기본 정보
| 부스 | J3246 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.advancedenergy.com |
회사 소개
Advanced Energy Taiwan, Ltd.는 미션 크리티컬 응용 분야와 공정을 위한 고도로 엔지니어링된 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션을 설계하고 제조하며, 전 세계 고객을 위해 전력 기술을 발전시켜 온 수십 년의 경험을 기반으로 합니다. 반도체 제조 분야에서 Advanced Energy는 plasma power delivery, temperature measurement, temperature control 및 wafer control technologies를 선도하며 핵심 etching, deposition, chamber cleaning, inspection, implantation 및 annealing을 지원하고, strategic partnerships, continuous innovation 및 rapid design을 통해 특정 공정 요구 사항에 맞는 솔루션을 제공합니다. 반도체 응용 분야에는 burn-in testing, deposition, etch, electron-beam inspection, implant, RF-generator calibration, semiconductor test 및 strip이 포함되며, 전 세계 반도체 시장에 power-conversion solutions를 공급합니다. Advanced Energy는 정밀 전력 제어가 반복 가능한 plasma behavior, 안정적인 thermal profiles, real-time diagnostics, yield improvement, variability 및 downtime 감소, 더 빠른 process development, recipe validation 및 첨단 반도체 공정의 확장을 지원한다고 설명합니다. 전력 솔루션은 ride-through capability와 low total harmonic distortion를 통해 SEMI F47 voltage-sag requirements를 충족하도록 설계되며, 많은 제품이 기존 반도체 플랫폼에 통합할 수 있도록 modularity와 configurability를 고려하지만 일부 차세대 기술은 특정 platform capabilities 또는 retrofits가 필요할 수 있습니다. Advanced Energy는 qualified engineers를 통한 24/5 support도 제공하며 global customer service와 technical support를 반도체 제공 범위의 일부로 설명합니다. Advanced Energy는 wafer fab 과제로 aging equipment, unpredictable power fluctuations, 변화하는 power-density 및 thermal-management requirements, continuous-uptime needs와 tight process tolerances를 제시하고 intelligent power systems가 dynamic loads에 적응하고 predictive insight를 제공해 stability를 유지하고 downtime을 줄인다고 설명합니다.
전시 제품
Advanced Energy의 반도체 포트폴리오는 RF, DC 및 pulsed-DC products, impedance-matching networks, remote-plasma sources, data-collection, visualization and analysis platform을 포함하며 etch applications용 synchronized source-and-bias control과 multi-level pulsing을 제공합니다. 주요 plasma 및 RF 제품에는 chamber cleaning용 MAXstream Remote Plasma Source, eVerest RF Generator, multi-level pulsing과 pulse-waveform control을 갖춘 Paramount Plus RF Generator, rapid digitally tuned 또는 RF-synchronized matching을 제공하는 Navigator II 및 NavX RF Match Networks, Ascent AP, AMS 및 DMS pulsed and DC power systems, 20 kW 이하 공정용 Pinnacle III DC Power Supply, ion-energy 및 wafer-surface-voltage control용 eVoS LE 및 eVoS ME bias solutions가 포함됩니다. Electrostatic chuck 및 high-voltage 제품에는 0에서 ±2 kV 출력의 Trek 645 Series, ±1 kV at 20 mA의 Trek 645-HT Series, 0에서 ±3 kV의 Trek 646 Series, 40 W Trek 2200 Series piezo drivers and high-voltage amplifiers, 0에서 ±2 kV DC or peak AC의 Trek 623B Series, 0에서 ±5 kV DC or peak AC의 Trek 5/80-HS Series, 0에서 ±30 kV DC or peak AC의 Trek 30/20A Series가 포함됩니다. 측정 및 ESD 제품에는 Trek 158A charged-plate monitors, Trek 370 precision non-contact electrostatic voltmeters, Trek 520 hand-held electrostatic voltmeters, selectable emissivity를 지원하는 Sekidenko 401M single-channel non-contact temperature measurement, Luxtron M-1200 및 M-1100 fiber-optic temperature converters, Sekidenko 4100T multi-channel optical-fiber pyrometers, -40에서 1600°C 측정용 Mikron MCL640 infrared cameras, high-power 및 high-accuracy RF measurement용 5540A Series RF Power Meters가 포함됩니다. 