基本情報
| ブース | S7330 |
| 国 | US |
| ウェブサイト | www.ancorp.com |
会社概要
1965 年以来、ANCORP は米国で高真空・超高真空部品を製造し、世界の研究者、エンジニア、OEM、製造業者、産業ユーザーの科学・技術活動を支えています。 中核製品は真空フランジ、継手、バルブ、チャンバー、フィードスルー、トラップ、ビューポート、カスタム製作品で、標準ハードウェアから要求の厳しい真空システム向け専用アセンブリまでを扱います。 ANCORP は高真空ボールバルブを、厳しいコーティング・成膜環境向けの特許設計として説明し、バルブ故障とシステム停止時間を減らして生産性向上を図ります。 製品は薄膜成膜、表面分析、レーザーデバイス、極低温、航空宇宙、半導体製造など、制御された高真空環境を必要とする用途で使用されています。 ANCORP は研究向けの単品製作から OEM 向け量産チャンバーまで対応し、標準部品、図面指定製作、完全カスタム製作を組み合わせています。 同社はファミリー創業の企業として、研究環境と生産環境の双方に真空ハードウェア、バルブ、チャンバー、カスタム製作品を供給しています。
展示製品
半導体製造向けに、ANCORP は清浄度と汚染管理が重要なプロセスツール、計測装置、下流ガス除害システムで使われる高真空・超高真空製品を供給します。 半導体用途として EUV リソグラフィ、サブファブのスクラバー・除害装置、ウェハ搬送ロードロック、エッチング装置、走査電子顕微鏡を対象としています。 EUV リソグラフィでは、真空チャンバーが光源、ミラーアレイ、ウェハステージを相互接続された排気空間として収容し、ConFlat（CF）フランジと継手が銅ガスケットによる漏れのないシールでチャンバーポート、診断、ビューポート、ポンプ、センサー、アクチュエータを接続します。 ロータリーモーションフィードスルーは真空シールを保ったまま EUV チャンバー内へ回転を伝え、ウェハステージの位置合わせやミラーの in-situ 調整を高い再現性で行い、システム稼働を支えます。 サブファブ除害向けの ANCORP 多ポート高真空ボールバルブは、耐食構造、高温対応、クリーンな動的シール、PTFE シート、FKM または FFKM O-ring、フルポートボールを採用し、3、4、5 方向の流路構成を備えます。 ISO-QF（KF）フランジと継手は粗真空から高真空まで素早いモジュール接続を実現し、保守可能な除害セクションや頻繁な組立・再構成が必要な試作系に適します。 ウェハ搬送ロードロックは密閉された移行チャンバーを使って大気と真空の間でウェハを移動させ、真空健全性を守りながら排気時間を短縮し、スループットを維持します。 ANCORP はロードロックやプロセス構成向けに球形、円筒形、箱形の真空チャンバーを提供し、繰り返し真空サイクルと低アウトガスに対応するステンレス鋼またはアルミニウム構造を説明しています。 ロードロック用真空ビューポートには石英、サファイア、ホウケイ酸ガラスなどを使用でき、真空を開放せず目視確認を行うほか、レーザー干渉計、カメラ、IR センサーの光学アクセスにも使えます。 ドライエッチングやプラズマエッチング装置では、真空チャンバーがプラズマ物理、気相化学、ウェハ表面反応の制御環境を提供し、アングルバルブがガス流量と隔離を、ペンデュラムバルブがチャンバー圧力の精密制御を担います。 CF と ISO のフランジ・継手は真空ライン、ガスライン、バルブ、ビューポート、ポンプ、プロセスチャンバーを接続し、真空領域と保守要件に応じて銅ガスケットまたはエラストマー O-ring を使用します。 走査電子顕微鏡では、真空チャンバーが電子カラムと試料環境を維持し、ゲートバルブが試料交換時にチャンバーを隔離し、アングルバルブが粗引き・ベントラインを制御し、CF または KF 接続がポンプ、ゲージ、バルブ、チャンバーポートを結びます。 カタログ品に加え、ANCORP はリアクター、トラップ、スクラバー隔離用の耐食・高速作動バルブ、研究用単品から OEM 数量までのカスタムチャンバー、半導体・コーティング工程向けに複数流路を選べる完全カスタム高真空バルブを提供します。 フランジ・継手、真空バルブ、チャンバー、フィードスルー、トラップ、ビューポート、カスタム真空製作を組み合わせることで、真空源ハードウェアからプロセス、検査、ウェハ搬送、排気除害サブシステムまで対応できます。 SEM の試料搬送では、gate valve がロード・アンロード時に試料チャンバーを排気系から隔離し、大口径設計によって開時の conductance loss を抑えながら迅速な pump-down と安定した chamber base pressure を支えます。 サービス・保守領域では KF fittings が O-ring と clamp で迅速な組立・分解を可能にし、ultra-high-vacuum の完全性が必要な領域では knife-edge ステンレスフランジと銅ガスケットによるベーカブルな CF 接合を使用できます。
対応領域・製品
- 高真空・超高真空フランジ
- 真空継手
- 真空バルブ
- 真空チャンバー
- 真空回転導入機
- 真空ビューポート
- 真空カスタム製作
- ウェハ搬送ロードロックチャンバー
- 真空ペンデュラムバルブ