基本情報
| ブース | N1282 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.Bruker.com/Nano |
会社概要
Bruker Taiwan Co., LtdはBruker Nano Surfacesを通じて研究・生産向け表面分析装置を提供し、AFM、3D Optical Profilers、Nano-Mechanical Testers、Tribometersを扱います。これらの用途特化型装置は、前工程・後工程の半導体生産、MEMS製造、ICパッケージングにおけるR&D、プロセス開発、製造を再現性と精度で支援します。Bruker全体では11,000名を超える従業員、R&D専任2,000名、世界15の主要製造拠点、5,000件を超える出願中または取得済み特許があります。Brukerは、化学、生物、産業試料の構造特性を微視的、分子、細胞レベルで検出、測定、可視化する科学機器と分析ソリューションを提供します。顧客市場はライフ・材料科学、バイオファーマ、応用研究、微生物、診断、ナノテクノロジー、製薬、臨床研究、バイオテクノロジー、細胞生物学、体外診断に及びます。幅広いプラットフォームには磁気共鳴、質量分析、ガス・液体クロマトグラフィー、X-ray、顕微鏡、計測、分子分光、自動化、ソフトウェアがあります。Brukerは米国Massachusetts州Billericaに本社を置き、欧州・北米の技術・製造センターと世界的な販売・サポートネットワークを通じて顧客を支援します。4つの事業セグメントはBruker BioSpin Group、Bruker CALID Group、Bruker Scientific Instruments（BSI）NANO Segment、Bruker Energy & Supercon Technologies（BEST）で、報告セグメントはBSI Life Science、BSI NANO、BESTです。Bruker BioSpinはNMR・EPR分光計、MRI、PET、SPECT、CT、Optical、MPI画像システムなど磁気共鳴・前臨床イメージング装置を設計・製造・販売し、ソフトウェアと自動化ツールも提供します。学術、政府、産業、製薬のBioSpin顧客は、構造生物学、創薬、疾患研究、メタボロミクス、先端材料分析にこれらの技術を利用します。Bruker CALIDはBruker DaltonicsとBruker Opticsで構成され、DaltonicsはMALDI-TOF、イオントラップMS、磁気共鳴MS、LC-MSを、OpticsはFT-IRとNIRを含む赤外・Raman分光システムを提供します。Bruker Energy & Supercon Technologiesは超電導線材を生産し、50年以上にわたり医療、学術、産業組織を支援し、MRI、先端材料科学、持続可能エネルギーに利用されています。高性能超電導線材は従来の銅線の最大100倍の電流を流すことができ、高安定性と低消費電力を必要とするNMRなどを支援します。BSI Nano SegmentにはBruker AXS、Bruker Nano Analytics、Bruker Nano Surfaces and Metrology、Fluorescence Microscopy、Canopy Divisionsが含まれ、学術、政府、ライフサイエンス、材料、応用産業の顧客に対応します。Bruker AXSはXRF、XRD、X-rayマイクロCT、スパーク発光分光装置を提供し、Bruker Nano AnalyticsはEDS、EBSD、micro-CTアクセサリ、micro-XRF、TXRF、ハンドヘルド・ポータブル・モバイルXRFを提供します。Bruker Nano Surfaces and MetrologyはAFM、白色光干渉、スタイラスプロフィロメトリによる非接触ナノメートル分解能の表面形状測定を組み合わせ、半導体プロセス制御向け自動X-ray計測、自動AFM欠陥検出、フォトマスク修復・洗浄装置も提供します。Brukerの沿革には、1950年代にパルス分光計の必要性が認識された後、1960年にKarlsruheでBruker Physik-AGが設立されたことが含まれます。
展示製品
Bruker Taiwan Co., Ltdは半導体、材料科学、ライフサイエンス、産業用途向けに表面・材料特性評価ツールを提供します。製品群には原子間力顕微鏡、nanoIR分光計、スタイラス式・光学式プロファイラ、エリプソメトリ・リフレクトメトリ、in-situ・スタンドアロンのナノメカニカルテスター、機械・トライボロジー試験機、半導体研究・製造ツールがあります。装置は初期研究から高スループット生産までR&D、QA/QC、プロセス監視、材料開発、その他の材料分析を支援します。Brukerシステムはモジュール設計、アップグレード経路、多数のアクセサリ、複数の動作モードにより多様な表面、試料、ワークフローに対応します。ソフトウェアは直感的インターフェース、ガイド設定、自動化、データ可視化を組み合わせ、初心者から熟練者まで支援します。Brukerは数十年の社内表面分析開発を基盤とし、カタログには他社より多くの独自技術があると説明し、実際の用途課題に基づくツールを展開しています。材料研究用AFMはPeakForce Tapping®でナノメカニカル、ナノ電気、ナノ電気化学研究を支援し、このプラットフォーム群は1日約3本の査読論文に関連付けられています。