基本情報
| ブース | P6022 |
| 国 | SG |
| ウェブサイト | ocassys.com |
会社概要
TQC PRECISION ENGINEERING PTE. LTD は 2023 年に OCAS Systems と戦略的ジョイントベンチャーを形成し、両社は現在、8 インチおよび 12 インチウェハ向けの先端ウェハプローバを共同開発しています。この協業の目的は、TQC PRECISION ENGINEERING PTE. LTD と OCAS Systems の強みと専門性を組み合わせ、拡大する半導体市場の需要に対応するウェハプローバを開発することです。開発は現在も進行中で、8 インチと 12 インチの両方のウェハサイズを対象としており、完成済みの単一サイズ製品ではなく、2 サイズ対応ウェハプローバの共同開発プログラムです。OCAS Systems はこの協業の技術的背景を担い、2018 年の事業開始以来、半導体・電子パッケージング産業向けに、ソフトウェア技術を活用した革新的で先進的かつコスト効率の高い自動画像検査装置とパッケージング機械を設計・製造し、世界の半導体 OSAT と ODM 顧客にサービスを提供しています。この協業は、TQC PRECISION ENGINEERING PTE. LTD と OCAS Systems の自動画像検査・パッケージング機械に関する経験を結び付け、共同開発の焦点を半導体ウェハプロービングに置いています。
展示製品
OS6000 Wafer Prober は OCAS の 300mm ウェハプローバで、量産環境に求められる自動化と信頼性を、高度なウェハ試験に対応するプローバ技術と組み合わせています。OS6000 は高精度と迅速な応答に加え、エネルギー損失とメンテナンス要件を抑え、運用時のシステム全体の効率を高めると説明されています。リニアドライブモータは非常に滑らかな動作を実現し、試験領域全体で連続的なウェハ位置決めと高精度プロービングを行い、繰り返し同じ試験位置へアクセスするための動作性能を提供します。ソリッドグラナイトベースは構造的な安定性と再現性を確保し、繰り返しの位置決め・試験サイクルで信頼性の高い一貫したプロービング結果を支えます。高度な光学システムは精密なウェハ位置合わせを行い、電気的プロービングの前にプローブを意図した位置へ正確に接触させます。OS6000 はダイレクトドライブモータ技術、アブソリュートエンコーダ、超低熱膨張係数を持つ Robax ガラススケールを組み合わせ、駆動、位置フィードバック、低膨張の測定基準をモーションシステムに統合しています。TQC と OCAS の共同開発という文脈では、この OCAS 300mm ウェハプローバは、ウェハプローバ開発に関わる自動化、位置決め、プロービング、アライメント、構造安定性、再現性、モーション制御、計測の要素を示しています。
対応領域・製品
- 8インチ・12インチウェハプローバ共同開発