基本資料
| 攤位 | P5200 |
| 國別 | TW |
| 產品分類 | Temperature Sensing; Control; Recirculators; Chillers; Heat Exchangers |
| 網站 | www.atschiller.com |
公司簡介
ATS 是全球熱交換冷卻機（chiller）製造領域的領導者。我們生產的 HEX 與冷卻機,運作範圍從 -70°C 至 200°C。我們產品的主要應用專精於主要的蝕刻機系統 AMT、Lam、Mattson、Hitachi 與 KE 等。我們的系統為晶圓製造製程提供 +/-1°C 的穩定溫度控制。我們在業界所有冷卻機的服務與維修方面居於領先地位。我們專精於銷售 Galden——一種用於半導體的傳熱流體。
展出產品
ATS 是 Collins Aerospace 的一部分，該公司為航空業生產多種產品，包括飛機廚房冷卻器，這為 Advanced Thermal Sciences 奠定了堅實的基礎。 ATS 是半導體產業的首選供應商，在各大領先製造商處安裝了數千台設備。 透過一系列的收購與合併，ATS 多年來不斷成長。我們最先進的技術、可靠性以及產品系列，使我們成為您溫度控制系統的單一來源；在數十億美元企業的支援下，明日製程所需的先進技術如今已觸手可及。 我們致力於提供具備先進與創新技術的溫度控制產品，並提供世界一流的服務，以確保客戶滿意。 憑藉我們尖端的溫度控制技術，成為一家貢獻於包括客戶、員工、供應商及股東在內之利害關係人繁榮的全球領先企業。
能力與產品項目
- -70°C 至 200°C chiller 操作範圍
- HEX 熱交換器與 chiller
- 半導體 chiller 服務與維修
- 半導體用 Galden 熱傳導流體
- 晶圓製造用蝕刻機 chiller
- 晶圓製造製程 ±1°C 穩定溫度控制