니다. BSI Nano Segment는 Bruker AXS, Bruker Nano Analytics, Bruker Nano Surfaces and Metrology, Fluorescence Microscopy, Canopy Divisions로 구성되어 학술, 정부, 생명과학, 재료, 응용산업 고객을 지원합니다. Bruker AXS는 XRF, XRD, X-ray 마이크로 CT, 스파크 광방출 분광 장비를 제공하고 Bruker Nano Analytics는 EDS, EBSD, micro-CT 액세서리, micro-XRF, TXRF, 휴대형 및 이동형 XRF를 제공합니다. Bruker Nano Surfaces and Metrology는 AFM, 백색광 간섭계, 스타일러스 프로파일로미터의 비접촉 나노미터 해상도 표면형상 측정을 결합하고 반도체 공정 제어용 자동 X-ray 계측, 자동 AFM 결함 검출, 포토마스크 수리 및 세정 장비도 제공합니다. Bruker의 기업 연혁에는 1950년대 펄스 분광기 필요성이 인식된 뒤 1960년 Karlsruhe에서 Bruker Physik-AG가 설립된 일이 포함됩니다.
전시 제품
Bruker Taiwan Co., Ltd는 반도체, 재료과학, 생명과학, 산업 응용을 위한 표면 및 재료 특성 분석 도구를 제공합니다. 제품군에는 원자힘현미경, nanoIR 분광기, 스타일러스 및 광학 프로파일러, 타원계측 및 반사계측 시스템, 인시투 및 독립형 나노기계 시험기, 기계 및 마찰 시험기, 반도체 연구 및 제조 도구가 포함됩니다. 장비는 초기 연구부터 고처리량 생산까지 R&D, QA/QC, 공정 모니터링, 재료 개발, 기타 재료분석 요구를 지원합니다. Bruker 시스템은 모듈형 설계, 업그레이드 경로, 다양한 액세서리, 여러 운용 모드로 다양한 표면, 시료 유형, 워크플로를 지원합니다. 소프트웨어 플랫폼은 직관적 인터페이스, 안내형 설정, 자동화 도구, 데이터 시각화를 결합해 신규 분석자와 숙련 사용자 모두를 지원합니다. Bruker는 수십 년의 사내 표면분석 개발을 기반으로 하며 다른 공급업체보다 더 많은 독점 기술을 카탈로그에 보유한다고 설명하고 실제 응용 과제에 맞춘 도구를 제공합니다. 재료 연구 AFM은 PeakForce Tapping®으로 나노기계, 나노전기, 나노전기화학 연구를 지원하며 이 플랫폼군은 하루 약 3편의 동료평가 논문과 연결됩니다. 재료 AFM에는 DIMENSION 2D AFM, DIMENSION FASTSCAN AFM, DIMENSION ICON AFM, DIMENSION NEXUS AFM, DIMENSION XR, INNOVA AFM, INNOVA-IRIS AFM, MULTIMODE 8-HR, NANOWIZARD 4XP NANOSCIENCE, NANOWIZARD NANOOPTICS, NANOWIZARD V NANOSCIENCE가 있습니다. 산업용 AFM에는 산업 R&D 자동 나노계측용 DIMENSION FASTSCAN PRO와 대량생산 환경용 DIMENSION HPI AFM이 있습니다. BioAFM에는 CELLHESION 300, CELLWIZARD STAGE, DIMENSION FASTSCAN BIO, FORCEROBOT 400, NANORACER, NANOWIZARD 4XP BIOSCIENCE, NANOWIZARD V BIOSCIENCE, NANOWIZARD PURE, ULTRA SPEED 3가 있습니다.3D 광학 및 스타일러스 프로파일링은 접촉 및 비접촉 표면 거칠기, 단차, 박막 응력 측정을 지원합니다. 광학 프로파일러에는 CONTOURX-100, CONTOURX-200, CONTOURX-500, CONTOURX-1000, NPFLEX-1000, CONTOURSP, HD9800+가 있고 스타일러스에는 DEKTAK PRO와 DEKTAKXTL이 있습니다. 기계 및 마찰 특성 분석은 나노 및 마이크로 스케일 정량시험용 독립형 및 통합형 시스템으로 제공합니다. 