基本資料
| 攤位 | Q6235 |
| 國別 | JP |
| 網站 | sunyou-ss.co.jp |
公司簡介
Sanyu Co.,Ltd 製造半導體故障解析工具，並透過 Technology Center 開發與製造電子顯微鏡配件。Technology Center 以產官學協同研究所建立的原創精密定位技術與 plasma control technologies 為這項工作的基礎。其開發與製造範圍因此同時涵蓋電子顯微鏡配件與半導體故障解析工具，並在同一技術組織中結合精密定位與電漿控制。Technology Center 將 Class-1000 clean room 列為這些工作的主要設備與設施之一。中心亦列有 SEM，也就是 Scanning Electron Microscope，作為主要儀器。其他列出的設備還包括 Laser Microscope 與 STEM，也就是 Scanning Transmission Electron Microscope。Sanyu Co.,Ltd 已啟用名為 インテグラセンタ 的新工廠，作為組裝業務與倉庫功能的據點。公司表示，インテグラセンタ 的運作是透過在新據點承擔組裝與儲存功能，以支援更穩定的生產體制。Sanyu Co.,Ltd 位於日本茨城縣常陸太田市，並以精密定位與 plasma control 工作為基礎發展半導體相關產品線。公司另有自 2015 年首次參加 SEMICON Taiwan 起的參展紀錄。
展出產品
Sanyu Co.,Ltd 將 Nano Manipulation Stage 列為與電子顯微鏡及半導體故障解析工作相關的產品線之一。公司也供應具名產品類別 Multi probers for Failure analysis。產品線包含 Customized SEM Stages，可把公司的精密定位技術應用於 scanning electron microscope 設定。Customized TEM Sample Holders 也是列出的電子顯微鏡用產品類別。與電漿相關的設備則包括 Table-top plasma etching instrument 與 Micro-plasma processing instrument。半導體相關產品線也包含半導體元件局部研磨機與奈米操控平台（Nano Manipulation Stage）。Nano Manipulation Stage 的日文產品名為ナノマニピュレーションステージ。這些產品範圍建立在 Technology Center 對電子顯微鏡配件與半導體故障解析工具的開發製造上，而不是另一個無關的產品事業。用於開發與評估的環境包括 Class-1000 clean room，以及 SEM、Laser Microscope 與 STEM 等儀器。整體而言，Sanyu Co.,Ltd 的供應範圍結合 nano-manipulation、multi-prober failure analysis、客製化顯微鏡 stages 與 holders、半導體元件局部研磨，以及 compact plasma-processing equipment，聚焦半導體與顯微鏡應用。
能力與產品項目
- 半導體故障解析工具製造
- Nano Manipulation Stage
- 故障分析 Multi Prober
- 客製 SEM Stage
- 客製 TEM Sample Holder
- 桌上型電漿蝕刻儀
- Micro-plasma 加工儀
- 半導體元件局部研磨機