기본 정보
| 부스 | P5200 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.atschiller.com |
회사 소개
Advanced Thermal Sciences Taiwan Corp.(ATS)는 온도 제어 산업에서 25년 이상의 경험을 보유하고 있으며 높은 신뢰성, 소형화, 효율성을 갖춘 온도 제어 시스템을 공급합니다. ATS는 Collins Aerospace의 일부이며, Collins Aerospace의 항공 산업 제품에는 항공기 갤리용 chiller가 포함되고 회사는 이 관계를 온도 제어 사업의 기반으로 설명합니다. 본사는 미국 캘리포니아 Anaheim에 있으며 온도 제어 시스템은 전 세계 주요 제조 시설에 설치되어 있습니다. ATS는 주요 반도체 제조사에 수천 대의 장비가 설치되어 있고 여러 차례의 인수와 합병을 통해 성장해 왔다고 설명합니다. 회사는 -70degC에서 200degC까지 운전하는 HEX 시스템과 chillers를 제조하며 웨이퍼 제조 공정에 +/-1 degC의 안정적인 온도 제어를 제공합니다. 시스템은 AMT, Lam, Mattson, Hitachi, KE 등의 etcher 플랫폼에 사용되며 업계의 다양한 chiller에 대한 서비스와 수리도 전문으로 합니다. ATS는 반도체 응용을 위한 Galden 열전달 유체 판매도 전문으로 합니다. 회사의 사명은 첨단 기술을 적용한 온도 제어 제품과 고객 서비스를 제공하는 것이며, 고객 지향, 혁신 촉진, 성과, 다양성과 팀워크, 즐겁고 도전적인 업무 환경, 윤리적이고 인간적인 글로벌 실천, 환경 고려를 핵심 가치로 제시합니다. ATS는 온도 제어 시스템을 한 곳에서 제공하는 공급원으로 기술, 신뢰성, 제품군, 서비스를 하나의 온도 관리 포트폴리오에 통합합니다。
전시 제품
ATS는 CO2 chillers, -60C 이하용 저온 및 극저온 chillers, 단일 채널 chillers와 열교환기, 다중 채널 chillers와 열교환기를 제공합니다. 제품군에는 CO2 Chiller GX Series, TCX Series, MC/MCR Series, ESH/NX Series 열교환기, ENT Series, ESL Series, M-Pak Series가 포함됩니다. GX Series는 냉매로 CO2를 사용하고 GWP="1"이며 Freon 냉매를 사용하지 않는 점을 특징으로 하고, 유럽에서 설명된 Freon 보충 비용, 누설 검사 절차, Freon 가스 지방세 관련 부담을 피할 수 있다고 제시합니다. 에너지 성능은 -10C idling 조건에서 MX-20보다 20% 개선된 것으로 제시되며 냉각 시스템은 20L/min, +20C 미만으로 명시되어 있습니다. GX Series는 최대 2 channels를 지원하고 냉각 능력은 2.0kW@-10℃에서 최대 10kW@-10℃입니다. 히터 정격은 0KW이며 펌프 용량은 20Lpm @ 58psi에서 최대 30Lpm @ 87psi입니다. 또한 작은 설치 면적, 최소 공정 유체, 부하 상태의 L에서 M 온도 구간에서 전력 소비 절감, 최소 냉각수 요구량을 강조합니다. 전체 포트폴리오는 반도체 제조 시설과 웨이퍼 공정 온도 제어를 대상으로 냉각, 가열, 열교환 및 관련 서비스 지원을 제공합니다. GX Series는 Green Mode, 최소 공정 유체 설계, 최소 냉각수 요구량을 포함하며 부하 상태의 L에서 M 온도 구간에서 전력 소비를 줄이는 기능도 제시합니다。GX Series 성능 데이터는 60Hz 조건으로 제시되며 50Hz 성능 정보가 필요한 경우 별도 문의하도록 안내합니다。
역량 및 제품
- -70degC~200degC HEX 및 칠러 제조
- 웨이퍼 공정 +/-1 degC 온도 제어 시스템
- 칠러 수리 서비스
- 반도체용 Galden 열전달 유체 판매
- CO2 칠러
- 저온·극저온 칠러
- 단일 채널 칠러 및 열교환기
- 다채널 칠러 및 열교환기