基本情報
| ブース | I2225 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.pmeasuring.com/industry/semiconductor-microelectronics |
会社概要
Particle Measuring Systems Inc.（PMS）はSpectris plcの子会社で、汚染モニタリング技術を中心に事業を展開しています。半導体・マイクロエレクトロニクス製造と、その他のクリーン製造環境向けに汚染モニタリングソリューションを提供します。業界で50年以上の経験を持ち、規制要求への対応、歩留まり保護、重要データを利用した迅速な運用判断を支援する製品を開発しています。汚染モニタリング技術とグローバルサービス体制を組み合わせ、各種クリーン製造用途に対応します。支援体制には主要市場での直接販売・サービス、世界規模のApplication Engineerネットワーク、地域ごとの技術専門性を活用した支援、運用チーム向けトレーニング、測定精度を保つ校正、迅速な修理、各用途に合わせたアプリケーションサポートが含まれます。PMSは、世界の先進ファブやハイテク製造施設でソリューションが利用され、地域拠点を通じ、地域ごとの技術専門性を生かしながら、現地チームに必要なトレーニングと日常運用の継続的な支援を提供するとしています。
展示製品
半導体・マイクロエレクトロニクス生産向けに、Particle Measuring Systems Inc.は汚染低減、歩留まり保護、プロセス制御改善を目的としたリアルタイム汚染モニタリングを提供します。対象は空気・ガス、超純度薬液・水、空中分子汚染（AMC）で、汚染が発生する場所と時点でデータを取得します。PMSは、クリーンルーム空気、高純度ガスライン、超純度薬液、DI水またはUPWなど重要媒体に対し高感度粒子検出を提供するとしています。製品には空気、液体、水、薬液、ガス向けの遠隔式・携帯式粒子計数器と、施設・環境モニタリングシステムがあります。台湾の製品範囲には液体粒子計数器、微生物エアサンプラ、空中粒子計数器、空中分子汚染モニタ、ガス粒子計数器も含まれます。半導体関連製品としてNanoAir™ 10凝縮粒子計数器とUltra DI® DI水粒子計数器があります。液体汚染向けにはChem 20™ 20 nm薬液粒子計数器、HSLIS液体粒子計数器、LiQuilaz® II Series液体粒子計数器を展開します。空中汚染向けにはLasair® III 110空中粒子計数器とAirSentry® II空中分子汚染モニタリングシステムがあります。アプリケーション資料は20 nm Chemical Batch Sampling Solution、UPWシステムのナノ粒子汚染、液体粒子計数のトラブルシューティング、300 mmファブの粒子モニタリング戦略、半導体薬液サプライヤー向け粒子制御などを扱います。システムごとの要求に合わせたモニタリングソリューションを提供し、校正、修理、サービスにより監視システムの精度維持を支援します。リアルタイムデータは、ファブやハイテク製造施設が汚染情報の発生場所で対応できるようにすることを目的とします。製品・サービス全体で、高感度粒子検出、空気・ガス監視、超純度薬液・水監視、AMC監視、半導体のリアルタイム汚染監視とプロセス制御を一つのポートフォリオにまとめています。
対応領域・製品
- 半導体・マイクロエレクトロニクス汚染監視
- 超純薬液・UPW 液中粒子計数
- 空気・ガス汚染監視
- 超純薬液・水の汚染監視
- 空中分子汚染 AMC 監視
- 凝縮粒子カウンター
- DI 水中粒子カウンター
- 20 nm 薬液粒子計数
- 空中粒子カウンター
- 液中粒子カウンター
- 汚染監視装置の校正・修理