基本情報
| ブース | Q5658 |
| 国 | KR |
| ウェブサイト | www.aurostech.com |
会社概要
株式会社オーロステクノロジーは2009年に設立され、半導体プロセス向けの測定装置を専門としています。同社は2011年に国内で初めてオーバーレイ計測装置の量産に成功し、その後、世界の半導体市場の主要顧客へ技術を供給してきたとしています。株式会社オーロステクノロジーは、専門評価機関の技術評価で優秀等級を取得したとしています。また、材料・部品・装置分野のsmall hidden championに選定され、その認定を測定装置分野での能力と結び付けて説明しています。同社はオーバーレイ計測技術の強化を続けながら、新たな測定・検査装置の開発にも取り組んでいます。株式会社オーロステクノロジーは創造性と挑戦する姿勢を中核価値として掲げ、製品開発を通じて国内外の半導体市場に貢献することを目標としています。同社は先進技術を用いてグローバル競合が占める測定市場で競争し、世界各地で利用される製品を開発する方針を示しています。継続的な装置開発の目的の一つは、既存のオーバーレイ計測基盤に加えて、顧客へ新たなソリューションを提供することです。株式会社オーロステクノロジーは技術開発を、国内の半導体分野とより広い世界の半導体市場の双方に向けた取り組みとして位置づけています。測定装置メーカーとしての位置づけ、2011年のオーバーレイ計測の節目、その後の検査装置開発が、同社の技術沿革で示される主な段階です。
展示製品
株式会社オーロステクノロジーは半導体測定製品をOverlay、Warpage、3D Height、Thicknessの4分野に展開しています。Overlay製品にはOL-1000n、OL-900n、HE-900 PAD、HE-900ir、OL-100nが含まれます。WarpageシステムはWaPISとTC WaPISで、3D Height製品にはMT-30TとMETIS-PSがあります。Thickness製品にはAEliT F300とAEliT F200があります。OL-1000nオーバーレイシステムでは、高スループットに加えて高解像度・大視野のイメージングを特長として示しています。同じOL-1000nの機能には、可変波長またはデュアルバンド動作とデュアルカメラシステムも含まれます。OL-1000nは12インチ自動化への対応と、スタンドアロンシステムとしての利用も記載されています。これらの製品は、半導体プロセスにおけるオーバーレイ計測、ウェハ反り、3次元高さ、厚さの各測定ニーズをカバーします。OL-1000nには、Highest Throughput、High Resolution & Large FOV Imaging、Tunable Wavelength / Dual Band、Dual Camera System、12inch automation compatible、Standalone Systemが機能として挙げられています。OL-1000nの機能一覧には、Highest ThroughputとHigh Resolution & Large FOV Imagingがそれぞれ記載されています。Tunable Wavelength / Dual BandとDual Camera SystemもOL-1000nの機能として挙げられています。OL-1000nの機能一覧には、12inch automation compatibleとStandalone Systemも含まれます。WaPISとTC WaPISは反り測定用の製品として挙げられ、ウェハ形状測定をOverlay、3D Height、Thicknessの各製品群と区別しています。MT-30TとMETIS-PSは3D Height、AEliT F300とAEliT F200はThicknessに分類されています。製品ラインには、半導体測定向けにOverlay、Warpage、3D Height、Thicknessの各カテゴリーで製品名が挙げられています。
対応領域・製品
- 半導体Overlay計測装置
- ウェハWarpage測定装置
- 3D Height測定装置
- ウェハThickness測定装置