전원 공급 장치 및 컨트롤러 제품에는 최대 4000 W NP08, 12에서 15 kW iHP12/15 Air Cooled, 최대 1800 W fanless CoolX1800, 400에서 600 W uMP04 Gen II, AA Series UltraVolt miniature PCB-mount regulated DC-DC converters, Thyro-XD SCR Power Controller, Thyro-PX DC Power Controller가 포함되며 etch portfolio에는 최대 2400 W NP05 configurable AC-DC power supplies도 포함됩니다. HDP/CVD tools를 사용하는 200 mm semiconductor fabs용으로 Opti RF Power Rack은 power delivery에 최적화되어 있으며 Omni RF Diagnostic Cart는 power delivery와 정밀 RF-generator calibration을 최적화하는 종합 시스템입니다. Advanced Energy의 configurable power supplies는 electrostatic chucks, wafer handling, IC testing and burn-in용 다중 DC outputs를 제공할 수 있으며 최대 8개의 독립 출력, 0.6에서 1000V, 2000에서 30kW 이상 power ratings, configuration 및 dashboards용 software GUI, 선택 사양 Digital Ethernet UDP, RS485, CANBus 또는 Ethernet TC/IP communications를 지원합니다. Artesyn configurable power supplies는 nominal 600 VAC까지 single- and 3-phase inputs를 지원하고 IEC/EN/UL 62368-1 safety approvals와 SEMI F47 compliance를 갖추며 최대 94% efficiency와 최대 18 W/in3 power density, low THD, ripple 및 leakage performance를 제공합니다. iHP liquid-cooled platform은 4U rack당 최대 20 kW를 제공하고 NeoPower는 SEMI F47 compliance를 포함한 industrial 및 medical safety approvals를 갖추며 control, monitoring 및 configuration용 MODBUS RTU를 지원하고 configurable bus-bar system으로 modules를 series 및 parallel connection하여 thousands of output combinations를 구성할 수 있습니다. Deposition, etch, electron-beam inspection, implant 및 관련 응용 분야에서 이 포트폴리오는 반도체 장비의 정밀 plasma 및 thermal control, stable power delivery, accurate defect identification, ion-energy control, repeatability 및 throughput을 지원합니다. 추가 sensing and control 세부 사항에는 semiconductor etch 및 deposition용으로 -200에서 450C를 측정하는 Luxtron M-1100 fiber-optic temperature sensing, configurable wavelength range의 Sekidenko 4100T, air-ionization performance 평가용 Trek 158A, highly accurate 및 reliable SCR power controller인 Thyro-XD, DC-rectifier applications용 Thyro-PX가 포함됩니다. process performance 측면에서 Advanced Energy는 electron-beam inspection products가 memory 및 logic devices의 accurate defect identification을 위해 stable power를 제공하고, implant products가 ion-energy control을 위해 efficiency와 power density를 최적화하며, precision plasma power가 high-repeatability etch와 defect-free wafer stripping을 지원한다고 설명합니다. NeoPower는 synchronized high-voltage outputs로 multi-zone wafer-chuck heating을 간소화하고 multiple supplies를 대체해 precise 및 flexible ESC performance를 제공하며 configurable architecture는 fast prototypes를 지원하고 custom 또는 multiple standard power units의 필요성을 줄일 수 있다고 설명됩니다. advanced RF control에서 NavX는 multi-level pulse states에 걸쳐 ultra-fast RF-synchronized impedance matching을 제공하고 eVerest와 함께 사용할 때 shorter RF-on times의 reflected power를 줄이도록 설계되었으며, Advanced Energy의 pyrometer materials는 thermal-process repeatability 향상을 위한 active ambient 및 emissivity compensation, contamination immunity와 robust designs를 설명합니다. pulsed and DC portfolio에서 Ascent AP는 single- and dual-magnetron sputtering control, Ascent AMS는 highly repeatable films용 stable power delivery, Ascent DMS는 dual-magnetron sputtering accessories에 적용되며 Luxtron M-1200은 accurate하고 compact한 fiber-optic temperature sensor로 설명되고 burn-in portfolio는 semiconductors, power supplies 및 other critical electronics를 지원합니다.
역량 및 제품
- 반도체 플라즈마 전력 공급
- RF, DC 및 펄스 DC 전원 제품
- RF 임피던스 매칭 네트워크
- 원격 플라즈마 소스
- 반도체 공정용 비접촉 온도 측정
- 반도체 온도 제어
- 웨이퍼 제어 기술
- 반도체 번인 테스트 전원
- 식각용 고정밀 플라즈마 전원
- 증착 공정용 전원 및 열 제어
- 정전척 고전압 전원 및 제어
- 비접촉 정전기 전압 측정
- 반도체 공정용 광섬유 온도 센싱
- 다채널 광섬유 파이로미터
- -40~1600°C 적외선 온도 측정
- 고출력 RF 전력 측정
- SCR 및 DC 전원 컨트롤러
- 다중 출력 구성형 전원공급기
- RF 발생기 교정 및 전원 진단