基本資料
| 攤位 | J3246 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.advancedenergy.com |
公司簡介
Advanced Energy Taiwan, Ltd. 設計並製造高工程規格的精密電力轉換、量測與控制解決方案，用於關鍵任務應用與製程，並以數十年服務全球客戶的電力技術經驗為基礎。針對半導體製造，Advanced Energy 在電漿電力輸送、溫度量測、溫度控制與晶圓控制技術方面居市場領先地位，涵蓋關鍵蝕刻、沉積、腔體清洗、檢測、離子植入與退火，並透過策略合作、持續創新與快速設計提供符合特定製程需求的方案。其半導體應用包括 burn-in 測試、沉積、蝕刻、電子束檢測、離子植入、RF generator 校準、半導體測試與 strip，並向全球半導體市場供應電力轉換解決方案。Advanced Energy 表示，精密電力控制可支援可重複的電漿行為、穩定熱輪廓、即時診斷、提升良率、降低變異與停機時間、加速製程開發、recipe 驗證，以及先進半導體製程的擴展。其電力解決方案透過 ride-through 能力與低總諧波失真設計，以符合 SEMI F47 電壓驟降要求，且許多產品採模組化與可配置設計，可整合至既有半導體平台，但部分次世代技術可能需要特定平台能力或改裝。Advanced Energy 另提供 24/5 支援與合格工程師服務，並將全球客戶服務與技術支援列為半導體方案的一部分。 Advanced Energy 將晶圓廠面臨的挑戰描述為設備老化、不可預測的電力波動、持續變化的功率密度與熱管理需求、持續運轉需求及嚴格製程公差，並表示其智慧電力系統可適應動態負載並提供預測性資訊，以維持穩定並降低停機時間。
展出產品
Advanced Energy 的半導體產品組合包括 RF、DC 與 pulsed-DC 產品、impedance-matching networks、remote-plasma sources，以及資料擷取、視覺化與分析平台，並為蝕刻應用提供 synchronized source-and-bias control 與 multi-level pulsing。主要電漿與 RF 產品包括用於 chamber cleaning 的 MAXstream Remote Plasma Source、eVerest RF Generator、具 multi-level pulsing 與 pulse-waveform control 的 Paramount Plus RF Generator、提供快速數位調諧或 RF synchronized matching 的 Navigator II 與 NavX RF Match Networks、Ascent AP、AMS 與 DMS pulsed and DC power systems、用於 20 kW 以下製程的 Pinnacle III DC Power Supply，以及用於 ion-energy 與 wafer-surface-voltage control 的 eVoS LE 與 eVoS ME bias solutions。Electrostatic chuck 與高電壓產品包括輸出 0 至 ±2 kV 的 Trek 645 Series、±1 kV at 20 mA 的 Trek 645-HT Series、0 至 ±3 kV 的 Trek 646 Series、40 W 的 Trek 2200 Series piezo drivers and high-voltage amplifiers、0 至 ±2 kV DC or peak AC 的 Trek 623B Series、0 至 ±5 kV DC or peak AC 的 Trek 5/80-HS Series，以及 0 至 ±30 kV DC or peak AC 的 Trek 30/20A Series。量測與 ESD 產品包括 Trek 158A charged-plate monitors、Trek 370 precision non-contact electrostatic voltmeters、Trek 520 hand-held electrostatic voltmeters、可選 emissivity 的 Sekidenko 401M single-channel non-contact temperature measurement、Luxtron M-1200 與 M-1100 fiber-optic temperature converters、Sekidenko 4100T multi-channel optical-fiber pyrometers、可量測 -40 至 1600°C 的 Mikron MCL640 infrared cameras，以及用於 high-power、high-accuracy RF measurement 的 5540A Series RF Power Meters。電源與控制器產品包括最高 4000 W 的 NP08、12 至 15 kW 的 iHP12/15 Air Cooled、最高 1800 W 的 CoolX1800 fanless、400 至 600 W 的 uMP04 Gen II、AA Series UltraVolt miniature PCB-mount regulated DC-DC converters、Thyro-XD SCR Power Controller 與 Thyro-PX DC Power Controller，而蝕刻產品組合另列有最高 2400 W 的 NP05 configurable AC-DC power supplies。針對使用 HDP/CVD tools 的 200 mm 半導體晶圓廠，Opti RF Power Rack 針對 power delivery 最佳化，而 Omni RF Diagnostic Cart 是用於最佳化 power delivery 與精密 RF generator calibration 的完整系統。