基本資料
| 攤位 | S7330 |
| 國別 | US |
| 網站 | www.ancorp.com |
公司簡介
自 1965 年起，ANCORP 在美國製造高真空與超高真空元件，服務全球研究人員、工程師、OEM、製造商與工業使用者的科學與技術工作。 其核心製造範圍涵蓋真空法蘭、接頭、閥門、腔體、導入件、捕集器、視窗與客製化製造，從標準化硬體延伸至高要求真空系統的專用組件。 ANCORP 將其高真空球閥描述為適用於嚴苛塗佈與沉積環境的專利設計，藉由降低閥件故障與系統停機來提升生產力。 公司產品服務薄膜沉積、表面分析、雷射裝置、低溫技術、航空航太、半導體製造，以及其他依賴受控高真空環境的應用。 ANCORP 可支援從研究用途的單件製作到 OEM 專案的量產腔體，並把標準元件、依圖製造與完全客製化製造結合在一起。 公司延續家族創立的企業定位，並以提供真空硬體、閥門、腔體及客製化製造來支援研究與生產環境。
展出產品
在半導體製造中，ANCORP 提供高真空與超高真空產品，用於製程設備、量測設備與下游氣體廢氣處理系統，這些環境重視潔淨度與污染控制。 其半導體應用涵蓋 EUV 微影、次廠區 scrubber 與 abatement 設備、晶圓搬送 load lock、蝕刻設備及掃描式電子顯微鏡。 在 EUV 微影中，真空腔體可包覆光源、鏡面陣列與晶圓平台並形成互相連通且分別抽氣的空間，ConFlat（CF）法蘭與接頭則以銅墊片形成氣密密封，用於腔體接口、診斷設備、視窗、幫浦、感測器與致動器。 旋轉運動導入件可在不破壞密封的情況下把旋轉動作傳入 EUV 真空腔體，支援晶圓平台對位與鏡組原位調整，維持可重複動作與系統正常運行。 在次廠區廢氣處理方面，ANCORP 的多埠高真空球閥採耐腐蝕結構、高溫能力、潔淨動態密封、PTFE 閥座、FKM 或 FFKM O-ring 及全通徑球體，並提供 3、4、5 路流向配置。 ISO-QF（KF）法蘭與接頭可在粗真空至高真空範圍提供快速模組化連接，適合需要維修的 abatement 區段與經常拆裝或重新配置的原型系統。 晶圓搬送 load lock 以密封過渡腔體在大氣與真空環境間轉移晶圓，在保護真空完整性的同時縮短抽氣時間並維持 throughput。 ANCORP 為 load lock 與製程配置提供球形、圓柱形及箱形真空腔體，並描述不鏽鋼或鋁材結構可承受反覆真空循環並降低 outgassing。 load lock 的真空視窗可採石英、藍寶石、硼矽玻璃等材料，在不開啟真空環境的情況下支援目視檢查，或提供雷射干涉儀、相機與 IR 感測器的光學通道。 在乾式蝕刻與電漿蝕刻設備中，真空腔體提供電漿物理、氣相化學與晶圓表面反應的受控環境；angle valve 管理氣體流量與隔離，pendulum valve 則精密調節腔體壓力。 CF 與 ISO 法蘭及接頭連接真空管路、氣體管路、閥門、視窗、幫浦與製程腔體，依真空區域及維護需求分別採銅墊片或彈性體 O-ring 密封。 在掃描式電子顯微鏡中，真空腔體維持電子柱與樣品環境，gate valve 在裝卸樣品時隔離樣品腔，angle valve 控制粗抽或洩氣管路，CF 或 KF 連接則串接幫浦、量測器、閥件與腔體接口。 除標準元件外，ANCORP 亦提供可隔離反應器、捕集器與 scrubber 的耐腐蝕快速作動閥、從研究單件到 OEM 量產的客製腔體，以及具有多種流路、適用半導體與塗佈製程的全客製高真空閥。 法蘭與接頭、真空閥、腔體、導入件、捕集器、視窗及客製真空製造的組合，使 ANCORP 可從真空源硬體延伸到製程、檢測、晶圓轉移與廢氣處理子系統。 在 SEM 樣品搬送中，gate valve 可在裝卸樣品期間把樣品腔與抽氣系統隔離，其大口徑設計在開啟時可降低 conductance loss，並支援快速 pump-down 與一致的腔體 base pressure。 在服務與維護區域，KF fittings 以 O-ring 與 clamp 進行快速組裝和拆卸；需要 ultra-high-vacuum 完整性的區域則可使用 knife-edge 不鏽鋼法蘭與銅墊片形成可烘烤的 CF 接合。
能力與產品項目
- 高真空與超高真空法蘭
- 真空接頭
- 真空閥
- 真空腔體
- 真空旋轉導入件
- 真空視窗
- 真空客製製作
- 晶圓傳送Load Lock腔體
- 真空擺閥