基本資料
| 攤位 | T9404 |
| 國別 | SE |
| 網站 | www.alixlabs.com |
公司簡介
AlixLabs 是一家瑞典半導體設備公司,率先開發 Atomic Pitch Splitting(APS™)這項以原子層蝕刻為基礎的圖案化技術,旨在簡化先進晶片製造。AlixLabs 位於瑞典 Lund,開發的蝕刻解決方案協助晶片製造商降低圖案化複雜度、改善關鍵尺寸(CD)控制,並支援先進邏輯與記憶體元件持續微縮。APS™ 藉由分割既有線路圖案的間距(pitch)來補足現行微影與蝕刻流程,減少對複雜多重圖案化的依賴。AlixLabs 已在具產業代表性的矽材上驗證 APS™,包括 300 mm UMC 晶圓與 Intel FinFET 測試矽片,並推出首款商用 APS™ 系統 Sax Forma,以支援客戶合作、製程整合與產業化導入。AlixLabs 是 IC Taiwan Grand Challenge 智慧製造類別的優勝者,正積極與台灣半導體生態系接軌,以實現更具成本效益的微縮。
展出產品
提供 Atomic Pitch Splitting（APS™）原子層蝕刻圖形化技術與蝕刻解決方案，用於降低先進晶片圖形化複雜度並改善臨界尺寸控制；產品包括商用 APS™ 系統 Sax Forma。
能力與產品項目
- 原子級間距分裂 APS 技術
- 降低多重圖案化複雜度
- 300 mm UMC 晶圓與 Intel FinFET 驗證
- Sax Forma 商用 APS 系統
- IC 台灣大挑戰智慧製造獎
- 瑞典半導體設備公司