基本情報
| ブース | S8246 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.wellthin.com |
会社概要
WELL THIN TECHNOLOGY, LTD. は2003年4月に設立され、半導体IC製造ウェハファブを主な顧客とし、設計、製造、実務エンジニアリング経験を備えた装置問題解決に取り組んでいます。初期には半導体薄膜スパッタ装置部品の機能改善に重点を置き、元の部品より高い性能と長い寿命を目標とし、地域の各産業が持つ専門技術と特殊材料を統合して半導体装置の要求仕様に対応しました。同社は公平と誠実を原則とし、品質、価格、納期を重視しながら、テクノロジー企業のFABコスト削減につながるサービスを提供するとしています。品質制度では、2008年にISO9000品質認証、同年にISO9001:2008認証、2018年にISO9001:2015認証を取得した記録があります。製品知識と実務経験を組み合わせ、異なる技術チームが協力し、工法と設備を継続的に更新する運営方式を採っています。沿革には、2003年の資本金NT500萬元、2007年のレーザーマーキング機と中古ヘリウム測定器の導入、2008年の資本金NT:2500萬元への増資、2009年の拡張・移転とInventor 3D設計ソフトの導入、2010年のERPによる入出庫・保守管理およびHYPDMプロジェクト管理ソフトの導入が記載されています。その後、2011年にドイツ製真空ヘリウムリークディテクタ、2012年にBROWN&SHARP 2D・3D精密測定機器を導入しTSMC戦略サプライヤーAuditを通過、2013年に台湾発明特許I393212、2015年に3軸・5軸CNC加工機と平面研削盤、2016年に台湾発明特許I532940を取得しました。2017年には経済部SBIRの8インチウェハタングステン成膜システム統合開発計画の承認とUS PAT:9757865を記録し、2018年には工場・事務所一体型の拠点へ拡張移転、2019年には経済部CITDの「保守容易性と長寿命を備えた半導体装置用スロットルバルブシステム開発計画」を申請しました。
展示製品
WELL THIN TECHNOLOGY, LTD. が挙げるサービス・供給能力には、Heater、半導体部品改造、新品製作（Shield）、PCB repair、真空バルブ、Spindle修理、エアシリンダ修理、セラミック部品加工、半導体部品開発、半導体部品改良が含まれます。サービス一覧にはセラミック加工、金属加工、Valve修理、Cylinder修理もあり、顧客向けの図面作成と小部品の外注製造から始まり、問題解析のための計測機器導入、さらに短納期要求に対応するCNC加工設備の導入へ進み、ワンストップ型サービスへ発展したと説明しています。8インチウェハWCVD装置改造プロジェクトでは自動ウェハ中心校正機能を追加し、回転ごとにウェハ中心を校正できるようにして旧型装置のウェハ偏心問題へ対応し、このプロジェクトは経済部SBIRの支援を受け、2件の特許設計を開発しました。DISCO装置改造プロジェクトは工場自動化ニーズから開発され、装置改造によって自動搬送を接続し、人員需要を下げ、同社はこの改造によって生産効率を200%向上できるとしています。I532940 TV改造は複雑な保守機構を簡素化し、交換時間を元の10%まで短縮するとともに、機能強化、精度向上、寿命2倍を実現するとしています。I393212 Altus CIP partsでは、一体成形のHolderによるウェハ支持設計を採用し、設計、製造、品質管理、梱包までの一貫生産フローを提供します。同じAltus CIPプログラムでは搬送機構全体を改善し、8部品のうち半数を超える部品にCIP変更を行い、各部品の弱点を修正して組み合わせを高め、機能安定性と寿命を向上し、MTBFを2倍に延長するとしています。Holder clamp改善では高ニッケル材への変更を3部品に適用し、把持力不足によるLift pinの異常上昇を解消して、lift pinを抜きやすく交換しやすくします。US patent 9757865の8インチRobot plateウェハ搬送アップグレードは滑り防止を重視し、ウェハ搬送速度を3倍へ高め、耐久性を1年以上とし、持ち上げて新品を置き押し込む簡単な交換方法で保守を容易にしています。関連する新しいPivot assyは高い製造公差管理によって高温・低温条件で静かな動作を維持し、プロジェクトではRobotの繰返し位置決め精度を2倍にできるとしています。これらのプロジェクトは、半導体ICウェハファブ向けに装置・部品の改造、修理、製作、性能改善を行う点で共通し、薄膜スパッタ装置部品、ウェハ搬送機能、保守性を対象としています。
対応領域・製品
- 半導体スパッタ装置部品の機能改善
- Shield新規製作
- PCB修理
- 真空バルブ修理
- Spindle修理
- 空圧シリンダ修理
- セラミック部品加工
- 半導体部品の改造