기본 정보
| 부스 | T9404 |
| 국가 | SE |
| 웹사이트 | www.alixlabs.com |
회사 소개
AlixLabs는 스웨덴의 반도체 장비 기업으로, 원자층 식각 기반 패터닝 기술인 Atomic Pitch Splitting (APS™)을 개발하고 있습니다. 이 기술은 패터닝 복잡성을 줄이고 첨단 로직 및 메모리 제조의 지속적인 미세화를 지원하는 것을 목표로 합니다.
전시 제품
SEMICON Taiwan 2026에서 AlixLabs는 건식 식각 공정을 통해 피치 스플리팅을 구현하여 공정 복잡성을 줄이는 APS™를 선보입니다. 참가업체 페이지에는 고객 협업, 공정 통합 및 산업 적용을 위한 최초의 상용 APS™ 시스템인 Sax Forma도 강조되어 있습니다.
역량 및 제품
- APS™ 원자층 에칭 패터닝 기술
- 건식 식각 pitch splitting
- 상용 APS™ 시스템