基本情報
| ブース | T9404 |
| 国 | SE |
| ウェブサイト | www.alixlabs.com |
会社概要
AlixLabs は、先進的なチップ製造を簡素化するために設計された原子層エッチングベースのパターニング技術「Atomic Pitch Splitting(APS™)」を先駆けて開発するスウェーデンの半導体装置企業です。スウェーデンの Lund を拠点とする AlixLabs は、チップメーカーがパターニングの複雑さを低減し、クリティカルディメンション(CD)制御を改善し、先端ロジックおよびメモリデバイスの継続的なスケーリングを支援するエッチングソリューションを開発しています。APS™ は既存のラインパターンのピッチを分割することで、既存のリソグラフィおよびエッチング工程を補完し、複雑なマルチパターニングへの依存を低減します。AlixLabs は 300 mm の UMC ウェハや Intel の FinFET テストシリコンなど、業界に即したシリコン上で APS™ を実証し、顧客との協業、プロセス統合、産業展開を支援する初の商用 APS™ システム「Sax Forma」を発表しました。IC Taiwan Grand Challenge のスマートマニュファクチャリング部門で優勝した AlixLabs は、よりコスト効率の高いスケーリングを実現するため、台湾の半導体エコシステムとの連携を進めています。
展示製品
Atomic Pitch Splitting（APS™）という原子層エッチングベースのパターニング技術とエッチングソリューションを提供し、先端チップ製造のパターニング複雑性低減とCD制御改善を支援します。商用APS™システムとしてSax Formaを提供します。
対応領域・製品
- 原子ピッチスプリッティング(APS)技術
- パターニングの複雑さとマルチパターニング依存の低減
- 300mm UMCウエハとIntel FinFETテストシリコンで実証
- 初の商用APSシステム「Sax Forma」
- IC Taiwan Grand Challengeスマート製造部門の受賞者
- スウェーデンの半導体装置企業