基本資料
| 攤位 | P6118 |
| 國別 | SG |
| 網站 | www.tsi.com |
公司簡介
TSI INCORPORATED總部位於美國明尼蘇達州，為半導體、電子、製藥與先進製造產業提供精密量測解決方案。自1961年起，TSI INCORPORATED持續開發高性能儀器，用於提升產品品質、製程控制與良率。MSP是TSI旗下事業部，提供半導體專用技術，包括先進污染控制、晶圓檢查與精密液體輸送系統。MSP產品應用於CVD、ALD及其他關鍵製程，重點包括準確度、可靠性與超潔淨性能。
展出產品
半導體超純水應用方面，TSI Nano LPM™ System用於真正的10 nanometer (nm)奈米粒子偵測。半導體解決方案亦包括最低至2 nm的零件潔淨度測試，以及最低至2 nm的高純度氣體粒子偵測。無塵室空氣中粒子監測可低至10 nm，Direct Liquid Injection (DLI)工具則用於薄膜沉積的蒸氣輸送。其他半導體方案包括最低至10 nm的particle removal efficiency (PRE)校正標準、用於精確漿料粒徑分布的單粒子CMP slurry analysis，以及用於驗證粒子去除效率的PRE Challenge Wafers。TSI OmniTrakTM Solution是可客製化的模組化平台，供設施管理者、安全管理者與工業衛生人員監測多個地點的空氣品質、噪音及粉塵。OmniTrakTM透過TSI LinkTM Report Creator結合監測儀器與資料洞察，並可由單一系統量測多項參數，以簡化資料收集及加速報告。平台可先配置所需參數並隨需求擴充，TSI LinkTM Report Creator則將結果轉換為視覺化報告。TSI凝結式粒子計數器可量測低至10 nm的粒子，產品線亦包括可偵測低至2 nm空氣中粒子的計數器，並提供可靠且可重複的量測。凝結式粒子計數器產品包括AeroTrak Cleanroom Condensation Particle Counter 9001，用於低粒子濃度下準確的10 nm量測，以及Versatile Water-Based Condensation Particle Counter 3789，用於水基式粒子濃度量測。TSI Condensation Particle Counters利用凝結技術將奈米級粒子成長至可偵測尺寸，使量測可低至2 nm，適用於極小空氣污染物也可能影響晶圓的先進技術節點。在無塵室中，這些CPC可看見標準光學粒子計數器可能遺漏的超細粒子，支援污染源辨識與改善，並有助於製程穩定及產品良率。CPC針對穩定性與重複性設計，使資料可支援超潔淨環境中的濾網測試、根因分析及例行監測。凝結式計數器產品以小粒徑偵測能力搭配可重複資料，供設施管理者與製程工程師進行污染風險管理。AeroTrak™+ A100 Portable Particle Counters提供即時無塵室粒子計數，並內建ISO 14644-1:2015、ISO 21501-4:2018、EU GMP Annex 1（2008及2022）與China GMP的合規支援。AeroTrak Portable Particle Counter 9110流量為1 CFM (28.3 L/min)，準確度±5%，粒徑範圍0.100至10.0 µm。AeroTrak-Plus Portable Particle Counter A100 Series流量涵蓋1 CFM (28.3 LPM)至3.5 CFM (100 LPM)，channel sizes為0.3 µm至10 µm。進行分類作業時，AeroTrak™+攜帶式計數器採直覺式觸控介面及預設採樣配方，輕量設計與長電池續航則支援在設施內長時間移動使用。整合報告工具可依ISO 14644-1與EU GMP Annex 1自動產生pass/fail報告，減少手動計算並讓文件可供稽核使用。攜帶式計數器亦可將結果傳送至安全資料庫或Building Management Systems (BMS)，支援集中趨勢分析，並可作為獨立故障排查工具或更大環境監測策略的一部分。TSI的Facility Monitoring System (FMS)是用於粒子計數與其他參數的監測軟體套件，具高可用性資料庫與hot-standby failover能力。FMS支援空氣中粒子計數器、溫濕度、差壓、風速與數位輸入，並可接收AeroTrak™及AeroTrak™+儀器的線性類比輸出。產品線包括Facility Monitoring System with FMS Web Client，具OPC UA Client/Server功能，可監測粒子計數及其他參數。FMS採開放式架構，可從多種環境感測器收集、分析及儲存資料，包括remote particle counters與類比溫濕度感測器。將環境資料集中於FMS可減少手動輸入，並建立集中式紀錄以支援關鍵空間的資料完整性與報告。監測系統支援ISO 14644-1與EU GMP Annex 1合規，並以hot-standby failover、distributed redundancy、即時警報及報告工具降低停機與資料缺口，快速處理異常。AeroTrak™+與AeroTrak Remote Particle Counters是用於大型無塵室或關鍵環境的緊湊固定式監測儀器，提供無線選項、內部資料緩衝、ISO 21501-4合規及5年雷射保固。AeroTrak-Plus Remote Particle Counter 7000 Series提供0.1 CFM (2.83 L/min)及1 CFM (28.3 L/min)流量選項，channel sizes為0.2至25 μm。AeroTrak-Plus Remote Particle Counter with Integrated Pump 6000 Series規格為0.1 CFM (2.83 L/min)、0.2至25 μm channel sizes及整合式幫浦。AeroTrak Remote Particle Counter with Integrated Pump 6310以1 CFM (28.3 L/min)運作，粒徑範圍0.3至25 μm；6510與6510-VHP型號同為1 CFM (28.3 L/min)，範圍0.5至25 μm，具整合式幫浦及VHP選項。AeroTrak Remote Particle Counter 7110規格為1.0 CFM (28.3 L/min)，粒徑範圍0.100至10.0 µm。連續監測時，固定式AeroTrak™ remote counters持續向FMS傳送資料，使系統可立即偵測粒子異常並追蹤趨勢、維護需求與污染事件，以在影響產品品質前進行處理。網路或系統中斷時，大容量內部緩衝可讓remote counter持續在本地收集與儲存資料，連線恢復後再自動上傳。緊湊外型可安裝於關鍵製程點附近，無線連線或Power over Ethernet (PoE)選項可簡化安裝，5年雷射保固則支援長期使用。
能力與產品項目
- 超純水 10 nm 奈米微粒監測
- 2 nm 零件潔淨度量測
- 高純度氣體 2 nm 微粒偵測
- 薄膜沉積直接液體注入與蒸氣輸送
- 10 nm 晶圓表面掃描與檢測校正標準品
- CMP 漿料單顆粒粒徑分布分析
- 微粒移除效率 PRE 挑戰晶圓
- 晶圓檢測技術
- 凝結式微粒計數器（最低 2 nm，含水基型選項）
- 無塵室可攜式微粒計數器
- 無塵室遠端連續微粒計數器
- 無塵室微粒與環境參數整合監控軟體
- 空氣品質、噪音與粉塵多參數監測平台