基本情報
| ブース | R7200 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.zygo.com/industries/semiconductor |
会社概要
ZYGO Corporationは、先進的な光学計測システムと超精密光学部品・アセンブリの設計・製造における世界的リーダーです。使命は精密光学・計測ソリューションを通じて顧客の成功を支えることで、主要製品には3D Optical Profiler Systems、Laser Interferometer Systems、Absolute Position Sensors、Displacement Position Sensors、Optical Components、Optical Assembliesがあります。精密計測と光学に関する高度な知識を持つ大規模な専門家チームを擁し、精密さ、品質、顧客関係における誠実さ、仕事への誇りを中核価値として掲げています。創業以来およそ750件の特許を取得しており、垂直統合企業として各チームが同じ組織内で協力しています。1970年創業で、本社はコネチカット州Middlefieldにあり、約500人の専門人材がグローバルな活動を支えています。2014年にAMETEK, Inc.のUltra Precision Technologies部門の一員となり、AMETEKの姉妹会社と技術協力・リソース共有を行いながら精密計測と光学ニーズに対応しています、製品群のAbsolute Position SensorsとDisplacement Position Sensorsはいずれも精密位置計測・制御に関わるセンサーとして位置付けられています。
展示製品
半導体の研究・生産向けに、ZYGOは高精度光学特性評価用のmetrology systems、精密ステージ制御用OEM position sensors、optical components、optical assembliesを提供します。これらは性能最適化、コスト低減、品質向上、歩留まり向上を支援する製品として位置付けられています。非接触計測システムは幅広い精密表面の形状と粗さをナノスケールで測定し、光学部品・光学システムの透過波面も測定します。Nano-position sensorsは閉ループモーション制御で広く使われ、主にリソグラフィ装置や検査装置のステージ制御、さらに可変形光学システムに利用されます。光学部品事業では高精度光学部品を製作し、難易度の高いプロジェクトにも対応します。光学設計・組立・統合チームはミッションクリティカル用途向けの複雑な電気光学アセンブリを開発・生産します。これらの計測、位置制御、光学部品・アセンブリは、半導体リソグラフィ、検査、光学特性評価、生産装置環境を結び付けます。ZYGOは半導体分野を、Moore’s Lawに沿って50年以上にわたり、より高速で小型かつ手頃なデバイスを追求してきた産業の流れの中に位置付けています。この環境では、高精度光学特性評価、精密ステージ制御、光学部品、光学アセンブリを孤立した製品ではなく相互補完的な能力として提供します。半導体顧客が研究・生産における現在と将来の課題に対応し、性能、品質、コスト、歩留まりを改善できるよう支援するとしています。精密光学の使命は計測と光学を垂直統合された開発・製造で結び、位置センシング、表面計測、波面計測、精密部品、電気光学組立を関連技術グループから供給できる体制を形成します。
対応領域・製品
- 3D光学プロファイラシステム
- レーザー干渉計システム
- 絶対位置センサー
- 変位位置センサー
- 非接触ナノスケール表面計測
- 高精度光学部品・アセンブリ