基本情報
| ブース | I2822 |
| 国 | IL |
| ウェブサイト | www.acsmotioncontrol.com |
会社概要
ACS Motion Control は1985年以来、精密モーション制御に取り組み、半導体製造、レーザーマイクロマシニング、エレクトロニクス製造の先端装置を支援しています。精密なモーション性能、高い throughput、工程性能の改善を求めるハイテク OEM を対象としています。技術基盤は servo control algorithms、最適化ツール、software development libraries、EtherCAT-based motion-control platform を組み合わせています。ACS Motion Control は、装置アーキテクチャに統合でき、異なる構成に適応し、性能を発揮するモーション制御プラットフォームを提供する OEM エンジニアリングのパートナーとして位置付けています。本社はイスラエルにあり、米国、ドイツ、中国に子会社を持ち、世界の販売代理店・パートナーネットワークを通じて OEM を支援します。SPiiPlus Platform は motion controllers、servo drives、interfaces、I/O で構成される EtherCAT-based control platform で、精密モーションシステムを開発する OEM エンジニア向けです。難しい精密モーション要件に対応する性能、複数サプライヤーの stage と motor を制御する柔軟性、世代ごとに複雑化する機械へのスケーラビリティを重視します。OEM チームは機械構成ごとに制御ソリューションを調整でき、独自制御アルゴリズムと性能最適化ツールで motion stage performance を高め、application-development tools と programming libraries で機能開発を進められます。IDM Series は精密モーション stage 向け DS402 EtherCAT servo drives で、servo-control algorithms、高速 servo sampling/update rates、advanced power-electronics techniques を組み合わせ、flexible real-time programming と position-event generation を備えます。1、2、4 axes モジュールがあり、DC または AC input と最大60Aの電流選択肢があります。ECM Series は cost-optimized architecture に precision motion controller と servo drive を統合し、コストやスペースに制約のある OEM 装置向けです。advanced motion-profile generation、flexible real-time multithreaded programming、motion-optimization tools、motion-to-process event synchronization を備え、1、2、4 axes と最大60Aの選択肢があります。全体の能力は application-development software、servo algorithms、servo-drive techniques、motion-profile planning、motion-to-process synchronization を含み、性能と throughput の向上、構成に応じた拡張性、開発期間短縮を支えます。また Ace という24/7多言語ウェブ assistant を提供し、manuals、application notes、real-world support tickets を一つのインターフェースに統合します。SPiiPlus ecosystem には、高性能かつコスト効率の高い精密モーション向けに3つの新ソリューションも追加されています。
展示製品
半導体装置では、ACS Motion Control は sub-micron accuracy、nanometer-level standstill jitter、millisecond-level settling、sub-microsecond trigger synchronization といった要件に対応します。技術構成は advanced servo と AI-based control algorithms、multi-axis EtherCAT-based control systems、motion-to-process synchronization、high-performance servo-drive electronics を組み合わせます。Inspection は optical、X-ray、ultrasonic、e-beam、Metrology は critical dimension (CD)、overlay、film-thickness measurement を対象とします。Bonding と alignment には hybrid bonding、die bonding、LED bonding、silicon-photonics alignment があり、さらに maskless lithography、beam delivery、nanoprobing、vapor deposition、ion implant、laser scribing and annealing が挙げられています。stage は linear motor stages、direct-drive rotary stages、XY stages、XYZT stages、XY gantry stages、dual gantry stages、air-bearing stages、Z voice-coil stages、Z-Tip-Tilt stages、precision servo または stepper ballscrew stages に対応します。NanoPWM は servo-drive と algorithm technology を組み合わせて sub-nanometer precision を支えます。Position Event Generation は正確な位置に同期した high-speed on-the-fly event triggering を行います。Force Control は on-the-fly contact detection を備える精密力制御で、半導体 advanced-packaging の高精度・高 throughput 用途にも位置付けられます。Autofocus は dynamic autofocus algorithm で tracking error を抑え、ServoBoost は motion-system performance を改善し、Dynamic Error Compensation は mechanical-accuracy compensation によってシステム誤差を補償します。Smarter Gantry Control は advanced MIMO、つまり multi-input multi-output gantry-control algorithm を使用します。SPiiPlus は装置構成ごとの制御調整、motion-stage performance の最適化、application software 開発、motion と process event の同期を可能にします。IDM high-performance servo drives は precision stages 向け最適化ツールを備え、ECM Series はコストとスペースを考慮した controller/drive architecture を提供します。programming libraries、servo-control techniques、motion-profile planning、motion-to-process synchronization を含む application-development stack により、半導体装置メーカーは controller、drive、software functions を同一プラットフォームで組み合わせられます。
対応領域・製品
- 高精度モーションコントロール
- EtherCATベースのモーション制御プラットフォーム
- 多軸EtherCAT制御システム
- 精密モーション用サーボドライブ
- モーションコントローラ・サーボドライブ統合
- モーション・プロセス同期
- 精密位置イベント生成
- 接触検出付き精密力制御
- 動的オートフォーカス制御
- 動的誤差補正
- MIMOガントリーモーション制御
- サブナノメートル精度モーション制御