기본 정보
| 부스 | I2022 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.oxinst.com |
회사 소개
Oxford Instruments plc는 세계 주요 산업 기업과 과학 연구 커뮤니티에 첨단 기술 제품 및 서비스를 제공하는 선도 기업입니다. 당사의 핵심 목적은 고객이 세계에서 가장 시급한 과제 중 일부에 대응하도록 지원하여 더 친환경적인 경제, 연결성 향상, 건강 개선 및 과학적 이해의 도약을 가능하게 하는 것입니다. Oxford는 폭넓은 역량과 전문성을 보유하고 있으며, 두 개 부문으로 구성된 8개 사업부로 이루어져 있습니다: Materials and Characterisation은 원자 규모까지 소자를 제작하고 특성화할 수 있도록 하는 제품과 솔루션을 개발합니다. Asylum Research는 원자힘현미경 분야의 기술 선도 제조업체입니다. Magnetic Resonance는 벤치탑 NMR 분광학의 선도 기업이며, 시간 영역(TD-NMR) 이완측정 솔루션은 새로운 연구를 가능하게 하고 품질관리를 최적화합니다. NanoAnalysis는 나노미터 규모에서 재료 특성평가와 시료 조작을 가능하게 하는 첨단 툴을 제공합니다. WITec은 d Raman, 원자힘현미경 및 주사 근접장 광학현미경 분야의 선도 기업입니다. Research and Discovery는 고유한 환경을 조성하고 분자 및 원자 수준까지 이미징과 분석 측정을 가능하게 하는 첨단 솔루션을 제공합니다: Andor Technology는 학술, 산업 및 정부 응용 분야용 고성능 과학 디지털 카메라, 현미경 시스템 및 분광기의 개발과 제조 분야에서 세계적인 선도 기업입니다. Imaris는 세계적인 Interactive Microscopy Image Analysis 소프트웨어 회사로, 지속적인 혁신과 3D 및 4D 이미징에 대한 명확한 집중을 통해 현미경 이미지 처리 방식을 적극적으로 만들어 가고 있습니다. Plasma Technology는 식각 및 증착 공정 장비와 솔루션의 선도 공급업체입니다. NanoScience는 양자 기술, 나노 기술 연구, 첨단 소재 및 나노 소자 개발을 포함한 연구 응용 분야용 희석 냉동기와 초고자기장 환경에서 세계적인 선도 기업입니다. X-Ray Technology는 x-ray 튜브, 전원공급장치 및 통합 x-ray 소스의 선도 제조업체입니다. 당사는 수행하는 분야와 세계에 만들어내는 차이에서 선도 기업으로 인정받는 것을 자랑스럽게 생각합니다.
전시 제품
GaN 전력 소자를 포함한 첨단 반도체 소자의 대규모 제조를 위해 설계된 고처리량 원자층 증착(ALD) 시스템입니다. 뛰어난 균일도, 컨포멀리티 및 낮은 웨이퍼당 비용으로 알려져 있습니다. InP/GaAs 광전자 소자, GaN/SiC 전력 소자의 대량 생산뿐 아니라 microLED, 센서 및 MEMS 공정을 위해 다양한 플라즈마 공정을 제공하는 다목적 플라즈마 식각, 증착 및 ALE 플랫폼입니다. 일관된 결과를 위해 뛰어난 공정 제어와 균일도를 제공합니다. 당사의 이온빔 식각(IBE)은 고품질 경사 및 블레이즈드 그레이팅 식각과 이온빔 증착(IBD) 공정에 널리 선택됩니다. 유연한 하드웨어 옵션에는 오픈 로드, 단일 기판 로드록 및 카세트 투 카세트 구성이 포함됩니다. 사양은 각 응용 분야에 맞게 조정되어 더 빠르고 반복 가능한 공정 결과를 제공합니다. 우수한 분해능, 속도 및 신뢰성으로 알려진 에너지 분산형 분광법(EDS) 시스템은 반도체 소자의 공정 모니터링, 품질관리 및 고장 분석을 위해 신속한 원소 분석과 매핑을 가능하게 합니다. 비파괴, 무표지 화학 특성평가를 높은 스펙트럼 및 공간 분해능으로 가능하게 하며, 시료 전처리 없이 다양한 재료와 생명과학 응용 분야에 대한 종합 분석을 제공합니다.
역량 및 제품
- 고처리량 원자층 증착（ALD） 시스템
- 플라즈마 식각/증착/ALE 플랫폼
- 이온빔 에칭 및 증착 공정
- EDS 원소 분석 및 매핑
- 비파괴 비표지 화학 특성 분석
- 원자력 현미경(AFM)
- 탁상형 NMR 및 TD-NMR 이완 측정