基本資料
| 攤位 | S7352 |
| 國別 | TW |
公司簡介
THK Taiwan Co., Ltd. 是 THK 在台灣、位於台北的實體；THK 於 1972 年率先將線性運動（LM）導軌商品化，並供應用於半導體設備的線性運動元件。針對潔淨室與真空製程環境，公司提供特殊環境用 LM 導軌型號，包括以 Caged Ball 技術為基礎、通過 ISO 14644-1 Class 3 潔淨度認證、附專用罩蓋與吸塵系統的潔淨室致動器 CSKR（CSKR20 與 CSKR26），以及可從大氣壓使用至 10^-3 Pa、附迷宮式端封與真空級潤滑脂的中低真空 LM 導軌 HSR-M1VV。其低發塵 CGL 結構進一步降低潔淨室運動的微粒產生，其真空與潔淨環境導軌採用耐蝕不鏽鋼（SUS304 軌道、SUS431 滑塊與滾珠）。公司定位為晶圓平台與半導體設備用的潔淨室與真空相容線性運動及定位元件供應商。
能力與產品項目
- CSKR20 與 CSKR26 Caged Ball 線性致動器
- HSR-M1VV 中低真空 LM Guide
- 具防塵吸塵外蓋的 ISO 14644-1 Class 3 無塵室致動器
- 可從大氣壓使用至 10^-3 Pa 的真空 LM Guide
- 採 SUS304 軌道與 SUS431 滑塊的潔淨環境不鏽鋼導軌
- 用於 wafer stages 的線性運動與定位元件
- 用於半導體設備的 Linear Motion (LM) Guide 元件
- 用於無塵室運動的 Clean-Room Actuator CSKR
- 用於無塵室運動的低發塵 CGL 結構