基本情報
| ブース | P5200 |
| 国 | TW |
| 製品カテゴリ | Temperature Sensing; Control; Recirculators; Chillers; Heat Exchangers |
| ウェブサイト | www.atschiller.com |
会社概要
ATS は世界における熱交換チラーメーカーのリーダーです。当社は -70°C～200°C の動作範囲を持つ HEX とチラーを製造しています。当社製品の主な用途は、主要なエッチャーシステムである AMT、Lam、Mattson、Hitachi、KE などに特化しています。当社のシステムはウェハー製造プロセス向けに +/-1°C の安定した温度制御を提供します。当社は業界のあらゆるチラーのサービスおよび修理においてリードしています。当社は半導体向け伝熱流体である Galden の販売を専門としています。
展示製品
ATSはCollins Aerospaceの一部であり、航空機用ギャレーチラーをはじめとする航空業界向けの製品を多数製造しており、これがAdvanced Thermal Sciencesの強固な基盤となっています。 ATSは半導体業界における選ばれるサプライヤーであり、主要メーカーにおいて数千台の導入実績を誇ります。 ATSは、数々の買収や合併を経て成長を遂げてきました。当社の最先端技術、信頼性、そして製品ラインナップは、温度制御システムにおけるワンストップ・ソースとしての地位を確立しており、数十億ドル規模の企業のバックアップにより、将来のプロセスに求められる高度な技術要件を今日実現しています。 私たちは、先進的かつ革新的な技術を備えた温度制御製品を提供するとともに、お客様の満足のためにワールドクラスのサービスを提供することに尽力しています。 当社の最先端の温度制御技術をもって、お客様、従業員、サプライヤー、株主を含むすべてのステークホルダーの繁栄に貢献する、世界をリードする企業を目指します。
対応領域・製品
- -70°C から 200°C の chiller 動作範囲
- HEX 熱交換器および chiller
- ウェハ製造プロセス向け ±1°C 安定温度制御
- ウェハ製造向けエッチャーシステム用 chiller
- 半導体 chiller のサービスおよび修理
- 半導体向け Galden 熱媒体