基本資料
| 攤位 | P5200 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.atschiller.com |
公司簡介
Advanced Thermal Sciences Taiwan Corp.（ATS）在溫度控制產業累積超過25年的經驗，供應高可靠度、精巧且高效率的溫度控制系統。ATS隸屬Collins Aerospace，而Collins Aerospace的航空產品包括飛機廚房用冷卻機，公司將這項關係視為其溫度控制事業的基礎。ATS總部位於美國加州Anaheim，其溫度控制系統則安裝於全球各地的主要製造設施。ATS表示，已有數千套設備安裝在主要半導體製造商，並透過一系列收購與合併持續發展。公司製造 operating range 從-70degC到200degC的HEX系統與chillers，並為晶圓製造製程提供+/-1 degC的穩定溫度控制。其系統用於AMT、Lam、Mattson、Hitachi與KE等蝕刻設備平台，公司也專精於產業內各類chiller的服務與維修。ATS另專門銷售半導體應用使用的Galden熱傳導流體。公司的使命是以先進技術提供溫度控制產品並搭配客戶服務，其核心價值包括以客戶為導向、推動創新、重視成果、多元與團隊合作、打造愉快且具挑戰性的工作環境、遵循倫理與人本的全球實務，以及考量環境議題。ATS將自身定位為溫度控制系統的一站式供應來源，把技術、可靠度、產品組合與服務整合在同一套溫度管理產品體系中。
展出產品
ATS提供CO2 chillers、用於-60C及更低溫度的低溫與深冷chillers、單通道chillers與熱交換器，以及多通道chillers與熱交換器。具名產品系列包括CO2 Chiller GX Series、TCX Series、MC/MCR Series、ESH/NX Series熱交換器、ENT Series、ESL Series與M-Pak Series。GX Series使用CO2作為冷媒，GWP="1"，並以不使用Freon冷媒為特點，同時列出在歐洲可避免Freon補充成本、洩漏檢查程序與Freon氣體地方稅相關問題。GX Series的能源表現標示為在-10C idling時比MX-20改善20%，冷卻系統能力則標示為20L/min、低於+20C。GX Series最多支援2個channels，冷卻能力從2.0kW@-10℃到最高10kW@-10℃。加熱器規格列為0KW，泵浦能力則從20Lpm @ 58psi到最高30Lpm @ 87psi。GX Series也強調小型占地、最低製程流體用量、在負載下L至M溫度區間降低耗電，以及較低的冷卻水需求。整體產品組合面向半導體製造設施與晶圓製程溫度控制需求，提供冷卻、加熱、熱交換及相關服務支援。GX Series變體包含Green Mode、最低製程流體設計與最低冷卻水需求，產品頁也列出在負載下L至M溫度區間降低耗電。GX Series所列性能資料以60Hz為條件，若需要50Hz性能資訊，ATS要求另行洽詢。
能力與產品項目
- -70degC~200degC HEX 與冷水機製造
- 晶圓製程 +/-1 degC 溫控系統
- 冷水機維修服務
- 半導體 Galden 熱傳流體銷售
- CO2 冷水機
- 低溫／深冷冷水機
- 單通道冷水機與熱交換器
- 多通道冷水機與熱交換器