基本情報
| ブース | S7352 |
| 国 | TW |
会社概要
THK Taiwan Co., Ltd. は、THK の台北を拠点とする台湾法人であり、THK は 1972 年に直線運動（LM）ガイドを世界で初めて商品化し、半導体装置向けの直線運動部品を供給する。クリーンルームおよび真空プロセス環境向けには、特殊環境用 LM ガイドを提供する。これには、Caged Ball 技術を基盤とし、専用カバーと集塵システムにより ISO 14644-1 Class 3 の清浄度に認定されたクリーンルームアクチュエータ CSKR（CSKR20 および CSKR26）や、ラビリンス端シールと真空グレードグリスを備え、大気圧から 10^-3 Pa まで使用できる中低真空 LM ガイド HSR-M1VV が含まれる。低発塵の CGL 構造はクリーンルーム動作での発塵をさらに低減し、真空・クリーン環境向けガイドは耐食ステンレス鋼（SUS304 レール、SUS431 ブロック・ボール）を用いる。ウェハステージおよび半導体装置向けの、クリーンルーム・真空対応の直線運動・位置決め部品の供給企業として位置づけられる。
対応領域・製品
- CSKR20およびCSKR26 Caged Ballリニアアクチュエータ
- HSR-M1VV中低真空LM Guide
- SUS304レールとSUS431ブロックを用いたクリーン環境向けステンレスガイド
- ウェハステージ向け線形運動および位置決め部品
- クリーンルーム動作用Clean-Room Actuator CSKR
- クリーンルーム動作用低発塵CGL構造
- 半導体装置向けLinear Motion (LM) Guide部品
- 大気圧から10^-3 Paまで使用可能な真空LM Guide
- 防塵吸引カバー付きISO 14644-1 Class 3クリーンルームアクチュエータ