기본 정보
| 부스 | I2822 |
| 국가 | IL |
| 웹사이트 | www.acsmotioncontrol.com |
회사 소개
ACS Motion Control은 1985년부터 정밀 모션 제어 분야에서 반도체 제조, 레이저 마이크로가공, 전자제품 제조용 첨단 장비를 지원해 왔습니다. 정밀 모션 성능과 높은 throughput, 개선된 공정 성능이 필요한 하이테크 OEM을 대상으로 합니다. 기술 기반은 servo control algorithms, 최적화 도구, software development libraries, EtherCAT-based motion-control platform을 결합합니다. ACS Motion Control은 장비 아키텍처에 통합되고 다양한 구성에 맞춰 적용되며 성능을 제공하는 모션 제어 플랫폼을 통해 OEM 엔지니어링 파트너 역할을 지향합니다. 본사는 이스라엘에 있고 미국, 독일, 중국에 자회사를 두며 글로벌 유통 및 파트너 네트워크를 통해 OEM을 지원합니다. SPiiPlus Platform은 motion controllers, servo drives, interfaces, I/O로 구성된 EtherCAT-based control platform으로 정밀 모션 시스템을 개발하는 OEM 엔지니어링 팀을 대상으로 합니다. 까다로운 정밀 모션 요구에 대응하는 성능, 다양한 공급업체의 stage와 motor를 제어하는 유연성, 장비 세대가 복잡해질 때의 확장성을 중심으로 설계됩니다. OEM 팀은 장비 구성별 맞춤 제어 솔루션을 만들 수 있고 독자 제어 알고리즘과 성능 최적화 도구로 motion stage performance를 높이며 application-development tools와 programming libraries로 기능을 개발합니다. IDM Series는 정밀 motion stage용 DS402 EtherCAT servo drives로 servo-control algorithms, 빠른 servo sampling/update rates, advanced power-electronics techniques를 결합하고 flexible real-time programming과 position-event generation을 제공합니다. 1, 2, 4 axes 모듈과 DC 또는 AC input, 최대 60A 전류 옵션이 있습니다. ECM Series는 cost-optimized architecture에 precision motion controller와 servo drive를 통합해 비용과 공간 제약이 있는 OEM 장비를 대상으로 합니다. advanced motion-profile generation, flexible real-time multithreaded programming, motion-optimization tools, motion-to-process event synchronization을 제공하며 1, 2, 4 axes 및 최대 60A 옵션이 있습니다. 전체 역량은 application-development software, servo algorithms, servo-drive techniques, motion-profile planning, motion-to-process synchronization을 포함하고 정밀 시스템 성능과 throughput 향상, 다양한 구성의 확장성, 개발 시간 단축을 지원합니다. 또한 Ace라는 24/7 다국어 웹 assistant를 제공해 manuals, application notes, real-world support tickets를 하나의 인터페이스에 결합합니다. SPiiPlus ecosystem은 고성능이면서 비용 효율적인 정밀 모션을 위한 세 가지 신규 솔루션으로 확장되고 있습니다.
전시 제품
반도체 장비 분야에서 ACS Motion Control은 sub-micron accuracy, nanometer-level standstill jitter, millisecond-level settling, sub-microsecond trigger synchronization 요구에 대응합니다. 기술 구성은 advanced servo 및 AI-based control algorithms, multi-axis EtherCAT-based control systems, motion-to-process synchronization, high-performance servo-drive electronics를 결합합니다. Inspection 응용에는 optical, X-ray, ultrasonic, e-beam이 있고 Metrology에는 critical dimension (CD), overlay, film-thickness measurement가 포함됩니다. Bonding 및 alignment 응용은 hybrid bonding, die bonding, LED bonding, silicon-photonics alignment를 포함하며 maskless lithography, beam delivery, nanoprobing, vapor deposition, ion implant, laser scribing and annealing도 제시됩니다. 지원하는 stage 유형은 linear motor stages, direct-drive rotary stages, XY stages, XYZT stages, XY gantry stages, dual gantry stages, air-bearing stages, Z voice-coil stages, Z-Tip-Tilt stages, precision servo 또는 stepper ballscrew stages입니다. NanoPWM은 servo-drive와 algorithm technology를 결합해 sub-nanometer precision을 지원합니다. Position Event Generation은 정확한 위치와 동기화된 high-speed on-the-fly event triggering을 제공합니다. Force Control은 on-the-fly contact detection을 포함하는 정밀 힘 제어이며 반도체 advanced-packaging의 고정밀·고 throughput 응용에도 제시됩니다. Autofocus는 dynamic autofocus algorithm으로 tracking error를 줄이고 ServoBoost는 motion-system performance를 개선하며 Dynamic Error Compensation은 mechanical-accuracy compensation으로 시스템 오차를 보정합니다. Smarter Gantry Control은 advanced MIMO, 즉 multi-input multi-output gantry-control algorithm을 적용합니다. SPiiPlus는 장비 구성별 제어 조정, motion-stage performance 최적화, application software 개발, motion과 process events의 동기화를 지원합니다. IDM high-performance servo drives는 precision stages용 최적화 도구를 제공하고 ECM Series는 비용과 공간을 고려한 controller/drive architecture를 제공합니다. programming libraries, servo-control techniques, motion-profile planning, motion-to-process synchronization을 포함한 application-development stack을 통해 반도체 장비 업체가 controller, drive, software functions를 하나의 모션 제어 플랫폼에서 결합할 수 있습니다.
역량 및 제품
- 고정밀 모션 제어
- EtherCAT 기반 모션 제어 플랫폼
- 다축 EtherCAT 제어 시스템
- 정밀 모션용 서보 드라이브
- 모션 컨트롤러 및 서보 드라이브 통합
- 모션-공정 동기화
- 정밀 위치 이벤트 생성
- 접촉 감지 정밀 힘 제어
- 동적 자동 초점 제어
- 동적 오차 보상
- MIMO 갠트리 모션 제어
- 서브나노미터 정밀 모션 제어