기본 정보
| 부스 | Q5658 |
| 국가 | KR |
| 웹사이트 | www.aurostech.com |
회사 소개
AUROS Technology, Inc.는 2009년에 설립되었으며 반도체 공정용 측정 장비를 전문으로 합니다. 회사는 2011년에 국내 최초로 오버레이 계측 장비 양산에 성공했으며 이후 글로벌 반도체 시장의 주요 고객에게 기술을 공급해 왔다고 설명합니다. AUROS는 전문 평가기관의 기술평가에서 우수 등급을 획득했다고 밝힙니다. 또한 소재, 부품 및 장비 분야의 small hidden champion으로 선정되었으며 이를 계측 장비 분야의 역량과 연결해 설명합니다. 회사는 오버레이 계측 기술을 고도화하는 동시에 추가 측정 및 검사 장비를 개발하고 있습니다. AUROS는 창의성과 도전 정신을 핵심 가치로 제시하고 제품 개발을 통해 국내외 반도체 시장에 기여하는 것을 목표로 합니다. 회사는 첨단 기술을 바탕으로 글로벌 경쟁사가 점유한 계측 시장에서 경쟁하고 전 세계 시장에서 활용될 제품을 개발한다는 방향을 제시합니다. 회사가 장비 개발을 계속하는 목적 중 하나는 기존 오버레이 계측 플랫폼을 넘어 고객에게 추가 솔루션을 제공하는 것입니다. AUROS는 기술 개발 프로그램을 국내 반도체 산업과 더 넓은 글로벌 반도체 시장을 동시에 대상으로 하는 활동으로 제시합니다. 회사의 계측 장비 정체성, 2011년 오버레이 계측 이정표, 이후 검사 장비 개발이 기업 기술 연혁에서 설명하는 주요 단계입니다.
전시 제품
AUROS는 반도체 계측 제품군을 Overlay, Warpage, 3D Height, Thickness의 네 분야로 구성합니다. Overlay 제품군에는 OL-1000n, OL-900n, HE-900 PAD, HE-900ir, OL-100n 시스템이 포함됩니다. Warpage 시스템에는 WaPIS와 TC WaPIS가 있고, 3D Height 제품군에는 MT-30T와 METIS-PS가 포함됩니다. Thickness 제품군은 AEliT F300과 AEliT F200으로 구성됩니다. OL-1000n 오버레이 시스템은 높은 처리량과 고해상도 및 대시야각 이미징을 특징으로 제시합니다. 동일한 OL-1000n 기능에는 가변 파장 또는 듀얼 밴드 운용과 듀얼 카메라 시스템도 포함됩니다. OL-1000n은 12인치 자동화 호환성과 독립형 시스템 운용도 지원하는 것으로 제시됩니다. 이들 시스템은 반도체 공정에서 오버레이 계측, 웨이퍼 휨, 3차원 높이, 두께 측정 요구를 각각 지원합니다. OL-1000n에는 Highest Throughput, High Resolution & Large FOV Imaging, Tunable Wavelength / Dual Band, Dual Camera System, 12inch automation compatible, Standalone System 기능이 명시되어 있습니다. OL-1000n 기능 목록에는 Highest Throughput와 High Resolution & Large FOV Imaging이 각각 명시되어 있습니다. Tunable Wavelength / Dual Band와 Dual Camera System도 OL-1000n 기능으로 명시되어 있습니다. OL-1000n 기능 목록에는 12inch automation compatible와 Standalone System도 포함됩니다. WaPIS와 TC WaPIS는 휨 측정용 시스템으로 명시되어 웨이퍼 형상 측정을 Overlay, 3D Height, Thickness 제품군과 구분합니다. MT-30T와 METIS-PS는 3D Height, AEliT F300과 AEliT F200은 Thickness로 분류됩니다. 제품군에는 반도체 계측을 위해 Overlay, Warpage, 3D Height, Thickness 각 범주별로 명시된 시스템이 포함됩니다.
역량 및 제품
- 반도체 Overlay 계측 장비
- 웨이퍼 Warpage 측정 장비
- 3D Height 측정 장비
- 웨이퍼 Thickness 측정 장비