기본 정보
| 부스 | S7330 |
| 국가 | US |
| 웹사이트 | www.ancorp.com |
회사 소개
1965년부터 ANCORP는 미국에서 고진공 및 초고진공 부품을 제조하며 전 세계 연구자, 엔지니어, OEM, 제조업체와 산업 사용자의 과학 및 기술 활동을 지원해 왔습니다. 핵심 제조 범위는 진공 플랜지, 피팅, 밸브, 챔버, 피드스루, 트랩, 뷰포트와 맞춤 제작품으로, 표준 하드웨어부터 까다로운 진공 시스템용 전용 조립품까지 포함합니다. ANCORP는 자사의 고진공 볼 밸브를 가혹한 코팅 및 증착 환경용 특허 설계로 설명하며, 밸브 고장과 시스템 다운타임을 줄여 생산성을 높이는 데 초점을 둡니다. 제품은 박막 증착, 표면 분석, 레이저 장치, 극저온, 항공우주, 반도체 제조와 같이 제어된 고진공 환경이 필요한 응용 분야에서 사용됩니다. ANCORP는 연구용 단품 제작부터 OEM 프로그램용 양산 챔버까지 지원하며 표준 부품, 도면 기반 제작, 완전 맞춤 제작을 결합합니다. 회사는 가족 창립 기업의 정체성을 유지하며 연구 및 생산 환경에 진공 하드웨어, 밸브, 챔버, 맞춤 제작품을 공급합니다.
전시 제품
반도체 제조 분야에서 ANCORP는 청정도와 오염 제어가 중요한 공정 장비, 계측 장비, 하류 가스 저감 시스템에 사용되는 고진공 및 초고진공 제품을 공급합니다. 반도체 응용 범위에는 EUV 리소그래피, 서브팹 스크러버 및 저감 장비, 웨이퍼 핸들링 로드락, 식각 장비, 주사전자현미경이 포함됩니다. EUV 리소그래피에서 진공 챔버는 광원, 미러 어레이, 웨이퍼 스테이지를 서로 연결된 펌핑 공간으로 감싸며, ConFlat(CF) 플랜지와 피팅은 구리 가스켓으로 누설 없는 실링을 형성해 챔버 포트, 진단 장비, 뷰포트, 펌프, 센서, 액추에이터를 연결합니다. 회전 모션 피드스루는 진공 밀봉을 깨지 않고 EUV 챔버 내부로 회전을 전달하여 웨이퍼 스테이지 정렬과 미러의 in-situ 조정을 지원하고 반복 정밀도와 시스템 가동을 유지합니다. 서브팹 저감용 ANCORP 다중 포트 고진공 볼 밸브는 내식 구조, 고온 대응, 깨끗한 동적 실링, PTFE 시트, FKM 또는 FFKM O-ring, 풀포트 볼을 사용하며 3방향, 4방향, 5방향 유로 구성을 제공합니다. ISO-QF(KF) 플랜지와 피팅은 러프 진공부터 고진공까지 빠른 모듈 연결을 제공하여 정비 가능한 저감 구간이나 잦은 조립 및 재구성이 필요한 프로토타입 구성에 적합합니다. 웨이퍼 핸들링 로드락은 밀폐 전이 챔버로 대기압과 진공 환경 사이에서 웨이퍼를 이동시키며 진공 무결성을 보호하고 펌프다운 시간을 줄이면서 처리량을 유지합니다. ANCORP는 로드락과 공정 구성용으로 구형, 원통형, 박스형 진공 챔버를 제공하며 반복 진공 사이클과 낮은 아웃가싱을 위한 스테인리스강 또는 알루미늄 구조를 설명합니다. 로드락 진공 뷰포트는 석영, 사파이어, 붕규산 유리 등을 사용할 수 있어 진공을 개방하지 않고 위치를 확인하거나 레이저 간섭계, 카메라, IR 센서의 광학 접근점으로 활용할 수 있습니다. 건식 식각 및 플라즈마 식각 장비에서 진공 챔버는 플라즈마 물리, 기상 화학, 웨이퍼 표면 반응을 위한 제어 환경을 제공하고, 앵글 밸브는 가스 흐름과 격리를, 펜듈럼 밸브는 챔버 압력의 정밀 조절을 담당합니다. CF 및 ISO 플랜지와 피팅은 진공 라인, 가스 라인, 밸브, 뷰포트, 펌프, 공정 챔버를 연결하며 진공 영역과 유지보수 요구에 따라 구리 가스켓 또는 엘라스토머 O-ring 실링을 사용합니다. 주사전자현미경에서 진공 챔버는 전자 컬럼과 시료 환경을 유지하고, 게이트 밸브는 시료 로딩과 언로딩 중 챔버를 격리하며, 앵글 밸브는 러핑 또는 벤트 라인을 제어하고, CF 또는 KF 연결은 펌프, 게이지, 밸브, 챔버 포트를 잇습니다. 카탈로그 부품 외에도 ANCORP는 반응기, 트랩, 스크러버 격리용 내식 고속 작동 밸브, 연구 단품부터 OEM 수량까지의 맞춤 챔버, 반도체 및 코팅 공정용으로 다양한 유로를 선택할 수 있는 완전 맞춤형 고진공 밸브를 제공합니다. 플랜지와 피팅, 진공 밸브, 챔버, 피드스루, 트랩, 뷰포트, 맞춤 진공 제작을 결합해 진공 소스 하드웨어부터 공정, 검사, 웨이퍼 이송, 배기 저감 서브시스템까지 적용할 수 있습니다. SEM 시료 취급에서 gate valve는 로딩 및 언로딩 중 시료 챔버를 펌핑 시스템과 격리할 수 있고, 큰 오리피스 설계는 개방 시 conductance loss를 줄이면서 빠른 pump-down과 일정한 chamber base pressure를 지원합니다. 서비스 및 유지보수 영역에서는 KF fittings가 O-ring과 clamp로 빠른 조립과 분해를 제공하고, ultra-high-vacuum 무결성이 필요한 영역에서는 knife-edge 스테인리스 플랜지와 구리 가스켓을 사용하는 베이커블 CF 조인트를 적용할 수 있습니다.
역량 및 제품
- 고진공·초고진공 플랜지
- 진공 피팅
- 진공 밸브
- 진공 챔버
- 진공 회전 피드스루
- 진공 뷰포트
- 진공 맞춤 제작
- 웨이퍼 이송 로드락 챔버
- 진공 펜듈럼 밸브