基本情報
| ブース | R7112 |
| 国 | DE |
| ウェブサイト | www.sglcarbon.com/en/company/dates-and-events |
会社概要
SGL CARBON GmbH は、特殊黒鉛、炭素繊維、複合材料からなる材料・製品を含む炭素系ソリューションの開発と製造に注力する技術ベースの企業です。同社の炭素系材料は、環境負荷の少ないモビリティ、半導体技術、LED、太陽光・風力エネルギー、燃料電池およびその他のエネルギー貯蔵システム、化学分野、各種産業用途に使用されています。同社は、社会に利益をもたらし環境負荷を低減する製品と技術を開発しながら、将来の技術・エネルギーシステムを形成する産業を支える方針を示しています。SGL CARBON GmbH は欧州、北米、アジアの 28 拠点に約 3,800 人の従業員を擁し、欧州、北米、アジアにまたがる拠点網を持っています。2025 会計年度の売上高は 850 million euros でした。
展示製品
半導体および LED 製造向けに、SGL CARBON GmbH は特殊黒鉛と、半導体製造工程全体で使用される黒鉛系ソリューションを供給しています。特殊黒鉛部品は結晶成長や、その後のエピタキシー、イオン注入などの工程に使用され、これらの工程では非常に高い温度、強い腐食環境、高純度、高精度が要求されるため、プロセス材料にも厳しい特性が求められます。半導体向け製品は、結晶成長ホットゾーン用の高純度黒鉛消耗品であるヒーター、るつぼサセプター、断熱材から、ウェハ処理装置用の高精度黒鉛部品までをカバーします。Epitaxy および MOCVD 向けには silicon-carbide-coated graphite susceptors を用意し、高純度黒鉛と SiC coating 技術を半導体、LED、太陽電池製造のウェハ処理用途に結び付けています。半導体関連の用途として Semiconductor Crystal Growth、Polysilicon Production、High Temperature Furnaces、Process Technology for Corrosive Applications、Silicon and SiC Epitaxy が挙げられています。関連する材料・製品群には CARBOGUARD®、DIABON®、POLYFLURON®、SICABON®、SIGRABOND Carbon Fiber-Reinforced Carbon、SIGRABOND® Chemical、SIGRAFINE® Extruded and Vibration Molded Graphite、SIGRAFINE® Isostatic Graphite、SIGRAFINE® SiC Coating、SIGRAFLEX® High-Purity Flexible Graphite Foil and Sheets、SIGRAFLEX® flexible graphite gasket sheets、SIGRASIC® Carbon Fiber Reinforced Silicon Carbide、SIGRATHERM® Rigid Felt および Soft Felt が含まれます。SGL CARBON GmbH は、先端半導体チップ製造に不可欠な部品を作るため製品と生産プロセスへの投資を継続し、厳しい寸法仕様を満たす高純度材料を使用していると説明しています。silicon epitaxy ではウェハを graphite susceptors に載せ、susceptor の特性と品質がウェハのエピタキシャル層の品質に影響します。SiC-coated graphite susceptors は極めて高い純度、均一なコーティング、優れた寿命、耐薬品性、熱安定性を備え、高精度加工と厳密なコーティング公差によって均一な susceptor プロファイルを維持します。同社は誘導加熱システム向けの電気抵抗特性を持つ材料も製造し、完成部品には純度および寸法適合証明書が付属します。SGL CARBON GmbH は現行の epitaxy reactors 向けに susceptors と graphite components を供給し、applied および LPE units 用 barrel susceptors、LPE、CSD、Gemini units 用 pancake susceptors、applied および ASM units 用 single-wafer susceptors をラインアップしています。さらに各種単結晶成長プロセス・材料向けの heaters、support crucibles、heat shields、insulating components と、silicon epitaxy、MOCVD reactors 用 susceptors を供給します。用途別仕上げとして cleaning、mechanical processing、coating を提供し、susceptors は高強度 isostatic graphite 製で、epitaxy、crystal growing、ion implantation、plasma etching、LED chip production などの厳しい工程向けに開発されています。SIGRAFINE Fine-Grain Graphite Product Finder は用途に適した graphite grades の事前選定を支援し、品質管理により製品の完全なトレーサビリティを確保しつつ、epitaxy unit のメーカーや運用者との材料・製品開発も継続しています。技術情報として、電子用途向け SIGRAFINE isostatic graphites と R6140、R6300、R6303H、R6340、R6410、R6500、R6510、R6650、R6710、R6810、R6910、V2114 の各 grade、SIGRAFINE SiC Coating、coated parts handling instructions が示されています。SGL CARBON GmbH は材料専門性と製造 know-how、leading OEMs との連携を組み合わせて用途別の susceptor 設計を行い、epitaxy unit のメーカー・運用者と協力して材料と製品の開発を続けています。
対応領域・製品
- 半導体・LED向け特殊黒鉛
- 結晶成長用黒鉛消耗材
- エピタキシー・MOCVD用SiC被覆黒鉛サセプター
- エピタキシー炉用黒鉛サセプター・部品