독립형 나노기계 시스템에는 HYSITRON TI 990, HYSITRON TI 980, HYSITRON TI PREMIER II, HYSITRON TS 77 SELECT가 있습니다. 현미경 통합형에는 HYSITRON BIOSOFT, INTRASPECT 90, INTRASPECT 360, TS 75가 있고 SEM/TEM용에는 PI ENVISION SEM PICOINDENTER, PI 80, PI 89, PI 89 AUTO, PI 95 TEM PICOINDENTER가 있습니다. 마찰 및 기계 시험에는 UMT TRIBOLAB, 웨이퍼 연마 공정용 TRIBOLAB CMP, 브레이크 마찰 및 입자 배출 연구용 TRIBOLAB HD가 있습니다. nanoIR 분광기는 화학 조성과 나노 구조를 연계하며 DIMENSION ICONIR, ICONIR300, NANOIR3, NANOIR3-S를 포함합니다. 타원계측 및 반사계측은 박막 두께와 광학 특성 분석용으로 FILMTEK 6000 PAR-SE ROBOTIC, 2000M TSV ROBOTIC, 4000 ROBOTIC, 2000 PAR-SE ROBOTIC 및 다양한 벤치탑 FILMTEK를 포함합니다. 벤치탑에는 FILMTEK 2000 PAR-SE, 2000M, 4000, 2000 SE, SE, 2000이 있어 패턴 또는 비패턴 박막과 다층막을 측정합니다. 치수계측에는 하나의 광학 센서로 치수, 위치, 형상, 거칠기를 측정하는 µCMM, 광학 3D 센서와 협동로봇을 결합한 COBOTS, FOCUSX, INFINITEFOCUS가 있습니다. 반도체 연구 및 제조에는 팹 인라인 계측용 INSIGHT 300과 CMP 프로파일 및 식각 깊이 계측용 INSIGHT AFP 같은 자동 AFM이 포함됩니다. 면내 전류 터널링 시스템은 300 mm 웨이퍼 기업 R&D 및 고장분석용 SMARTPROBER P1과 연구개발용 SMARTPROBER TT입니다. 마스크 수리 제품은 FP-III, NM-VI, RHAZER-III이고 마스크 및 웨이퍼 세정은 EL-C와 완전자동 고처리량 비수계 CO₂ 극저온 건식세정 WC-2200입니다. 백색광 간섭계는 INSIGHT WLI와 CONTOURX-1000, 반도체 스타일러스 계측은 300 mm QA/QC용 DEKTAK XTL입니다. 반도체 나노기계 및 마찰 시스템에는 HYSITRON ATI 8800, TI 990 TRIBOINDENTER, PI 89 AUTO, TRIBOLAB CMP가 있습니다. 반도체 나노스케일 물성 및 화학 특성 분석에는 DIMENSION ICONIR, ICONIR300, DIMENSION FASTSCAN PRO가 있습니다. 실리콘 반도체 X-ray 계측은 SIRIUS-RF, SIRIUS-FW, 7300LSI이고 화합물 반도체는 DELTA-X, QCVELOX-HR, QCVELOX-E, QC5-R입니다. X-ray 결함검사에는 JVSENSUS-600F, QC-RT, QC-TT가 있어 공정장비 적격성 확인과 고가치 기판의 비가시 결함 업무를 지원합니다. Bruker는 시스템 선정, 액세서리, 교육, 장기 서비스, 업그레이드, 응용 지원도 제공하며 지원 엔지니어, 응용과학자, 분야 전문가가 고객 생산성 향상을 지원합니다.
역량 및 제품
- 원자힘현미경(AFM)
- nanoIR 나노적외선 분광기
- 스타일러스 및 광학 프로파일로메트리
- 엘립소메트리 및 리플렉토메트리
- 나노역학 시험
- 기계 및 트라이볼로지 시험
- 표면 거칠기 및 단차 측정
- 박막 응력 분석
- XRF·XRD X-ray 분석 장비
- X-ray µCT 장비
- EDS 전자현미경 X-ray 분석
- EBSD 전자 후방산란 회절 분석
- 자동 X-ray 반도체 계측
- 자동 AFM 결함 검출
- 포토마스크 수리 장비
- 포토마스크 및 웨이퍼 세정 장비
- 백색광 간섭 계측 시스템
- 치수·위치·형상·거칠기 측정
- 실리콘 반도체 X-ray 계측
- 화합물 반도체 X-ray 계측
- X-ray 결함 검사
- NMR·EPR 자기공명 분광기
- MALDI-TOF·ITMS 질량분석기
- MRMS·LC-MS 질량분석기
- 초전도 와이어 생산