基本情報
| ブース | Q6235 |
| 国 | JP |
| ウェブサイト | sunyou-ss.co.jp |
会社概要
株式会社三友製作所は半導体故障解析ツールを製造し、Technology Centerを通じて電子顕微鏡用アクセサリーを開発・製造しています。Technology Centerでは、産官学の共同研究によって確立した独自の精密位置決め技術とプラズマ制御技術を基盤にしています。そのため、開発・製造範囲は電子顕微鏡用アクセサリーと半導体故障解析ツールの双方を含み、同一の技術組織の中で精密位置決めとプラズマ制御を組み合わせています。Technology Centerは主要設備としてClass-1000 clean roomを挙げています。また主要装置としてSEM、すなわちScanning Electron Microscopeを備えています。さらにLaser MicroscopeとSTEM、すなわちScanning Transmission Electron Microscopeも主要装置として記載されています。株式会社三友製作所は新工場【インテグラセンタ】の稼働を開始し、組立業務および倉庫機能を担う拠点として運用しています。同社は、インテグラセンタで組立と保管の機能を担うことにより、より安定した生産体制の構築を進めています。株式会社三友製作所は日本の茨城県常陸太田市に拠点を置き、精密位置決め技術とプラズマ制御技術を基盤として半導体関連製品群を展開しています。また、2015年にSEMICON Taiwanへ初出展した記録があります。
展示製品
株式会社三友製作所は、電子顕微鏡および半導体故障解析に関わる製品としてナノマニピュレーションステージを展開しています。また、Multi probers for Failure analysisを製品カテゴリーとして提供しています。製品群にはCustomized SEM Stagesが含まれ、同社の精密位置決め技術を走査型電子顕微鏡の構成に適用できます。Customized TEM Sample Holdersも電子顕微鏡向けの製品カテゴリーとして掲載されています。プラズマ関連装置にはTable-top plasma etching instrumentとMicro-plasma processing instrumentがあります。半導体関連製品群には、半導体デバイス局所研磨機とナノマニピュレーションステージも含まれます。Nano Manipulation Stageの日本語製品名はナノマニピュレーションステージです。これらの製品群は、Technology Centerによる電子顕微鏡アクセサリーと半導体故障解析ツールの開発・製造を基盤としており、別個の無関係な事業ではありません。開発・評価環境としてClass-1000 clean roomに加え、SEM、Laser Microscope、STEMが挙げられています。全体として、株式会社三友製作所はnano-manipulation、multi-prober failure analysis、カスタム顕微鏡stageおよびholder、半導体デバイス局所研磨、compact plasma-processing equipmentを、半導体および顕微鏡用途に向けて組み合わせています。
対応領域・製品
- 半導体故障解析ツール製造
- Nano Manipulation Stage
- 故障解析用Multi Prober
- カスタムSEM Stage
- カスタムTEM Sample Holder
- 卓上型プラズマエッチング装置
- Micro-plasma加工装置
- 半導体デバイス局所研磨機