基本情報
| ブース | Q5843 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.pasco-precision.com |
会社概要
Pasco Precision Corp は 2006 年に設立され、2014 年に台南サイエンスパークへ移転し、台湾と上海にまたがる事業拠点を有しています。 同社は TFT-LCD および半導体プロセス装置向け重要部品の開発、製造、設計、流通を行い、特に CMP（化学機械平坦化）で使用する部品と消耗品に注力するとともに、ECP（電解めっき）プロセス関連の開発にも取り組んでいます。 製造能力は、200 mm および 300 mm CMP Membrane の 15 年を超える量産経験、シリコーンゴム成形、エンジニアリングプラスチック、PU、金属の精密加工を組み合わせています。 重要部品で取り扱う材料には Silicon、EPDM、金属、セラミックのほか、PEEK、POM、PET、PTFE、VESPEL などのエンジニアリングプラスチックがあります。 Pasco Precision Corp は全工程を台湾で生産し、複数材料のカスタム成形と精密加工部品に対応するワンストップの In-House 生産ラインを整備しています。 同社の役割は部品製造にとどまらず、装置の立ち上げとトラブルシューティングに関するコンサルティング、使用不能または効率の低い部品の改造、retrofitting などの作業サービスも含みます。 技術支援には共同開発、迅速な Trouble Shooting、継続的改善計画（CIP）による顧客プロセス課題への対応も含まれます。 同社は、製品が世界の Tier 1 ウェハファブに採用され、欧州および米国の主要顧客と戦略的パートナー関係を築いているとしています。 技術方針は、先端プロセスの継続的な研究開発、特許製品、材料に関する専門性、さらに成形、精密加工、プロセス支援を同一組織内で組み合わせる能力で構成されています。 2024 年には温室効果ガスインベントリを完了し、総排出量は 319.228 tCO2e、内訳は直接排出 21.8774 tCO2e、エネルギー間接排出 241.4196 tCO2e、製品使用に伴うその他の間接排出 55.9306 tCO2e でした。 このインベントリでは電力消費が最大の排出源で、総排出量の 76% を占めました。
展示製品
Pasco Precision Corp は Semiconductor Parts、CMP Membrane Refurbish、CMP Rolling Seal を供給し、CMP 装置向けの Upper Rolling 構成も扱っています。 CMP 膜製品には 200 mm 用 Titan 1 Membrane と 200 mm 用 Titan 2 Profiler Membrane があり、CMP 消耗品ラインに具体的な膜製品を用意しています。 製品範囲には CMP プロセス装置向けの AMAT CMP Parts と EBARA CMP Parts も含まれます。 CMP システムの再生と交換需要に対しては、膜の再生と CMP Rolling Seal の供給を組み合わせ、新規製造部品だけに限定しない対応を行います。 ゴム製品は SILICONE と VITON を扱い、加工部品の材料カテゴリーには Engineering Plastic、SUS304、SUS316、AL が含まれます。 これらはさらに広い重要部品能力につながり、Silicon、EPDM、金属、セラミック、PEEK、POM、PET、PTFE、VESPEL を用いて半導体および TFT-LCD プロセス装置に対応します。 CMP および半導体部品の供給は社内成形と精密加工によって支えられ、エンジニアリングプラスチック、PU、金属によるカスタム部品を製作できます。 装置運用では、部品供給に立ち上げ支援、トラブルシューティング、非効率または使用不能な部品の改造、retrofitting 作業、CIP に基づく技術支援を組み合わせられます。 CMP Membrane、膜再生、Rolling Seal、AMAT と EBARA の CMP 部品、多材料精密加工部品、プロセス支援サービスの組み合わせにより、半導体 CMP 環境の保守、交換、プロセス改善ニーズに対応します。
対応領域・製品
- 200/300 mm CMPメンブレンの量産
- シリコーンゴムのカスタム成形
- エンジニアリングプラスチックの精密加工
- PUの精密加工
- 金属精密加工
- ECPプロセス用消耗品・部品の研究開発および製造
- CMPメンブレンの再生
- CMPローリングシール
- CMP部品の供給（AMAT、EBARA）
- VITON ゴム製品
- プロセス装置部品の改良・改造サービス