基本情報
| ブース | J2554 |
| 国 | TW |
| 製品カテゴリ | Wafers · Waste Control; Effluent Management Systems (Fluid & Gas; Exhaust Conditioning; Scrubbers) |
| ウェブサイト | www.kanken-techno.co.jp/e_index.html |
会社概要
カンケンテクノ（Kanken Techno）は京都議定書発祥の地である京都に所在し、日本を代表する大気汚染防止装置メーカーです。当社のさまざまな特許除害技術は、半導体、LCD、PV（太陽光）工場から排出されるほぼすべての有害ガスおよび PFC ガスに対して高い DRE（分解除去効率）で適用できます。当社の除害システム（ローカルスクラバー）は電力、水、N2 のみを必要とします。当社の除害システム（ローカルスクラバー）は、PFC ガスとして知られる CF4、SF6、C2F6、C3F8、N2O、NF3 などを、IPCC 2006 年ガイドラインに基づき 90%[*1] 以上の DRE で処理できます。お客様のご要望があれば、より高い DRE[*2] を保証いたします。当社は必ずやお客様の環境保護対策に貢献いたします。[*1] NF3 は 95% 以上 [*2] 詳細なガスレシピ等の協議によります。
対応領域・製品
- CF4、SF6、C2F6、C3F8、N2O、NF3のPFCガス処理
- IPCC 2006ガイドラインに基づく90%以上のDREガス除害
- Local Scrubber除害システム
- 半導体工場向け有害ガスおよびPFCガス除害
- 特許ガス除害技術