基本資料
| 攤位 | J2554 |
| 國別 | TW |
| 產品分類 | Wafers · Waste Control; Effluent Management Systems (Fluid & Gas; Exhaust Conditioning; Scrubbers) |
| 網站 | www.kanken-techno.co.jp/e_index.html |
公司簡介
Kanken Techno 位於京都——《京都議定書》的誕生地，並且是日本領先的防空氣污染設備公司。我們各項專利除害技術可應用於來自半導體、LCD 與 PV（太陽能）廠的幾乎所有有害氣體與 PFC 氣體，並具備高 DRE（破壞去除效率）。我們的除害系統（Local Scrubber／局部洗滌器）僅需電力、水與 N2。我們的除害系統（Local Scrubber）可處理 CF4、SF6、C2F6、C3F8、N2O、NF3 等被稱為 PFC 氣體的物質，依據 IPCC 2006 年指引可達 90%[*1] 以上的 DRE。若客戶有要求，我們可保證更高的 DRE[*2]。我們必將為您的環境保護措施做出貢獻。[*1] NF3 為 95% 以上 [*2] 視詳細氣體配方等討論而定。
能力與產品項目
- CF4、SF6、C2F6、C3F8、N2O 與 NF3 的 PFC 氣體處理
- Local Scrubber 減排系統
- 依 IPCC 2006 指引達 90% 以上 DRE 的氣體減排
- 半導體廠有害氣體與 PFC 氣體減排
- 專利氣體減排技術