기본 정보
| 부스 | Q6235 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | sunyou-ss.co.jp |
회사 소개
Sanyu Co.,Ltd는 반도체 고장 분석 도구를 제조하고 Technology Center를 통해 전자현미경 액세서리를 개발 및 제조합니다. Technology Center는 산학관 공동 연구를 통해 확립한 독자적인 정밀 위치결정 기술과 플라즈마 제어 기술을 이 업무의 기반으로 사용합니다. 따라서 개발 및 제조 범위는 전자현미경 액세서리와 반도체 고장 분석 도구를 함께 포함하며 동일한 기술 조직에서 정밀 위치결정과 플라즈마 제어를 결합합니다. Technology Center는 이 업무를 위한 주요 시설로 Class-1000 clean room을 제시합니다. 또한 주요 장비로 SEM, 즉 Scanning Electron Microscope를 보유한다고 밝힙니다. 추가 장비로 Laser Microscope와 STEM, 즉 Scanning Transmission Electron Microscope도 기재되어 있습니다. Sanyu Co.,Ltd는 Integra Center라는 새 공장의 가동을 시작했으며 조립 업무와 창고 기능을 담당하는 거점으로 운영합니다. 회사는 Integra Center에서 조립과 보관 기능을 수행함으로써 보다 안정적인 생산 체계를 구축하고자 합니다. Sanyu Co.,Ltd는 일본 이바라키현 히타치오타시에 위치하며 정밀 위치결정 및 플라즈마 제어 기술을 기반으로 반도체 관련 제품군을 전개합니다. 또한 2015년 SEMICON Taiwan에 처음 참가한 기록이 있습니다.
전시 제품
Sanyu Co.,Ltd는 전자현미경 및 반도체 고장 분석 관련 제품군 중 하나로 Nano Manipulation Stage를 제시합니다. 또한 Multi probers for Failure analysis를 명시된 제품 범주로 공급합니다. 제품군에는 Customized SEM Stages가 포함되어 회사의 정밀 위치결정 기술을 scanning electron microscope 구성에 적용할 수 있습니다. Customized TEM Sample Holders도 전자현미경용 제품 범주로 기재되어 있습니다. 플라즈마 관련 장비에는 Table-top plasma etching instrument와 Micro-plasma processing instrument가 포함됩니다. 반도체 관련 제품군에는 localized semiconductor-device polishing machine와 Nano Manipulation Stage도 포함됩니다. Nano Manipulation Stage의 일본어 제품명은 Nano Manipulation Stage입니다. 이러한 제품 범위는 Technology Center가 전자현미경 액세서리와 반도체 고장 분석 도구를 개발 및 제조하는 업무를 기반으로 하며 별도의 무관한 제품 사업이 아닙니다. 개발 및 평가 환경으로 Class-1000 clean room과 SEM, Laser Microscope, STEM 장비가 제시됩니다. 전체적으로 Sanyu Co.,Ltd의 공급 범위는 nano-manipulation, multi-prober failure analysis, 맞춤형 현미경 stages와 holders, 반도체 소자 국부 연마 및 compact plasma-processing equipment를 반도체와 현미경 응용에 맞춰 결합합니다.
역량 및 제품
- 반도체 고장 분석 도구 제조
- Nano Manipulation Stage
- 고장 분석용 Multi Prober
- 맞춤형 SEM Stage
- 맞춤형 TEM Sample Holder
- 탁상형 플라즈마 식각 장비
- Micro-plasma 가공 장비
- 반도체 소자 국부 연마기