材料AFMにはDIMENSION 2D AFM、DIMENSION FASTSCAN AFM、DIMENSION ICON AFM、DIMENSION NEXUS AFM、DIMENSION XR、INNOVA AFM、INNOVA-IRIS AFM、MULTIMODE 8-HR、NANOWIZARD 4XP NANOSCIENCE、NANOWIZARD NANOOPTICS、NANOWIZARD V NANOSCIENCEがあります。産業AFMには工業R&D向け自動ナノ計測のDIMENSION FASTSCAN PROと高量産環境向けDIMENSION HPI AFMがあります。BioAFMにはCELLHESION 300、CELLWIZARD STAGE、DIMENSION FASTSCAN BIO、FORCEROBOT 400、NANORACER、NANOWIZARD 4XP BIOSCIENCE、NANOWIZARD V BIOSCIENCE、NANOWIZARD PURE、ULTRA SPEED 3があります。3D光学・スタイラスプロフィロメトリは接触・非接触の表面粗さ、段差、膜応力測定に対応します。光学プロファイラはCONTOURX-100、CONTOURX-200、CONTOURX-500、CONTOURX-1000、NPFLEX-1000、CONTOURSP、HD9800+、スタイラスはDEKTAK PROとDEKTAKXTLです。機械・トライボロジー評価はナノ・マイクロスケールの定量試験向けスタンドアロン・統合システムで提供します。スタンドアロンのナノメカニカル装置はHYSITRON TI 990、HYSITRON TI 980、HYSITRON TI PREMIER II、HYSITRON TS 77 SELECTです。顕微鏡統合型はHYSITRON BIOSOFT、INTRASPECT 90、INTRASPECT 360、TS 75、SEM/TEM向けはPI ENVISION SEM PICOINDENTER、PI 80、PI 89、PI 89 AUTO、PI 95 TEM PICOINDENTERです。トライボロジー・機械試験にはUMT TRIBOLAB、ウェハ研磨向けTRIBOLAB CMP、ブレーキ摩擦・粒子排出研究向けTRIBOLAB HDがあります。nanoIR分光計は化学組成とナノ構造を相関し、DIMENSION ICONIR、ICONIR300、NANOIR3、NANOIR3-Sがあります。エリプソメトリ・リフレクトメトリは膜厚・光学特性評価用で、FILMTEK 6000 PAR-SE ROBOTIC、2000M TSV ROBOTIC、4000 ROBOTIC、2000 PAR-SE ROBOTICと各種ベンチトップFILMTEKがあります。ベンチトップにはFILMTEK 2000 PAR-SE、2000M、4000、2000 SE、SE、2000があり、パターン有無の薄膜・多層膜を測定します。寸法計測には1つの光学センサーで寸法・位置・形状・粗さを測るµCMM、光学3Dセンサーと協働ロボットを組み合わせるCOBOTS、FOCUSX、INFINITEFOCUSがあります。半導体研究・製造ではfab対応インライン計測のINSIGHT 300、CMPプロファイル・エッチ深さ計測のINSIGHT AFPなど自動AFMを提供します。面内電流トンネルシステムは300 mmウェハの企業R&D・故障解析向けSMARTPROBER P1と研究開発向けSMARTPROBER TTです。マスク修復はFP-III、NM-VI、RHAZER-III、マスク・ウェハ洗浄はEL-Cと全自動高スループット非水系CO₂極低温ドライ洗浄WC-2200です。白色光干渉はINSIGHT WLIとCONTOURX-1000、半導体スタイラス計測は300 mm QA/QC向けDEKTAK XTLです。半導体ナノメカニカル・トライボロジーはHYSITRON ATI 8800、TI 990 TRIBOINDENTER、PI 89 AUTO、TRIBOLAB CMPです。半導体のナノ物性・化学評価にはDIMENSION ICONIR、ICONIR300、DIMENSION FASTSCAN PROがあります。シリコン半導体X-ray計測はSIRIUS-RF、SIRIUS-FW、7300LSI、化合物半導体はDELTA-X、QCVELOX-HR、QCVELOX-E、QC5-Rです。X-ray欠陥検査はJVSENSUS-600F、QC-RT、QC-TTで、プロセス装置の適格性確認や高価値基板の非可視欠陥に対応します。Brukerはシステム選定、アクセサリ、トレーニング、長期サービス、アップグレード、アプリケーション支援も提供し、サポートエンジニア、アプリケーション科学者、専門家が生産性向上を支援します。
対応領域・製品
- 原子間力顕微鏡（AFM）
- nanoIRナノ赤外分光計
- スタイラス・光学式プロフィロメトリ
- エリプソメトリ・リフレクトメトリ
- ナノメカニカル試験
- 機械・トライボロジー試験
- 表面粗さ・段差測定
- 膜応力解析
- XRF・XRD X-ray分析装置
- X-ray µCT装置
- EDS電子顕微鏡X-ray分析
- EBSD電子後方散乱回折分析
- 自動X-ray半導体計測
- 自動AFM欠陥検出
- フォトマスク修復装置
- フォトマスク・ウェハ洗浄装置
- 白色光干渉計測システム
- 寸法・位置・形状・粗さ測定
- シリコン半導体X-ray計測
- 化合物半導体X-ray計測
- X-ray欠陥検査
- NMR・EPR磁気共鳴分光計
- MALDI-TOF・ITMS質量分析計
- MRMS・LC-MS質量分析計
- 超電導線材製造