基本資料
| 攤位 | N1282 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.Bruker.com/Nano |
公司簡介
Bruker Taiwan Co., Ltd透過Bruker Nano Surfaces為研究與生產提供表面分析儀器，包括AFM、3D Optical Profilers、Nano-Mechanical Testers與Tribometers。這些應用導向儀器支援前段與後段半導體生產、MEMS製造及IC封裝的研發、製程開發與製造，並強調重複性與準確性。Bruker整體組織擁有超過11,000名員工，其中2,000名投入研發，全球設有15個主要製造基地，並有超過5,000件申請中或已核准專利。Bruker提供科學儀器與分析解決方案，用於在微觀、分子與細胞尺度偵測、量測及視覺化化學、生物與工業樣品的結構特性。客戶市場涵蓋生命與材料科學、生物製藥、應用研究、微生物、診斷、奈米科技、製藥、臨床研究、生物科技、細胞生物學與體外診斷。更廣泛的平台包括磁共振、質譜、氣相與液相層析、X-ray、顯微、量測、分子光譜、自動化與軟體解決方案。Bruker總部位於美國麻薩諸塞州Billerica，並透過歐洲與北美的技術及製造中心，以及全球銷售與支援網路服務客戶。組織設有Bruker BioSpin Group、Bruker CALID Group、Bruker Scientific Instruments（BSI）NANO Segment與Bruker Energy & Supercon Technologies（BEST）四個營運部門，另有BSI Life Science、BSI NANO與BEST三個報告部門。Bruker BioSpin設計、製造與銷售磁共振及前臨床影像儀器，包括NMR與EPR光譜儀，以及MRI、PET、SPECT、CT、Optical與MPI影像系統，並提供軟體與自動化工具。BioSpin的學術、政府、工業與製藥客戶將這些技術用於結構生物學、藥物探索、疾病研究、代謝體學與先進材料分析。Bruker CALID由Bruker Daltonics與Bruker Optics組成；Daltonics提供MALDI-TOF、離子阱質譜、磁共振質譜與LC-MS，Bruker Optics則提供紅外與Raman光譜系統，包括FT-IR與NIR。Bruker Energy & Supercon Technologies生產超導線材，超過50年來服務醫療、學術與工業組織，應用包括MRI、先進材料科學與永續能源。其高效能超導線材可承載傳統銅線最高100倍的電流，支援需要高穩定度與低能耗的NMR等技術。BSI Nano Segment包含Bruker AXS、Bruker Nano Analytics、Bruker Nano Surfaces and Metrology、Fluorescence Microscopy與Canopy Divisions，服務學術、政府、生命科學、材料與應用產業客戶。Bruker AXS提供以XRF、XRD、X-ray微型電腦斷層與火花光學發射光譜為基礎的儀器；Bruker Nano Analytics則提供EDS、EBSD、micro-CT配件、micro-XRF、TXRF及手持、便攜與移動式XRF儀器。Bruker Nano Surfaces and Metrology結合AFM、白光干涉與探針式輪廓量測的非接觸奈米解析度表面形貌能力，並提供半導體製程控制用自動X-ray量測、自動AFM缺陷檢測及光罩修復與清洗設備。Bruker的企業沿革包括1960年在Karlsruhe成立Bruker Physik-AG，此前在1950年代已注意到脈衝光譜儀的需求。
展出產品
Bruker Taiwan Co., Ltd為半導體、材料科學、生命科學與工業應用提供表面及材料特性分析工具。產品組合包括原子力顯微鏡、nanoIR光譜儀、探針式與光學輪廓儀、橢圓偏光與反射量測系統、原位與獨立式奈米力學測試儀、機械與摩擦測試儀，以及半導體研究與製造工具。這些儀器支援從早期研究到高產能生產的研發、QA/QC、製程監控、材料開發與其他材料分析需求。Bruker系統透過模組化設計、升級路徑、豐富配件與多種操作模式，支援不同表面、樣品類型與工作流程。軟體平台結合直覺介面、引導式設定、自動化工具與資料視覺化，可支援新進分析人員與資深使用者。Bruker以數十年內部表面分析開發為基礎，並表示其產品目錄擁有比其他供應商更多的專有技術，工具設計則回應實際應用挑戰。材料研究AFM採用PeakForce Tapping®技術支援奈米力學、奈米電學與奈米電化學研究，Bruker並將此平台家族與每日約三篇同儕審查論文的發表量連結。材料AFM產品包括DIMENSION 2D AFM、DIMENSION FASTSCAN AFM、DIMENSION ICON AFM、DIMENSION NEXUS AFM、DIMENSION XR、INNOVA AFM、INNOVA-IRIS AFM、MULTIMODE 8-HR、NANOWIZARD 4XP NANOSCIENCE、NANOWIZARD NANOOPTICS與NANOWIZARD V NANOSCIENCE。