基本情報
| ブース | P6118 |
| 国 | SG |
| ウェブサイト | www.tsi.com |
会社概要
TSI INCORPORATEDは米国ミネソタ州に本社を置き、半導体、エレクトロニクス、製薬、先進製造産業向けに精密計測ソリューションを提供しています。1961年以来、TSI INCORPORATEDは製品品質、プロセス制御、歩留まりの向上を目的とした高性能計測機器を開発してきました。TSIの一部門であるMSPは、高度な汚染制御、ウエハ検査、精密液体供給システムなど、半導体向けの専門技術を提供しています。MSP製品はCVD、ALD、その他の重要プロセスで使用され、精度、信頼性、超清浄性能を重視しています。
展示製品
半導体超純水向けには、TSI Nano LPM™ Systemが真の10 nanometer (nm)ナノ粒子検出用として提示されています。半導体ソリューションには、2 nmまでの部品清浄度試験と、高純度ガス中の2 nmまでの粒子検出も含まれます。クリーンルームの浮遊粒子監視は10 nmまでに対応し、Direct Liquid Injection (DLI)ツールは薄膜成膜の蒸気供給に使用されます。その他には、10 nmまでのparticle removal efficiency (PRE)校正標準、スラリー粒径分布を把握する単粒子CMP slurry analysis、粒子除去効率を検証するPRE Challenge Wafersがあります。TSI OmniTrakTM Solutionは、複数拠点の空気品質、騒音、粉塵を監視する施設管理者、安全管理者、産業衛生担当者向けのカスタマイズ可能なモジュール式プラットフォームです。OmniTrakTMはTSI LinkTM Report Creatorを通じて監視機器とデータインサイトを組み合わせ、1つのシステムで複数パラメータを測定してデータ収集を簡素化し、レポート作成を迅速化します。必要なパラメータから開始して需要に応じて拡張でき、TSI LinkTM Report Creatorで結果を視覚的なレポートに変換できます。TSIの凝縮粒子計数器は10 nmまで測定でき、製品群には2 nmまでの浮遊粒子を信頼性と再現性を持って検出できる計数器もあります。製品群には、低粒子濃度で正確な10 nm測定を行うAeroTrak Cleanroom Condensation Particle Counter 9001と、水を用いて粒子濃度を測定するVersatile Water-Based Condensation Particle Counter 3789が含まれます。TSI Condensation Particle Countersは凝縮技術でナノメートル粒子を検出可能な大きさまで成長させ、2 nmまでの粒子測定を可能にし、ごく小さな浮遊汚染物でもウエハに影響し得る先端技術ノードに対応します。クリーンルームでは、標準的な光学粒子計数器が見逃す可能性のある超微粒子を可視化し、汚染源の特定と低減を支援して、プロセス安定性と製品歩留まりの改善に役立ちます。CPCは安定性と再現性を重視して設計され、超清浄環境でのフィルタ試験、根本原因分析、定期監視を支えるデータを提供します。小粒径検出限界と再現性の高いデータを組み合わせ、施設管理者やプロセスエンジニアの汚染リスク管理に対応します。AeroTrak™+ A100 Portable Particle Countersはリアルタイムのクリーンルーム粒子計数を行い、ISO 14644-1:2015、ISO 21501-4:2018、EU GMP Annex 1（2008および2022）、China GMPへの対応を内蔵しています。AeroTrak Portable Particle Counter 9110は流量1 CFM (28.3 L/min)、精度±5%、粒径範囲0.100～10.0 µmです。AeroTrak-Plus Portable Particle Counter A100 Seriesは1 CFM (28.3 LPM)から3.5 CFM (100 LPM)までの流量と、0.3 µmから10 µmまでのchannel sizesを備えます。分類作業では、直感的なタッチスクリーンと事前設定されたサンプリングレシピを利用でき、軽量設計と長いバッテリー寿命によって施設内での長時間使用を支援します。統合レポート機能はISO 14644-1とEU GMP Annex 1に基づくpass/failレポートを自動生成でき、手計算を減らし、試験終了時に監査用文書を準備できます。結果は安全なデータベースやBuilding Management Systems (BMS)へ転送でき、集中トレンド分析に対応し、単独のトラブルシューティング機器としても大規模な監視戦略の一部としても使用できます。TSIのFacility Monitoring System (FMS)は粒子数やその他のパラメータを監視するソフトウェアスイートで、高可用性データベースとhot-standby failover機能を備えます。FMSは浮遊粒子計数器、温湿度、差圧、風速、デジタル入力を受け付け、AeroTrak™およびAeroTrak™+機器の線形アナログ出力にも対応します。製品にはFacility Monitoring System with FMS Web Clientがあり、OPC UA Client/Server機能で粒子数などを監視します。FMSはオープンアーキテクチャで、remote particle countersやアナログ温湿度センサなど複数の環境センサからデータを収集、分析、保存します。環境データをFMSに集約することで手入力を減らし、重要空間のデータ完全性とレポートを支える集中記録を形成します。監視システムはISO 14644-1とEU GMP Annex 1への対応を支援し、hot-standby failover、distributed redundancy、リアルタイムアラート、レポート機能により停止時間とデータ欠損を抑え、異常に迅速に対応します。AeroTrak™+およびAeroTrak Remote Particle Countersは大型クリーンルームや重要環境向けのコンパクトな固定監視機器で、無線オプション、内部データバッファ、ISO 21501-4適合、5年レーザー保証を備えます。AeroTrak-Plus Remote Particle Counter 7000 Seriesは0.1 CFM (2.83 L/min)と1 CFM (28.3 L/min)の流量選択肢があり、channel sizesは0.2～25 μmです。AeroTrak-Plus Remote Particle Counter with Integrated Pump 6000 Seriesは0.1 CFM (2.83 L/min)、0.2～25 μmのchannel sizes、内蔵ポンプを備えます。AeroTrak Remote Particle Counter with Integrated Pump 6310は1 CFM (28.3 L/min)、粒径0.3～25 μmで、6510および6510-VHPは1 CFM (28.3 L/min)、0.5～25 μm、内蔵ポンプ、VHPオプションを備えます。AeroTrak Remote Particle Counter 7110は1.0 CFM (28.3 L/min)、粒径範囲0.100～10.0 µmです。連続監視では固定式AeroTrak™ remote countersがFMSへ継続的にデータを送り、粒子異常の即時検出とトレンド、保守需要、汚染イベントの把握を可能にし、製品品質に影響する前の対応を支援します。ネットワーク障害やシステム停止時も内部バッファでローカル収集・保存を継続し、接続回復後に自動で中央システムへアップロードします。コンパクト形状により重要プロセスポイント付近へ設置でき、無線接続やPower over Ethernet (PoE)で設置を簡素化し、5年レーザー保証が長期使用を支えます。
対応領域・製品
- 超純水中10 nmナノ粒子の監視
- 2 nmまでの部品清浄度測定
- 高純度ガス中2 nm粒子の検出
- 薄膜堆積用直接液体注入・蒸気供給
- ウエハー表面走査・検査用10 nm校正標準品
- CMPスラリーの単一粒子粒径分布解析
- 粒子除去効率評価用PREチャレンジウエハー
- ウエハー検査技術
- 凝縮粒子カウンター（最小2 nm、水系タイプも対応）
- クリーンルーム用ポータブル粒子カウンター
- クリーンルーム用リモート連続粒子カウンター
- クリーンルーム粒子・環境パラメーター統合監視ソフトウェア
- 空気質・騒音・粉じんの多項目監視プラットフォーム