Advanced Energy 的 configurable power supplies 可為 electrostatic chucks、wafer handling 及 IC testing and burn-in 提供多組 DC 輸出，最多 8 組獨立輸出、範圍 0.6 至 1000V、功率 2000 至 30kW 或更高，並提供用於配置與 dashboard 的 software GUI，以及可選 Digital Ethernet UDP、RS485、CANBus 或 Ethernet TC/IP 通訊。Artesyn configurable power supplies 支援單相與 3-phase input，額定最高 600 VAC，具 IEC/EN/UL 62368-1 safety approvals 並符合 SEMI F47，效率最高 94%、功率密度最高 18 W/in3，且具 low THD、ripple 與 leakage performance。iHP liquid-cooled platform 每個 4U rack 可提供最高 20 kW，NeoPower 具 industrial 與 medical safety approvals 並包含 SEMI F47 compliance，支援 MODBUS RTU 進行 control、monitoring 與 configuration，且模組可透過可配置 bus-bar system 串聯與並聯，以形成數千種輸出組合。從 deposition、etch、electron-beam inspection、implant 到相關應用，此產品組合用於半導體設備的精密 plasma 與 thermal control、穩定 power delivery、準確 defect identification、ion-energy control、repeatability 與 throughput。 其他 sensing and control 細節包括用於半導體 etch 與 deposition、量測範圍 -200 至 450C 的 Luxtron M-1100 fiber-optic temperature sensing、具 configurable wavelength range 的 Sekidenko 4100T、用於評估 air-ionization performance 的 Trek 158A、強調 high accuracy 與 reliability 的 Thyro-XD SCR Power Controller，以及用於 DC-rectifier applications 的 Thyro-PX。針對製程效能，Advanced Energy 表示 electron-beam inspection 產品可提供穩定電力，以在 memory 與 logic devices 中進行精準 defect identification；implant 產品可最佳化 efficiency 與 power density 以進行 ion-energy control；精密 plasma power 則支援高 repeatability 的 etch 與無潛在缺陷的 wafer stripping。NeoPower 也被描述為以 synchronized high-voltage outputs 簡化 multi-zone wafer-chuck heating，取代多個電源以提供精密且彈性的 ESC performance，其 configurable architecture 亦支援 fast prototypes，並可降低使用客製或多個標準電源單元的需求。在先進 RF control 方面，NavX 可在 multi-level pulse states 間提供 ultra-fast RF-synchronized impedance matching，與 eVerest 搭配時設計用於在較短 RF-on times 中降低 reflected power；Advanced Energy 的 pyrometer 資料另描述 active ambient 與 emissivity compensation、contamination immunity 與 robust designs，以提升 thermal-process repeatability。 在 pulsed and DC 產品中，Ascent AP 用於 single- and dual-magnetron sputtering control，Ascent AMS 用於為 highly repeatable films 提供 stable power delivery，Ascent DMS 為 dual-magnetron sputtering accessories；Luxtron M-1200 被描述為 accurate、compact 的 fiber-optic temperature sensor，而 burn-in 產品組合涵蓋 semiconductors、power supplies 與其他 critical electronics。
能力與產品項目
- 半導體電漿電源供應
- RF、DC 與脈衝 DC 電源產品
- RF 阻抗匹配網路
- 遠端電漿源
- 半導體非接觸溫度量測
- 半導體溫度控制
- 晶圓控制技術
- 半導體 Burn-in 測試電源
- 蝕刻用高精度電漿電源
- 沉積製程電源與熱控制
- 靜電吸盤高壓電源與控制
- 非接觸靜電電壓量測
- 光纖半導體溫度感測
- 多通道光纖高溫計
- -40 至 1600°C 紅外線溫度量測
- 高功率 RF 功率量測
- SCR 與 DC 電源控制器
- 多輸出可配置電源供應
- RF 產生器校正與電源診斷