工業AFM包括用於工業研發自動奈米量測的DIMENSION FASTSCAN PRO，以及面向高產量生產環境的DIMENSION HPI AFM。BioAFM產品包括CELLHESION 300、CELLWIZARD STAGE、DIMENSION FASTSCAN BIO、FORCEROBOT 400、NANORACER、NANOWIZARD 4XP BIOSCIENCE、NANOWIZARD V BIOSCIENCE、NANOWIZARD PURE與ULTRA SPEED 3。3D光學與探針式輪廓量測支援接觸與非接觸表面粗糙度、階高與薄膜應力量測。光學輪廓儀包括CONTOURX-100、CONTOURX-200、CONTOURX-500、CONTOURX-1000、NPFLEX-1000、CONTOURSP與HD9800+，探針式輪廓儀則包括DEKTAK PRO與DEKTAKXTL。機械與摩擦特性分析以獨立式及整合式系統提供奈米與微米尺度定量測試。獨立式奈米力學系統包括HYSITRON TI 990、HYSITRON TI 980、HYSITRON TI PREMIER II與HYSITRON TS 77 SELECT。顯微鏡整合系統包括HYSITRON BIOSOFT、HYSITRON INTRASPECT 90、HYSITRON INTRASPECT 360與HYSITRON TS 75；SEM/TEM系統則包括HYSITRON PI ENVISION SEM PICOINDENTER、PI 80、PI 89、PI 89 AUTO與PI 95 TEM PICOINDENTER。摩擦與機械測試產品包括UMT TRIBOLAB、用於晶圓拋光製程與材料特性分析的TRIBOLAB CMP，以及用於煞車摩擦與粒子排放研究的TRIBOLAB HD。nanoIR光譜儀可把化學組成與奈米尺度結構關聯，產品包括DIMENSION ICONIR、DIMENSION ICONIR300、NANOIR3與NANOIR3-S。橢圓偏光與反射量測系統用於薄膜厚度與光學特性分析，包括FILMTEK 6000 PAR-SE ROBOTIC、FILMTEK 2000M TSV ROBOTIC、FILMTEK 4000 ROBOTIC、FILMTEK 2000 PAR-SE ROBOTIC及多款桌上型FILMTEK。桌上型FILMTEK包括FILMTEK 2000 PAR-SE、FILMTEK 2000M、FILMTEK 4000、FILMTEK 2000 SE、FILMTEK SE與FILMTEK 2000，用於圖案化或非圖案化薄膜與多層膜量測。尺寸量測產品包括以單一光學感測器量測尺寸、位置、形狀與粗糙度的µCMM、結合光學3D感測與協作機器人的COBOTS，以及FOCUSX與INFINITEFOCUS。半導體研究與製造方案包括INSIGHT 300等自動AFM內聯量測系統，以及用於CMP輪廓和蝕刻深度量測的INSIGHT AFP。面內電流穿隧系統包括用於300 mm晶圓企業研發與失效分析的SMARTPROBER P1，以及研發用SMARTPROBER TT。光罩修復產品包括FP-III、NM-VI與RHAZER-III；光罩與晶圓清洗產品包括EL-C與WC-2200，後者為全自動高產能非水性CO₂低溫乾式清洗系統。白光干涉系統包括INSIGHT WLI與CONTOURX-1000，半導體探針式輪廓量測包括用於300 mm QA/QC的DEKTAK XTL。半導體奈米力學與摩擦系統包括HYSITRON ATI 8800、HYSITRON TI 990 TRIBOINDENTER、HYSITRON PI 89 AUTO與TRIBOLAB CMP。半導體奈米尺度性質與化學特性分析系統包括DIMENSION ICONIR、DIMENSION ICONIR300與DIMENSION FASTSCAN PRO。矽半導體X-ray量測包括SIRIUS-RF、SIRIUS-FW與7300LSI；化合物半導體量測包括DELTA-X、QCVELOX-HR、QCVELOX-E與QC5-R。X-ray缺陷檢測產品包括JVSENSUS-600F、QC-RT與QC-TT，可用於製程設備資格確認與高價值基板的非目視缺陷工作。Bruker另提供系統選型、配件、訓練、延伸服務、升級與應用支援，並由支援工程師、應用科學家及領域專家協助提升客戶生產力。
能力與產品項目
- 原子力顯微鏡（AFM）
- nanoIR 奈米紅外光譜儀
- 探針式與光學輪廓量測
- 橢圓偏光與反射量測
- 奈米力學測試
- 機械與摩擦學測試
- 表面粗糙度與階高量測
- 薄膜應力分析
- XRF／XRD X-ray 分析儀器
- X-ray µCT 儀器
- EDS 電子顯微 X-ray 分析
- EBSD 電子背向散射繞射分析
- 自動 X-ray 半導體量測
- 自動 AFM 缺陷檢測
- 光罩修復設備
- 光罩與晶圓清洗設備
- 白光干涉量測系統
- 尺寸、位置、形狀與粗糙度量測
- 矽半導體 X-ray 量測
- 化合物半導體 X-ray 量測
- X-ray 缺陷檢測
- NMR／EPR 磁共振光譜儀
- MALDI-TOF／ITMS 質譜儀
- MRMS／LC-MS 質譜儀
- 超導線材製造