기본 정보
| 부스 | R7724 |
| 국가 | CH |
| 웹사이트 | www.nanosurf.com/en |
회사 소개
Nanosurf AG는 원자힘 현미경 시스템의 주요 공급업체이며 다양한 사용자와 요구사항에 맞는 여러 연구용 원자힘 현미경을 제공합니다. 회사는 물리적으로 달성 가능한 한계에 있는 과제에 집중하고 나노기술 발전을 가로막는 장애를 해결해 연구자들이 각 과학 분야의 경계를 확장할 수 있도록 지원합니다. 산업 고객을 위해 고객 제조 공정에 자연스럽게 통합되는 맞춤형 장비를 제작하고 개별 요구에 맞춰 주사 탐침 기술을 제조 가치사슬에 통합합니다. 이러한 맞춤 산업 솔루션은 고객별 요구를 충족할 뿐 아니라 주사 탐침 기술이 통합된 생산 라인의 효율과 정밀도를 높이는 것을 목표로 합니다. Nanosurf AG는 1997년에 설립되었으며 주사 탐침 현미경을 커피 테이블에 놓을 수 있는 크기로 소형화해 사용 편의성을 새롭게 정의한 것을 초기 발전 이정표로 제시합니다. 그 이후 스위스 기반 회사는 원자힘 현미경 분야의 선도 혁신 기업 중 하나로 성장했다고 설명하며 AFM 혁신을 회사 정체성의 핵심으로 둡니다. Nanosurf AG는 학술 연구자와 생명과학 및 재료과학 산업 응용을 위해 지속적으로 발전하는 장비 플랫폼을 제공해 연구와 응용 환경을 모두 다룹니다. 산업 활동에는 매우 까다로운 정확도 사양의 생산 라인에 사용하는 대규모 맞춤 솔루션도 포함되어 실험실 장비를 넘어 생산 통합까지 범위를 확장합니다. 회사는 원자힘 현미경을 더 쉽고 빠르며 신뢰성 높은 측정 도구로 만들기 위한 새로운 측정 모드와 기술을 계속 개발합니다. 또한 광학 현미경 같은 일반 기술처럼 신규 사용자가 더 쉽게 접근하고 직관적으로 사용할 수 있게 하여 AFM을 점점 더 많은 새로운 응용 분야로 확장하는 것을 목표로 합니다.
전시 제품
Nanosurf AG는 원자힘 현미경 시스템과 다양한 사용자 유형 및 측정 요구사항에 맞는 여러 연구용 원자힘 현미경을 제공합니다. 반도체 연구용 Drive AFM은 WaveMode 기술과 첨단 전기 측정 기능을 결합해 반도체 소재, 구조, 공정을 연구하는 도구 세트를 제공합니다. Drive AFM은 소형 샘플에 맞게 설계되어 웨이퍼 규모 생산으로 넘어가기 전 새로운 소재, 구조, 공정의 초기 탐색에 사용되며 컴팩트한 설계는 실험실 공간 최적화에 도움을 줍니다. Nanosurf AG는 AFM의 서브나노미터 해상도, 실제 지형 정보, 국부 전기 특성 조사 능력이 칩 미세화에 따른 정밀도와 해상도 요구 증가에 대응할 수 있어 반도체 연구와 산업에 필수 도구라고 설명합니다. 웨이퍼 거칠기 측정에서 AFM은 sub-angstrom 수준의 거칠기를 매핑하여 반도체 엔지니어가 거칠기를 정량화하고 국부 변화를 찾으며 표면 상태와 소자 거동의 상관관계를 파악해 더 매끄러운 표면을 위한 공정 최적화를 지원합니다. 결함 검토와 고장 분석에서는 고해상도 AFM 이미징으로 매우 작은 표면 결함을 시각화하고 특성화하며 특수 AFM 모드는 개별 특징의 전기 특성을 매핑해 소자 거동에 영향을 주는 도핑 밀도 변화를 보여줄 수 있습니다. 임계 치수 제어에서 AFM은 웨이퍼 표면 특징을 고해상도로 직접 이미징하고 서로 다른 재료 층에서 선폭, 간격, 특징 높이를 비파괴적으로 측정할 수 있습니다. Alphacen 300 Drive는 반도체 산업의 엄격한 요구에 맞춘 AFM 시스템이며 WaveMode는 반도체 생산의 계측 과제를 위해 빠르고 저소음인 표면 거칠기 측정을 지원합니다. Nanosurf AG는 표준 시스템 제어와 샘플 형식을 넘어서는 자동화 및 엔지니어링 서비스와 맞춤형 특성 분석 도구도 제공해 산업 측정 및 분석 요구에 대응합니다. 이러한 산업 솔루션은 웨이퍼 생산, 세정 및 연마 기술, DUV에서 EUV까지 매우 짧은 파장을 사용하는 포토리소그래피에 관련되어 반도체 공급망이 제품 품질을 보장하기 위한 대체 도구를 필요로 할 때 지원합니다. 전체적으로 회사의 반도체 AFM 제공 범위는 웨이퍼 거칠기, 결함 검토와 고장 분석, 임계 치수, 전기 특성 매핑, 맞춤 산업 계측을 포함하며 연구, 공정 개발, 생산 흐름을 아우릅니다. 임계 치수 응용에서 AFM은 재료에 독립적인 기술로 설명되며 직접적이고 비파괴적인 측정으로 복잡한 칩의 서로 다른 층에서 정밀한 CD 제어를 지원합니다. 고장 분석에서 Nanosurf AG는 매우 작은 반도체 표면 결함도 소자 기능에 심각한 영향을 줄 수 있다고 설명하며 따라서 고해상도 시각화와 특성화가 defect review 흐름에서 중요합니다.
역량 및 제품
- 연구용 원자힘 현미경(AFM)
- 반도체 AFM 표면 거칠기 측정
- AFM 반도체 결함 리뷰·고장 분석
- AFM 비파괴 선폭·간격·높이 측정
- AFM 국부 전기 특성 매핑
- 맞춤형 산업용 AFM 특성평가 도구