기본 정보
| 부스 | R7112 |
| 국가 | DE |
| 웹사이트 | www.sglcarbon.com/en/company/dates-and-events |
회사 소개
SGL CARBON GmbH는 특수 흑연, 탄소섬유 및 복합재로 만든 소재와 제품을 포함한 탄소 기반 솔루션의 개발과 제조에 집중하는 기술 기반 기업입니다. 회사의 탄소 기반 소재는 친환경 모빌리티, 반도체 기술, LED, 태양광 및 풍력 에너지, 연료전지와 기타 에너지 저장 시스템, 화학 분야 및 다양한 산업 응용에 사용됩니다. 회사는 사회에 이익을 주고 환경 영향을 줄이는 제품과 기술을 개발하면서 미래 기술과 에너지 시스템을 형성하는 산업을 지원한다고 설명합니다. SGL CARBON GmbH는 유럽, 북미 및 아시아의 28개 거점에 약 3,800명의 직원을 두고 유럽, 북미 및 아시아에 걸친 거점망을 운영합니다. 2025 회계연도 매출은 850 million euros였습니다.
전시 제품
반도체 및 LED 제조를 위해 SGL CARBON GmbH는 특수 흑연과 반도체 생산 경로 전반에서 사용되는 흑연 기반 솔루션을 공급합니다. 특수 흑연 부품은 결정 성장과 이후의 epitaxy 및 ion implantation 같은 공정에 사용되며, 이러한 공정은 매우 높은 온도와 강한 부식 환경에서 진행되고 높은 순도와 정밀도를 요구하므로 공정 소재에도 까다로운 조건이 적용됩니다. 반도체 제품은 결정 성장 hot zone용 고순도 흑연 소모품인 heaters, crucible susceptors, insulation에서 웨이퍼 처리 장비용 고정밀 흑연 부품까지 이어집니다. Epitaxy 및 MOCVD용으로는 silicon-carbide-coated graphite susceptors가 포함되어 고순도 흑연과 SiC coating 기술을 반도체, LED 및 태양광 생산의 웨이퍼 처리 응용과 연결합니다. 반도체 관련 응용으로 Semiconductor Crystal Growth, Polysilicon Production, High Temperature Furnaces, Process Technology for Corrosive Applications, Silicon and SiC Epitaxy가 제시됩니다. 관련 소재와 제품군에는 CARBOGUARD®, DIABON®, POLYFLURON®, SICABON®, SIGRABOND Carbon Fiber-Reinforced Carbon, SIGRABOND® Chemical, SIGRAFINE® Extruded and Vibration Molded Graphite, SIGRAFINE® Isostatic Graphite, SIGRAFINE® SiC Coating, SIGRAFLEX® High-Purity Flexible Graphite Foil and Sheets, SIGRAFLEX® flexible graphite gasket sheets, SIGRASIC® Carbon Fiber Reinforced Silicon Carbide, SIGRATHERM® Rigid Felt 및 Soft Felt가 포함됩니다. SGL CARBON GmbH는 첨단 반도체 칩 제조에 중요한 부품을 생산하기 위해 제품과 생산 공정에 지속적으로 투자하며 엄격한 치수 사양을 충족하는 고순도 소재를 사용한다고 설명합니다. silicon epitaxy에서는 웨이퍼가 graphite susceptors 위에 놓이며 susceptor의 특성과 품질이 웨이퍼 epitaxial layer의 품질에 영향을 줍니다. SiC-coated graphite susceptors는 매우 높은 순도, 균일한 코팅, 우수한 수명, 내화학성 및 열 안정성을 제공하고 고정밀 가공과 엄격한 코팅 공차를 통해 균일한 susceptor profile을 유지합니다. 회사는 유도가열 시스템에 사용할 수 있는 전기저항 특성의 소재도 생산하며 완성 부품에는 순도 및 치수 적합성 인증서가 제공됩니다. SGL CARBON GmbH는 현재 사용되는 epitaxy reactors용 susceptors와 graphite components를 공급하며 applied 및 LPE units용 barrel susceptors, LPE, CSD 및 Gemini units용 pancake susceptors, applied 및 ASM units용 single-wafer susceptors를 포함합니다. 또한 여러 단결정 성장 공정과 소재용 heaters, support crucibles, heat shields, insulating components 및 silicon epitaxy와 MOCVD reactors용 susceptors를 공급합니다. 응용별 finishing은 cleaning, mechanical processing 또는 coating으로 제공되며 susceptors는 고강도 isostatic graphite로 제조되어 epitaxy, crystal growing, ion implantation, plasma etching 및 LED chip production 같은 까다로운 공정을 위해 개발되었습니다. SIGRAFINE Fine-Grain Graphite Product Finder는 응용에 맞는 graphite grades의 사전 선정을 돕고, 품질 관리는 제품의 완전한 추적성을 지원하며 회사는 epitaxy unit 제조사 및 운영자와 소재와 제품을 계속 공동 개발합니다. 기술 자료에는 전자 응용용 SIGRAFINE isostatic graphites와 R6140, R6300, R6303H, R6340, R6410, R6500, R6510, R6650, R6710, R6810, R6910 및 V2114 grades, SIGRAFINE SiC Coating, coated parts handling instructions가 포함됩니다. SGL CARBON GmbH는 소재 전문성과 제조 know-how를 leading OEMs와의 협력에 결합해 응용별 susceptor 설계를 개발하고, epitaxy unit 제조사 및 운영자와 함께 소재와 제품 개발을 이어갑니다.
역량 및 제품
- 반도체 및 LED용 특수 흑연
- 결정 성장용 흑연 소모품
- 에피택시·MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터
- 에피택시 반응기용 흑연 서셉터 및 부품