基本資料
| 攤位 | Q5843 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.pasco-precision.com |
公司簡介
沛科精密股份有限公司創立於 2006 年，並於 2014 年進駐台南科學園區，其營運據點亦涵蓋台灣與上海。 公司研發、製造、設計與分銷 TFT-LCD 及半導體製程設備的關鍵零件，尤其聚焦 CMP（化學機械平坦化）所用零元件與耗材，並投入 ECP（電鍍）製程相關開發。 製造能力結合超過 15 年的 200 mm 與 300 mm CMP Membrane 量產經驗、矽橡膠成型，以及工程塑膠、PU 與金屬的精密加工。 關鍵零件可運用的材料包括 Silicon、EPDM、金屬、陶瓷，以及 PEEK、POM、PET、PTFE、VESPEL 等工程塑膠。 沛科精密股份有限公司採全製程在台生產，建立一站式 In-House 生產線，可支援多材料客製成型與精密加工零組件。 公司的角色不只限於零件製造，也提供設備啟動與故障排除顧問服務，包括修改無法使用或效率不佳的零件，並提供 retrofitting 等勞務服務。 技術支援也包含協同研發、快速 Trouble Shooting，以及以持續改善計畫（CIP）處理客戶製程問題。 公司表示，其產品已獲全球 Tier 1 晶圓製造廠採用，並與歐美主要客戶維持策略合作關係。 公司的技術路線包括先進製程的持續研發、專利產品、材料專長，以及在同一組織內整合成型、精密加工與製程支援的能力。 2024 年，沛科精密股份有限公司完成溫室氣體盤查，總排放量為 319.228 公噸二氧化碳當量，其中直接排放為 21.8774 公噸二氧化碳當量、能源間接排放為 241.4196 公噸二氧化碳當量、組織使用產品間接溫室氣體排放量為 55.9306 公噸二氧化碳當量。 該次盤查中，電力消耗是最大排放來源，占總排放量 76%。
展出產品
沛科精密股份有限公司供應 Semiconductor Parts、CMP Membrane Refurbish，以及 CMP Rolling Seal 產品，其中包含用於 CMP 設備的 Upper Rolling 配置。 CMP 膜片產品包括適用 200 mm 的 Titan 1 Membrane，以及適用 200 mm 的 Titan 2 Profiler Membrane，形成具名的 CMP 耗材選項。 產品範圍亦列有 AMAT CMP Parts 與 EBARA CMP Parts，對應 CMP 製程設備。 針對 CMP 系統的翻修與更換需求，公司同時提供膜片再生與 CMP Rolling Seal，不把供應範圍限制在新製零件。 橡膠產品涵蓋 SILICONE 與 VITON，加工零件材料類別則包括 Engineering Plastic、SUS304、SUS316 與 AL。 這些項目也連結到更廣泛的關鍵零件能力，可使用 Silicon、EPDM、金屬、陶瓷、PEEK、POM、PET、PTFE 與 VESPEL，服務半導體與 TFT-LCD 製程設備。 CMP 與半導體零件供應可搭配廠內成型及精密加工，支援工程塑膠、PU 與金屬材料的客製零組件。 在設備應用端，沛科精密股份有限公司可把零件供應與設備啟動、故障排除、低效率或無法使用零件的修改、retrofitting 勞務，以及 CIP 技術支援搭配提供。 CMP Membrane、膜片再生、Rolling Seal、AMAT 與 EBARA CMP 零件、多材料精密加工零件及製程支援服務的組合，可對應半導體 CMP 環境中的維護、更換與製程改善需求。
能力與產品項目
- 200/300 mm CMP 膜片量產
- 矽橡膠客製成型
- 工程塑膠精密加工
- PU 精密加工
- 金屬精密加工
- ECP 製程耗材與零組件研發製造
- CMP 膜片翻修
- CMP 滾動密封件
- CMP 零組件供應（AMAT、EBARA）
- VITON 橡膠製品
- 製程設備零件改良與改裝服務