基本資料
| 攤位 | I2225 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.pmeasuring.com/industry/semiconductor-microelectronics |
公司簡介
Particle Measuring Systems Inc.（PMS）是Spectris plc的子公司，專注於污染監測技術。公司提供半導體與微電子製造以及其他潔淨製造環境所需的污染監測解決方案。PMS在相關產業已有超過50年經驗，開發協助潔淨製造業者滿足法規要求、保護良率，並利用關鍵資料加快營運判斷的產品。公司把污染監測技術與全球服務體系結合，支援各類潔淨製造應用。全球支援模式包含主要市場的直接銷售與服務、遍布各地的應用工程師網路、區域技術專業、教育訓練、校正、維修與應用支援。PMS並表示其解決方案應用於全球先進晶圓廠與高科技製造設施，透過區域據點提供當地團隊所需的訓練與營運支援。
展出產品
針對半導體與微電子生產，Particle Measuring Systems Inc.提供即時污染監測，以降低污染、保護良率並改善製程控制。監測範圍涵蓋空氣與氣體、超純化學品與水，以及氣狀分子污染（AMC），並在污染發生的時間與位置取得資料。PMS表示其粒子偵測產品可在關鍵介質中提供高靈敏度偵測，涵蓋無塵室空氣、高純度氣體管線、超純化學品與去離子水或UPW。污染監測產品包括空氣、液體、水、化學品與氣體應用的遠端式及攜帶式粒子計數器，以及設施與環境監測系統。台灣產品範圍亦列有液體粒子計數器、浮游菌採樣器、空氣粒子計數器、氣狀分子污染監測設備與氣體粒子計數器。半導體相關具名產品包括NanoAir™ 10凝結式粒子計數器與Ultra DI®去離子水粒子計數器。液體污染監測產品包括Chem 20™ 20 nm化學粒子計數器、HSLIS液體粒子計數器與LiQuilaz® II Series液體粒子計數器；空氣污染監測則包括Lasair® III 110空氣粒子計數器與AirSentry® II氣狀分子污染監測系統。應用資源涵蓋20 nm Chemical Batch Sampling Solution、UPW系統奈米粒子污染、液體粒子計數故障排除、300 mm晶圓廠粒子監測策略，以及半導體化學品供應商的粒子控制。公司可依不同系統需求提供客製化污染監測方案，並透過校正、維修與服務維持監測系統準確度。即時資料模式旨在讓晶圓廠與高科技製造設施在污染資料產生的位置即時採取行動，而不只依賴後段檢驗。整體產品組合將高靈敏度粒子偵測、空氣與氣體監測、超純化學品與水監測、AMC監測，以及半導體即時污染監測與製程控制整合在同一污染監測架構中。
能力與產品項目
- 半導體與微電子污染監測
- 超純化學品與 UPW 液體粒子計數
- 空氣與氣體污染監測
- 超純化學品與水污染監測
- 空氣分子污染 AMC 監測
- 凝結核粒子計數器
- DI 水粒子計數器
- 20 nm 化學品粒子計數
- 空氣粒子計數器
- 液體粒子計數器
- 污染監測設備校正與維修