基本情報
| ブース | Q5230 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.mesoscope.com.tw |
会社概要
TrInity Analysis Tech Co., Ltd.は台湾を拠点とする半導体分析・検査企業で、nanotechnology equipment and tools、test and failure-analysis systems、probing equipment、measurement and inspection serviceを活動範囲としています。同社は台湾・新竹に所在し、2025年に設立されました。半導体関連の範囲はナノテクノロジーツール、試験・故障解析システム、プロービング設備、測定・検査サービスを組み合わせ、物理的なプロービングと分析・検査志向の業務を結び付けます。Mesoscope Technologyが法人董事として記載され、同社の位置付けはMesoscope関連の分析技術、および先端半導体デバイス向けのnano-probeやfailure-analysisの提供内容と結び付いています。その分析分野では、先端半導体デバイス向けの低損傷nano-probe分析を重視し、技術方針をnano-probeとfailure-analysisの分野につなげています。同社は新しく設立された台湾の半導体分析・検査企業であり、ナノテクノロジーツール、プロービング設備、試験・故障解析システム、測定・検査サービスを組み合わせています。設備カテゴリと測定・検査サービスを一つの半導体分析の文脈にまとめ、probing、failure analysis、nanotechnology tools、inspectionを同じ技術範囲に位置付けています。nanotechnology equipmentとmeasurement and inspection serviceを組み合わせることで、TrInityは半導体分析における設備志向とサービス志向の両方をカバーし、test and failure-analysis systemsとprobing equipmentによって物理的プロービングを先端デバイスのより広い分析フローに位置付けています。
展示製品
nano probingでは200 eV未満の超低エネルギー電子ビームを使用し、この明確な動作条件によってナノプロービング時の試料損傷を低減します。電子ビームを30分間連続照射した後も測定データの偏差を5%未満に制御でき、連続照射下での測定安定性に関する数値が示されています。200 eV未満のビーム条件と30分後も5%未満という偏差を組み合わせた性能説明により、極めて低い電子ビームエネルギーで試料損傷を抑えつつ、継続照射時の測定変動を制御するnano probing能力が示されます。この機能は、先端半導体デバイス分析におけるprobing equipment、nanotechnology equipment and tools、test and failure-analysis systems、measurement and inspection serviceという同社の広い分類と対応します。
対応領域・製品
- 200 eV未満の電子ビームナノプロービング（30分後偏差≤5%）