基本情報
| ブース | N0285 |
| 国 | JP |
| ウェブサイト | www.maruyama-ss.co.jp |
会社概要
丸山チラー株式会社は1969年に設立され、「ものづくりの技術の頂点を追求し、世界に通じる製品を生産し、社会に貢献する」ことを経営理念とし、変化する時代により速く、より正確に対応するとしています。温度制御技術を半導体・液晶関連分野および産業機器事業のコアと位置付け、顧客ニーズに柔軟かつ的確に応え、「安心」と「信頼」を提供することを事業姿勢としています。業務には半導体・液晶関連製造装置、産業機器・電子機器などの設計・製造・販売関連業務が含まれ、歪ゲージ式計測器・歪ゲージのデータ収録装置などの設計・製造も主要業務としています。丸山チラー株式会社は、顧客要求事項と法規制その他要求事項を的確に把握し、管理と技術・技能を研鑽し、全社で製品品質に取り組みながら顧客の要望に適した製品を製作するとしています。品質管理では品質マネジメントシステムを構築し、継続的改善を進め、全部門で行動ベースの品質目標を設定して達成活動と見直しを行い、方針を要員および当社のために働く人に周知し、マネジメントレビューで適切性を維持します。環境管理では、顧客先で当社の製造装置・機器・設備を通じて環境配慮製品が生産されることを踏まえ、自社製造工程と顧客先の環境負荷を低減し、顧客が高機能で環境負荷の少ない製品を作ることを支援するとしています。全活動、製品、サービスの環境影響を特定・評価し、著しい環境側面を決定して、継続的改善、汚染の予防、法規制その他要求事項の順守として管理し、適切な経営資源を投入します。継続的改善の対象には目的・目標を設定し、環境改善計画を立案・推進して実績を評価・見直し、次の改善につなげます。具体的な取り組みとして残材・廃棄物の削減、電力の節減、5Sの促進を通じた工場美化運動を挙げています。
展示製品
Triple Chillerはエンドユーザー向けの3チャンネルチラーで、1台のchillerで3つの異なる温度制御を管理し、設置面積や配管・電源などのインフラコストを削減します。control systemが一括化されることで、各channel間のthermal interactionを考慮した温度制御ができ、process stabilityの向上に貢献するとしています。Triple Chillerは3つのcooling unitsを搭載し、Dual Chillerより高い冷却能力を持ち、高い冷却能力を必要とする大規模施設や特に高い信頼性が求められる場合に使用され、複数unitsの組み合わせによって柔軟な冷却運転が可能です。Dual Chillerは半導体製造装置OEMとエンドユーザー向けの2チャンネル機で、1台で2つの異なる温度制御を管理して設置面積とインフラコストを抑え、2つのcooling unitsによりSingle Chillerより高い冷却能力を提供します。冗長性の面では、一方のcooling unitが故障してももう一方で冷却を継続でき、cooling loadに応じて1台または2台のcooling unitsを運転することで省エネ運転も可能です。Single Chillerは1チャンネルで、主に半導体製造装置OEM向けに提供され、1つのcooling unitで冷却し、比較的シンプルな構造によって設置・メンテナンスを容易にし、小規模な冷却が必要な場合に使用されます。製品情報には温度制御範囲CH-1: -45 to +40℃、CH-2: +10 to +70℃、CH-3: +40 to +90℃、coolant typesとしてSF10、HT135、CF2が記載されています。冷却能力はCH-1: 6kW at -40℃および9kW at -20 to 40℃、CH-2: 9kW at 10 to 70℃、CH-3: 3kW at 40 to 90℃で、R32 refrigerant、GWP 675、3-phase 400V電源も示されています。丸山チラー株式会社は、高温から超低温までの省エネchillerを高精度・高品質でオーダーメイドし、標準的なsingle、dual、triple channel構成以外にも温度制御設備を顧客要求に合わせて製作するとしています。
対応領域・製品
- 高温から超低温までの省エネチラーのオーダーメイド
- 3チャンネルチラー
- 半導体製造装置向け2チャンネルチラー
- 半導体製造装置向け1チャンネルチラー
- 半導体・液晶関連製造装置の設計・製造
- 歪ゲージ式計測器の設計・製造
- 歪ゲージデータ収録装置の設計・製造