기본 정보
| 부스 | R7200 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.zygo.com/industries/semiconductor |
회사 소개
ZYGO Corporation은 첨단 광학 계측 시스템과 초정밀 광학 부품 및 어셈블리의 설계·제조 분야에서 글로벌 리더로 소개됩니다. 정밀 광학 및 계측 솔루션을 통해 고객 성공을 지원하는 것을 사명으로 하며 핵심 제품군에는 3D Optical Profiler Systems, Laser Interferometer Systems, Absolute Position Sensors, Displacement Position Sensors, Optical Components, Optical Assemblies가 포함됩니다. 정밀 계측과 광학 분야에서 높은 전문 지식을 가진 대규모 전문가 팀을 보유하며 정밀성, 품질, 고객 관계의 성실성, 업무에 대한 자부심을 핵심 가치와 연결합니다. 회사 설립 이후 약 750건의 특허를 취득했으며 수직 통합 기업으로서 여러 팀이 한 조직 안에서 협업한다고 설명합니다. 1970년에 설립되어 미국 코네티컷주 Middlefield에 본사를 두고 있으며 약 500명의 전문 인력이 글로벌 사업을 지원합니다. 2014년 AMETEK, Inc.의 Ultra Precision Technologies 사업부에 편입된 이후 AMETEK 자매 회사들과 기술 협력 및 자원 공유를 하면서 정밀 계측과 광학 요구를 계속 지원합니다.
전시 제품
반도체 연구와 생산을 위해 ZYGO는 고정밀 광학 특성 분석용 metrology systems, 정밀 스테이지 제어용 OEM position sensors, optical components 및 optical assemblies를 제공합니다. 이 반도체 제품군은 성능 최적화, 비용 절감, 품질 향상, 수율 증가를 지원하는 장비로 제시됩니다. 비접촉식 계측 시스템은 다양한 정밀 표면의 형상과 거칠기를 나노스케일로 측정하고 광학 부품과 광학 시스템의 투과 파면도 측정합니다. Nano-position sensors는 폐루프 모션 제어 시스템에서 널리 사용되며 주로 리소그래피 및 검사 장비의 스테이지 제어와 변형 광학 시스템에 적용됩니다. 광학 부품 사업은 난도가 높은 프로젝트를 포함해 고정밀 광학 부품을 제작합니다. 광학 설계, 조립 및 통합 팀은 미션 크리티컬 응용을 위한 복잡한 전기광학 어셈블리를 개발하고 생산합니다. 이러한 계측 시스템, 위치 센서, 광학 부품과 어셈블리는 정밀 측정 및 모션 제어를 반도체 리소그래피, 검사, 광학 특성 분석, 생산 장비 환경과 연결합니다. ZYGO는 반도체 분야를 Moore’s Law에 따라 50년 넘게 더 빠르고 더 작고 더 경제적인 소자를 개발해 온 산업 흐름 속에 놓고 설명합니다. 이 환경에서 고정밀 광학 특성 분석, 정밀 스테이지 제어, 광학 부품, 광학 어셈블리는 서로 분리된 제품이 아니라 상호 보완적인 역량으로 제공됩니다. 회사는 반도체 고객이 연구와 생산의 현재 및 미래 과제를 해결하면서 성능, 품질, 비용, 수율을 개선하도록 지원하는 것을 목표로 합니다. 정밀 광학의 사명은 계측과 광학을 수직 통합된 개발·제조 체계에서 연결하여 위치 감지, 표면 측정, 파면 측정, 정밀 부품, 전기광학 조립을 관련 기술 그룹에서 함께 공급할 수 있게 합니다.
역량 및 제품
- 3D 광학 프로파일러 시스템
- 레이저 간섭계 시스템
- 절대 위치 센서
- 변위 위치 센서
- 비접촉 나노스케일 표면 측정
- 고정밀 광학 부품 및 어셈블리