基本資料
| 攤位 | N0285 |
| 國別 | JP |
| 網站 | www.maruyama-ss.co.jp |
公司簡介
Maruyama Chiller Corporation 成立於 1969 年，公司提出追求製造技術最高境界、生產可服務全球市場的產品、貢獻社會，並快速且準確因應環境變化的經營理念。公司將溫度控制技術定位為半導體與 LCD 相關領域及產業設備事業的核心，並以靈活、準確回應客戶需求，以及提供安心與信賴作為營運方向。業務包括半導體與 LCD 製造設備、產業設備及電子設備的設計、製造與銷售相關工作，並將應變規量測儀器與應變規資料擷取裝置的設計及製造列為主要業務。Maruyama Chiller Corporation 表示會掌握客戶要求，以及法律與其他社會要求，精進管理與技術技能，並由全公司共同重視產品品質，製造符合客戶需求的產品。其品質管理方式包括建立品質管理系統、推動持續改善、由各部門設定可依行動判定的品質目標、檢討進度、向公司人員及為公司工作的人員傳達方針，並透過 management review 維持方針適切性。在環境管理方面，公司表示其製造裝置、機器與設備會在客戶端用於生產環境考量產品，並致力降低自身製造流程與客戶端的環境負荷，同時協助客戶生產高機能且環境負荷較低的產品。公司辨識並評估各項活動、產品與服務的環境影響，判定重大環境面向，再以持續改善、污染預防與遵循法律及其他要求加以處理，並投入適當經營資源。對持續改善項目，公司設定目的與目標、制定並執行環境改善計畫、評估成果並修訂後延續到下一個改善循環；列出的措施包括降低殘材與廢棄物、節省電力，以及透過 5S 活動推動工廠美化。
展出產品
Triple Chiller 是面向終端使用者的三通道冷卻機，一台 chiller 可管理三個不同溫度控制，因此可降低設置面積，以及配管、電源等基礎設施成本。由於 control system 一體化，三通道設計可在考量各通道 thermal interaction 的情況下進行溫度控制，公司表示這有助於提升製程穩定性。Triple Chiller 搭載三個 cooling units，冷卻能力高於 Dual Chiller，可用於需要高冷卻能力的大型設施，或特別要求高可靠度的場合，也可透過多個 units 的組合進行更具彈性的冷卻運轉。Dual Chiller 是面向半導體製造設備 OEM 與終端使用者的雙通道機種，一台設備管理兩個不同溫度控制，以降低設置面積與基礎設施成本；其兩個 cooling units 的冷卻能力高於 Single Chiller。就 redundancy 而言，Dual Chiller 在其中一個 cooling unit 故障時，另一個仍可持續冷卻，並可依 cooling load 運轉一個或兩個 cooling units，以進行節能運轉。Single Chiller 為單通道機種，主要供應半導體製造設備 OEM，使用單一 cooling unit，結構相對簡單，以便於安裝與維護，並用於較小規模的冷卻需求。產品資訊列出溫度控制範圍 CH-1: -45 to +40℃、CH-2: +10 to +70℃、CH-3: +40 to +90℃，並列出 coolant types SF10、HT135、CF2。冷卻能力列為 CH-1: 6kW at -40℃ 及 9kW at -20 to 40℃、CH-2: 9kW at 10 to 70℃、CH-3: 3kW at 40 to 90℃；另列 R32 refrigerant、GWP 675 與 3-phase 400V 電源。Maruyama Chiller Corporation 也表示會客製製作從高溫到超低溫的節能 chiller，並以高精度與高品質為特徵，使溫度控制設備可在標準 single、dual、triple channel 配置以外依需求製作。
能力與產品項目
- 高溫至超低溫客製節能冷水機
- 三通道冷水機
- 雙通道半導體冷水機
- 單通道半導體冷水機
- 半導體與 LCD 製造設備設計製造
- 應變規量測儀器設計製造
- 應變規資料擷取裝置設計製造