基本情報
| ブース | P5200 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.atschiller.com |
会社概要
Advanced Thermal Sciences Taiwan Corp.（ATS）は温度制御業界で25年以上の経験を持ち、高信頼性、小型、高効率の温度制御システムを供給しています。ATSはCollins Aerospaceの一員であり、Collins Aerospaceの航空関連製品には航空機ギャレー用チラーが含まれ、同社はこの関係を温度制御事業の基盤として位置付けています。本社は米国カリフォルニア州Anaheimにあり、温度制御システムは世界各地の主要製造施設に導入されています。ATSは、主要な半導体メーカーに数千台の装置が設置されており、複数の買収と合併を通じて成長してきたとしています。同社は-70degCから200degCの動作範囲を持つHEXシステムとchillersを製造し、ウェハ製造プロセスに+/-1 degCの安定した温度制御を提供します。システムはAMT、Lam、Mattson、Hitachi、KEなどのエッチャープラットフォームで使用され、業界の各種chillerのサービスと修理にも対応しています。また、半導体用途向けのGalden熱伝達流体の販売も専門としています。温度制御製品を先進技術とサービスで提供することを使命とし、顧客志向、イノベーション、成果、多様性とチームワーク、働きがいのある職場、倫理的で人間的なグローバル実務、環境への配慮を価値として掲げています。ATSは温度制御システムのワンソース供給を掲げ、技術、信頼性、製品群、サービスを一つの温度管理ポートフォリオに統合しています。
展示製品
ATSはCO2 chillers、-60C以下に対応する低温・極低温chillers、単一チャネルのchillers／熱交換器、多チャネルのchillers／熱交換器を提供しています。製品ファミリーにはCO2 Chiller GX Series、TCX Series、MC/MCR Series、ESH/NX Series熱交換器、ENT Series、ESL Series、M-Pak Seriesがあります。GX Seriesは冷媒にCO2を使用し、GWP="1"で、Freon冷媒を使用しないことを特徴としており、欧州で記載されるFreon補充費用、漏えい検査手順、Freonガスの地方税に関する負担を避ける点も挙げています。エネルギー性能は-10C idling時にMX-20より20%改善とされ、冷却システムは20L/min、+20C未満と記載されています。GX Seriesは最大2チャネルに対応し、冷却能力は2.0kW@-10℃から最大10kW@-10℃です。ヒーターは0KW、ポンプ能力は20Lpm @ 58psiから最大30Lpm @ 87psiと記載されています。そのほか、小さな設置面積、最小限のプロセス流体、負荷時のLからM温度帯での消費電力低減、必要冷却水量の削減を特徴としています。広い製品群を通じ、ATSは半導体製造設備とウェハプロセスの温度制御に向け、冷却、加熱、熱交換、サービス支援を提供します。GX SeriesにはGreen Mode、最小プロセス流体設計、最小冷却水要件があり、負荷時のLからM温度帯で消費電力を低減する点も記載されています。GX Seriesの性能データは60Hz条件で示され、50Hzの性能情報が必要な場合は別途確認するよう案内しています。
対応領域・製品
- -70degC～200degC対応HEX・チラー製造
- ウェハプロセス+/-1 degC温度制御システム
- チラー修理サービス
- 半導体用Galden熱伝達流体販売
- CO2チラー
- 低温／極低温チラー
- 単一チャネルチラー・熱交換器
- 多チャネルチラー・熱交換器