基本資料
| 攤位 | R7200 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.zygo.com/industries/semiconductor |
公司簡介
ZYGO Corporation 是先進光學量測系統與超精密光學元件及組件設計與製造領域的全球領導廠商。其使命是透過精密光學與量測解決方案協助客戶成功，核心產品類別包括 3D Optical Profiler Systems、Laser Interferometer Systems、Absolute Position Sensors、Displacement Position Sensors、Optical Components 與 Optical Assemblies。ZYGO 擁有一支規模龐大且具高度專業知識的精密量測與光學專家團隊，公司並將自身能力與精密、品質、客戶關係誠信及對工作成果的自豪等核心價值連結。自公司成立以來已獲得約 750 項專利，ZYGO 並描述自己為垂直整合企業，各團隊在同一體系內協作。ZYGO 成立於 1970 年，總部位於美國康乃狄克州 Middlefield，全球業務由約 500 名投入且具高度技能的人員支援。2014 年，ZYGO 成為 AMETEK, Inc. 的 Ultra Precision Technologies 事業部一員，並與 AMETEK 姊妹公司在技術與資源共享方面合作，同時持續服務精密量測與光學需求。
展出產品
針對半導體研究與生產，ZYGO 提供高精密光學特性量測用 metrology systems、精密平台控制用 OEM position sensors，以及 optical components 與 optical assemblies。半導體產品組合被定位為支援效能最佳化、降低成本、提升品質與提高良率，以回應研究與生產中的挑戰。ZYGO 的非接觸式量測系統可對廣泛精密表面進行奈米尺度的形貌與粗糙度量測，並量測光學元件與光學系統的透射波前。Nano-position sensors 廣泛用於閉迴路運動控制系統，主要對應微影與檢測設備的平台控制，也用於可變形光學系統。光學元件業務製造高精密光學元件，可承接高難度專案。ZYGO 的光學設計、組裝與整合團隊則開發並生產用於任務關鍵應用的複雜光電組件。這些量測系統、位置感測器、光學元件與光學組件共同把精密量測與運動控制連結至半導體微影、檢測、光學特性量測及生產設備環境。ZYGO 將半導體應用置於一個超過 50 年持續依循 Moore’s Law 推動更快、更小且更可負擔元件的產業脈絡中。在此環境下，高精密光學特性量測、精密平台控制、光學元件與光學組件被視為彼此互補的能力，而非互不相關的單一產品。公司表示，其專業能力用以協助半導體客戶處理研究與生產中的現在及未來挑戰，同時改善效能、品質、成本與良率。其精密光學使命把量測與光學整合在垂直整合的開發與製造架構中，使位置感測、表面量測、波前量測、精密元件與光電組裝可由相關技術群共同供應。
能力與產品項目
- 3D光學輪廓量測系統
- 雷射干涉儀系統
- 絕對位置感測器
- 位移位置感測器
- 非接觸奈米級表面量測
- 高精密光學元件與組件