기본 정보
| 부스 | J2838 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.yujay.com.tw |
회사 소개
YUJAY Technology Inc.는 2007년에 설립되었으며 진공과 코팅 기술을 기반으로 맞춤형 진공 챔버와 확산 펌프에서 사업을 시작했습니다. 2013년에는 증착, 스퍼터링, CVD, ALD 시스템을 포함한 자체 코팅 장비 라인을 출시해 광전자와 반도체 분야에 적용했습니다. 2025년에는 Sindin과 협력해 플라즈마 클리너, 접촉각 측정 장비, 자동 검사 플랫폼을 포함한 표면 처리 및 검사 시스템을 도입하고 웨이퍼 공정, 패키징, 첨단 소재 응용에 적용했습니다. 또한 Onework와 협력해 반도체 팹과 스마트 팩토리에 디지털 트윈 솔루션을 통합하며 BIM 클라우드 관리, 자산 모니터링, 스마트 인프라, 탄소 관리를 제공합니다. 반도체 외 분야로는 의료기기와 전기기계 프로젝트 관리 엔지니어링에도 진출했으며 Lungwin Negative Pressure Ventilator는 National Innovation Award를 수상했고 프로젝트 관리 부문은 TIA-942 Rated-3 전기기계 프로젝트에 PMC 서비스를 제공합니다. 회사는 현재 반도체 공정 장비, 표면 검사 기술, 스마트 팩토리 디지털 트윈, 의료 분야 전문성, 전기기계 프로젝트 관리 역량을 결합해 반도체 산업에 솔루션을 제공한다고 설명합니다.
전시 제품
YUJAY Technology Inc.는 고진공 및 초고진공 시스템 전문성을 활용하며 신공장은 광전자 반도체 공정 장비 제조를 중심으로 코팅 장비 제조와 공정 기술 R&D를 통합해 맞춤형 공정 장비를 제공합니다. 비표준 공정 요구에는 맞춤형 진공 챔버, 배기 시스템, 헬륨 회수 시스템을 제공하며 단독 R&D 장비부터 전체 라인 자동화까지 설비 유틸리티와 공정 요구에 맞춰 통합합니다. 박막 증착 기술은 마그네트론 스퍼터링, 다중 타깃 공초점 스퍼터링, 진공 증착, CVD, ALD를 포함하며 박막 소재와 공정 조건에 맞춰 챔버 설계와 공정 파라미터 검증을 제공합니다. 기밀 누설 검사에서는 고정밀 헬륨 질량분석기, 자동화 누설 검사 스테이션, 다양한 공작물 형상에 맞춘 전용 밀봉 지그를 결합해 정량적인 누설 기준을 구축합니다. 표면 처리와 계측은 대기 및 진공 플라즈마 활성화·개질과 고정밀 접촉각·표면 자유에너지 측정을 결합해 표면 처리부터 정량 데이터 검증까지 제공합니다. 그 밖에 열관리·액체냉각 모듈의 기밀 검사, 부분방전·변전소·열화상 온도 모니터링 등 전력 상태 검사, 압력 제어 기술을 확장한 음압 호흡기 및 관련 의료기기 개발도 수행합니다. 적용 분야는 반도체와 첨단 패키징, 액체냉각 모듈과 콜드 플레이트, Mini/Micro LED 디스플레이, 신에너지·에너지저장 배터리 팩 누설 검사, 차량 ECU 보호와 전기기계 기밀 검사, 바이오 소재 표면 활성화, 학술 연구기관의 맞춤형 연구 장비를 포함합니다. 기술 서비스는 PoC 개념 검증과 설비 배치부터 예방 정비, 예비품 관리, Retrofit, 접촉각 정량화와 표면 개질 평가, 고정밀 헬륨 미세누설 위탁 측정과 공식 보고서, 현장 조사·Hook-up·FAT/SAT까지의 PM/CM 프로젝트 인도에 대응합니다. 진공 챔버와 시스템 통합 범위에는 CVD, PVD, 진공 이송, 중계 공정용 맞춤형 진공 챔버가 포함되며 고진공부터 초고진공까지 다룹니다. 배기 시스템은 공정 장비, 챔버 용적, 가스 부하에 따라 펌프, 배관, 제어 시스템을 구성합니다. 진공 증착에는 금속 전극, 유기 박막, 기능성 코팅용 수냉식 저항 가열 증착 장비와 유기 저온 증발원, 무기·금속 저항원을 통합한 깊은 박스형 유기/무기 증착 장비가 있으며 2개 소스 독립 제어와 동시 공증착을 지원합니다. 스퍼터링은 연구·파일럿 생산용 단일 타깃 직사 평면 마그네트론 시스템과 각 타깃을 공통 초점 영역으로 약 30° 배치하고 기판 회전을 결합한 다중 타깃 공초점 시스템을 제공해 여러 소재의 동시 공스퍼터링을 지원합니다. 장비 범위에는 상압 APCVD와 저압 LPCVD를 지원하고 수냉식 스테인리스 퍼니스 헤드, 석영 튜브, 보트를 사용하는 CVD/LPCVD, 자기 제한 표면 반응으로 Al₂O₃와 HfO₂ 등을 고종횡비 구조에 성막하는 ALD, 승화·이송·응축/수집 구역을 독립 온도 제어해 열 구배를 만드는 유기 승화 정제 장비도 포함됩니다. 시스템 선정 전에는 공작물 또는 샘플, 치수, 공정 목표, 생산능력, 설치 장소, 인터페이스 조건을 제공해야 하며 최종 구성은 엔지니어링 확인을 통해 결정됩니다.
역량 및 제품
- 맞춤형 진공 챔버
- 확산 펌프
- 진공 증발 증착 시스템 통합
- Plasma Cleaner 장비 도입(Sindin)
- Contact Angle 측정기 도입(Sindin)
- 자동 검사 플랫폼 도입(Sindin)
- 반도체 Fab/Smart Factory Digital Twin 통합(Onework)
- BIM Cloud 관리
- Asset Monitoring
- 스마트 인프라 솔루션
- Carbon Management
- TIA-942 Rated-3 전기기계 PMC 서비스
- 고진공/초고진공 시스템 통합
- 진공 배기 시스템 통합
- 헬륨 회수 시스템
- 마그네트론 스퍼터링
- 다중 타깃 공초점 스퍼터링
- CVD/LPCVD 증착 장비
- Al₂O₃/HfO₂ 고종횡비 ALD 증착
- 유기 승화 정제 장비
- 자동 헬륨 질량분석 기밀 누설 테스트 스테이션
- 대기/진공 플라즈마 표면 활성화·개질
- 접촉각 및 표면자유에너지 측정
- 액체냉각 모듈/Cold Plate 헬륨 누설 테스트
- 부분방전·변전소·열화상 온도 모니터링
- PoC·설비 레이아웃·예방정비·업그레이드
- Hook-up부터 FAT/SAT까지 PM/CM 프로젝트 관리