기본 정보
| 부스 | P5200 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.atschiller.com |
회사 소개
ATS는 세계적인 열교환기 및 칠러 제조업체의 선도 기업입니다. 당사는 -70degC~200degC의 운전 범위를 갖는 HEX와 칠러를 제조합니다. 당사 제품은 주로 AMT, Lam, Mattson, Hitachi, KE 등의 주요 Etcher 시스템에 특화되어 적용됩니다. 당사 시스템은 웨이퍼 제조 공정에 +/-1 degC의 안정적인 온도 제어를 제공합니다. 당사는 업계의 모든 칠러에 대한 서비스 및 수리를 선도하고 있습니다. 또한 반도체용 열전달 유체인 Galden 판매를 전문으로 합니다.
전시 제품
ATS는 항공기 갤리 칠러를 포함해 항공 산업용 다양한 제품을 생산하는 Collins Aerospace의 일부이며, 이는 Advanced Thermal Sciences에 탄탄한 기반을 제공합니다. ATS는 선도 제조업체에 수천 대의 장비를 설치한 반도체 산업의 주요 공급업체입니다. ATS는 일련의 인수와 합병을 통해 여러 해에 걸쳐 성장해 왔습니다. 최첨단 기술, 신뢰성, 제품 포트폴리오를 바탕으로 온도 제어 시스템을 위한 단일 공급원이 되며, 수십억 달러 규모 기업의 지원을 통해 미래 공정에 필요한 첨단 기술을 오늘 제공하고 있습니다. 당사는 첨단 혁신 기술을 적용한 온도 제어 제품을 제공하고 고객 만족을 위한 세계적 수준의 서비스를 제공하는 데 전념합니다. 당사는 최첨단 온도 제어 기술을 통해 고객, 임직원, 공급업체 및 주주를 포함한 이해관계자의 번영에 기여하는 선도적인 글로벌 기업이 되고자 합니다.
역량 및 제품
- -70°C～200°C HEX 및 냉각기
- 웨이퍼 공정 ±1°C 안정 온도 제어
- 식각기용 냉각 시스템
- 칠러 서비스·수리
- Galden 반도체 열전달 유체 판매