基本情報
| ブース | J2838 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.yujay.com.tw |
会社概要
YUJAY Technology Inc. は2007年に設立され、真空およびコーティング技術を基盤とし、カスタム真空チャンバーと拡散ポンプから事業を開始しました。 2013年に蒸着、スパッタリング、CVD、ALD システムを含む自社コーティング装置ラインを立ち上げ、オプトエレクトロニクスと半導体分野に展開しました。 2025年には Sindin と提携し、プラズマクリーナー、接触角測定装置、自動検査プラットフォームを含む表面処理・検査システムを導入し、ウェハ工程、パッケージング、先端材料用途に対応しています。 Onework とも協力し、半導体ファブやスマートファクトリーにデジタルツインソリューションを統合して、BIM クラウド管理、資産監視、スマートインフラ、カーボン管理を提供します。 半導体以外では医療機器と電気機械プロジェクト管理エンジニアリングにも展開し、Lungwin Negative Pressure Ventilator は National Innovation Award を受賞し、プロジェクト管理部門は TIA-942 Rated-3 電気機械プロジェクト向け PMC サービスを提供しています。 現在の提供内容を、半導体プロセス装置、表面検査技術、スマートファクトリー向けデジタルツイン、医療分野、電気機械プロジェクト管理能力を組み合わせたものと説明しています。
展示製品
YUJAY Technology Inc. は高真空・超高真空システムの専門性を活用し、新工場ではオプトエレクトロニクス半導体プロセス装置製造を中心に、コーティング装置製造とプロセス技術 R&D を統合してカスタム装置を提供します。 非標準プロセス向けには、カスタム真空チャンバー、排気システム、ヘリウム回収システムを提供し、単体 R&D 装置からライン自動化まで、設備ユーティリティとプロセス条件に合わせて統合します。 薄膜成膜では、マグネトロンスパッタ、多ターゲット共焦点スパッタ、真空蒸着、CVD、ALD を扱い、薄膜材料と工程条件に応じてチャンバー設計とプロセスパラメータ検証を行います。 リーク検査では高精度ヘリウム質量分析計、自動リークテストステーション、ワーク形状に応じた専用封止治具を組み合わせ、定量的な漏れ基準を構築します。 表面処理・計測では大気・真空プラズマ活性化改質と、高精度接触角・表面自由エネルギー測定を組み合わせ、処理から数値検証までを提供します。 ほかに、熱管理・液冷モジュールの気密検査、部分放電・変電所・熱画像温度監視などの電力状態検査、圧力制御技術を応用した陰圧呼吸器などの医療機器開発を扱います。 用途は半導体・先端パッケージ、液冷モジュールとコールドプレート、Mini/Micro LED ディスプレイ、新エネルギー・蓄電池パックのリーク検査、車載 ECU 保護と電気機械気密検査、バイオ材料の表面活性化、研究機関向けカスタム装置に及びます。 技術サービスは PoC 概念検証と設備レイアウトから、予防保全、スペア管理、Retrofit、接触角・表面改質評価、ヘリウム微小リーク受託測定と正式レポート、現地調査・Hook-up・FAT／SAT までの PM／CM プロジェクト管理に対応します。 真空チャンバー・システム統合では、CVD、PVD、真空搬送、中継工程向けに高真空から超高真空までのカスタムチャンバーを設計し、排気系は装置、チャンバー容積、ガス負荷に応じてポンプ、配管、制御を構成します。 真空蒸着には、金属電極、有機薄膜、機能性膜向けの水冷式抵抗加熱蒸着と、有機低温蒸発源および無機・金属抵抗源を組み込んだ深型箱式装置があり、2源独立制御と同時共蒸着に対応します。 スパッタリングは研究・試作量産向け単一ターゲット直射型平面マグネトロンと、各ターゲットを共通焦点領域へ約30°で配置して基板回転を組み合わせる多ターゲット共焦点方式を用意し、多材料同時共スパッタが可能です。 さらに、常圧 APCVD と低圧 LPCVD に対応する水冷ステンレス炉頭・石英炉管・ボート構成の CVD／LPCVD、自己制限表面反応で Al₂O₃、HfO₂ などを高アスペクト比構造へ成膜する ALD、昇華・搬送・凝縮／回収の各ゾーンを独立温調して熱勾配を作る有機昇華精製装置があります。 システム選定では、ワークまたはサンプル、寸法、工程目標、生産能力、設置場所、インターフェース条件の提示を求め、最終構成はエンジニアリング確認で決定します。
対応領域・製品
- カスタム真空チャンバー
- 拡散ポンプ
- 真空蒸着システム統合
- Plasma Cleaner装置導入（Sindin）
- Contact Angle測定器導入（Sindin）
- 自動検査プラットフォーム導入（Sindin）
- 半導体Fab／Smart Factory Digital Twin統合（Onework）
- BIM Cloud管理
- Asset Monitoring
- スマートインフラソリューション
- Carbon Management
- TIA-942 Rated-3電気機械PMCサービス
- 高真空／超高真空システム統合
- 真空排気システム統合
- ヘリウム回収システム
- マグネトロンスパッタ
- マルチターゲット共焦点スパッタリング
- CVD／LPCVD成膜装置
- Al₂O₃／HfO₂高アスペクト比ALD成膜
- 有機昇華精製装置
- 自動ヘリウム質量分析気密リークテスト装置
- 大気／真空プラズマ表面活性化・改質
- 接触角・表面自由エネルギー測定
- 液冷モジュール／Cold Plateヘリウムリークテスト
- 部分放電・変電所・熱画像温度監視
- PoC・設備レイアウト・予防保全・アップグレード
- Hook-upからFAT／SATまでのPM／CMプロジェクト管理