基本資料
| 攤位 | R7112 |
| 國別 | DE |
| 網站 | www.sglcarbon.com/en/company/dates-and-events |
公司簡介
SGL CARBON GmbH 是一家以技術為基礎、專注於開發與製造碳基解決方案的公司，其材料與產品包括特種石墨、碳纖維與複合材料。公司的碳基材料服務氣候友善移動、半導體技術、LED、太陽能與風能、燃料電池及其他儲能系統、化工領域與多種工業應用。公司表示，其持續開發旨在造福社會並降低環境影響的產品與技術，同時支援正在塑造未來科技與能源系統的產業。SGL CARBON GmbH 約有 3,800 名員工，在歐洲、北美與亞洲共有 28 個據點，形成橫跨三個地區的據點布局。2025 會計年度，公司營收為 850 million euros。
展出產品
在半導體與 LED 製造領域，SGL CARBON GmbH 供應特種石墨，以及沿半導體生產流程使用的石墨基解決方案。特種石墨零組件應用於晶體生長，以及後續的磊晶與離子植入等製程；這些製程涉及極高溫、高腐蝕環境，並要求高純度與高精度，因此對製程材料提出嚴格要求。半導體產品從晶體生長熱區使用的高純度石墨耗材延伸至高精度晶圓加工設備零組件，前者包括加熱器、坩堝承載座與隔熱材料。針對 Epitaxy 與 MOCVD，產品組合包括碳化矽塗層石墨承載座，將高純度石墨與 SiC coating 技術結合於半導體、LED 與太陽能生產中的晶圓加工應用。列出的半導體相關應用包括 Semiconductor Crystal Growth、Polysilicon Production、High Temperature Furnaces、Process Technology for Corrosive Applications，以及 Silicon and SiC Epitaxy。相關材料與產品系列包括 CARBOGUARD®、DIABON®、POLYFLURON®、SICABON®、SIGRABOND Carbon Fiber-Reinforced Carbon、SIGRABOND® Chemical、SIGRAFINE® Extruded and Vibration Molded Graphite、SIGRAFINE® Isostatic Graphite、SIGRAFINE® SiC Coating、SIGRAFLEX® High-Purity Flexible Graphite Foil and Sheets、SIGRAFLEX® flexible graphite gasket sheets、SIGRASIC® Carbon Fiber Reinforced Silicon Carbide，以及 SIGRATHERM® Rigid Felt 與 Soft Felt。SGL CARBON GmbH 表示，公司持續投資產品與生產製程，以製造先進半導體晶片生產所需的關鍵零件，並使用符合嚴格尺寸規格的高純度材料。在 silicon epitaxy 中，晶圓由 graphite susceptors 承載，而 susceptor 的性質與品質會影響晶圓磊晶層的品質。其 SiC-coated graphite susceptors 具有極高純度、均勻塗層、使用壽命、耐化學性與熱穩定性等特性，並透過高精度加工與嚴格塗層公差維持均一的 susceptor 輪廓。公司也生產適用於感應加熱系統、具特定電阻特性的材料；所有完成的零組件均附有純度與尺寸符合性證明。SGL CARBON GmbH 為現行 epitaxy reactors 供應 susceptors 與 graphite components，包括 applied 與 LPE units 用 barrel susceptors、LPE、CSD 與 Gemini units 用 pancake susceptors，以及 applied 與 ASM units 用 single-wafer susceptors。其他零組件包括多種單晶生長製程與材料所需的 heaters、support crucibles、heat shields 與 insulating components，並供應 silicon epitaxy 與 MOCVD reactors 用 susceptors。公司提供 cleaning、mechanical processing 或 coating 等應用別 finishing；其 susceptors 採用高強度 isostatic graphite，該石墨特別針對 epitaxy、crystal growing、ion implantation、plasma etching 與 LED chip production 等具挑戰性的製程開發。SIGRAFINE Fine-Grain Graphite Product Finder 可協助依應用預選適合的 graphite grades，而品質管制則支援產品完整追溯，公司也持續與 epitaxy equipment 的製造商與操作方合作開發材料與產品。技術資料列有電子應用用 SIGRAFINE isostatic graphites，以及 R6140、R6300、R6303H、R6340、R6410、R6500、R6510、R6650、R6710、R6810、R6910 與 V2114 等 grades，另有 SIGRAFINE SiC Coating 與 coated parts handling instructions。SGL CARBON GmbH 亦結合材料專業、製造 know-how 與 leading OEMs 的合作關係，開發應用別 susceptor 設計，並持續與 epitaxy unit 製造商及操作方共同推進材料與產品開發。
能力與產品項目
- 半導體與LED特種石墨
- 晶體生長石墨耗材
- 磊晶MOCVD用SiC塗層石墨承載座
- 磊晶反應器石墨承載座與零件